技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種即使在大型化的情況下也能夠滿(mǎn)足高精細(xì)化和輕量化二者的蒸鍍掩模的制造方法、及可制造高精細(xì)的有機(jī)半導(dǎo)體元件的有機(jī)半導(dǎo)體元件的制造方法。通過(guò)如下的工序制造蒸鍍掩模，即：準(zhǔn)備在金屬板的一面設(shè)有樹(shù)脂層的帶樹(shù)脂層的金屬板；相對(duì)于所述帶樹(shù)脂層的金屬板的金屬板，通過(guò)形成僅貫通該金屬板的縫隙而形成帶樹(shù)脂層的金屬掩模；然后，從所述金屬掩模側(cè)照射激光，在所述樹(shù)脂層上縱橫地形成多列與要蒸鍍制作的圖案對(duì)應(yīng)的開(kāi)口部，從而形成樹(shù)脂掩模。

技術(shù)研發(fā)人員：武田利彥;西村佑行;小幡勝也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：大日本印刷株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610206129
技術(shù)研發(fā)日：2013.01.11
技術(shù)公布日：2017.11.14