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離子布植機(jī)的制作方法

文檔序號:11955520閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種離子布植機(jī),其特征在于包含:

離子束組件被配置來提供離子束;及

基座組件,包含有:

本體;

夾盤,放置于該本體的第一表面,其中該夾盤被配置來夾持欲被該離子束布植的工作件;及

監(jiān)控器,放置于該本體的第二表面,其中該監(jiān)控器被配置來監(jiān)控該離子束;

其中該第一表面不同于該第二表面;

其中該本體能夠沿著與離子束的離子束路徑相交的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該第一表面相接于該第二表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該第一表面相離于該第二表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該監(jiān)控器垂直該夾盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該監(jiān)控器的表面區(qū)域大于該本體的第二表面的區(qū)域,使得當(dāng)該監(jiān)控器直接面對該離子束時(shí),該夾盤與被該夾盤夾持的該工作件皆不會被離子束所布植。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該夾盤的表面區(qū)域大于該本體的第一表面的區(qū)域使得當(dāng)該夾盤直接面對該離子束時(shí),該監(jiān)控器不會被離子束所布植。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該本體機(jī)械式連接于可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂,使得當(dāng)該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂沿著該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器的位置能夠進(jìn)行切換,其中該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的旋轉(zhuǎn)軸相交于該離子束的離子束路徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂機(jī)械式連接于可伸縮機(jī)械臂,使得當(dāng)可伸縮機(jī)械臂的長度改變時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器皆能一起移動(dòng),其中可伸縮機(jī)械臂的伸縮軸相交于該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸以及該離子束的離子束路徑。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂機(jī)械式連接于致動(dòng)裝置,且該致動(dòng)裝置被配置來沿著與該離子束的離子束路徑相交的平面移動(dòng)該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂,使得當(dāng)該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂移動(dòng)時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器能夠一起移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該本體機(jī)械式連接于可伸縮機(jī)械臂,使得當(dāng)該可伸縮機(jī)械臂的長度改變時(shí)該夾盤與該監(jiān)控器能夠一起移動(dòng),其中該可伸縮機(jī)械臂的伸縮軸相交于該離子束的離子束路徑。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該可伸縮機(jī)械臂機(jī)械式連接于可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂,使得當(dāng)該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂沿著該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器的位置能夠進(jìn)行切換,其中該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸相交于該可伸縮機(jī)械臂以及該離子束的離子束路徑。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該本體機(jī)械式連接于致動(dòng)裝置,且該致動(dòng)裝置被配置來沿著與該離子束的離子束路徑相交的平面移動(dòng)該本體,使得當(dāng)該本體移動(dòng)時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器能夠一起移動(dòng)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的離子布植機(jī),其特征在于:其中該致動(dòng)裝置機(jī)械式連接于可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂使得當(dāng)該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂沿著該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),該夾盤與該監(jiān)控器能夠進(jìn)行切換,其中該可轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械臂的轉(zhuǎn)動(dòng)軸相交于該離子束的離子束路徑。

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