技術(shù)編號(hào):11955520
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種離子布植機(jī),特別是有關(guān)于一種將用來(lái)夾持工作件的夾盤(pán)與用來(lái)監(jiān)控離子束的監(jiān)控器整合在一起的離子布植機(jī),使得對(duì)工作件進(jìn)行布植以及對(duì)離子束特征進(jìn)行監(jiān)控二者之間得以簡(jiǎn)單地進(jìn)行切換。背景技術(shù)離子布植對(duì)于現(xiàn)代元件制造技術(shù),例如半導(dǎo)體元件制造或平面面板制造而言,是必須但昂貴的制造過(guò)程。離子布植主要是用于將化學(xué)活躍材料物摻雜-引入至例如通常是硅的半導(dǎo)體材料的工作件內(nèi)。在多數(shù)的情況下并無(wú)可替代離子布植的其他制造過(guò)程。離子布植在其他應(yīng)用方面亦有增加的趨勢(shì),例如元件上關(guān)鍵區(qū)域的定義以及工作件內(nèi)摻質(zhì)遷移...
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