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用于制造半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)的方法以及相應(yīng)的半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)與流程

文檔序號(hào):12071467閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于制造半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)(1)的方法,所述半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)至少具有基礎(chǔ)元件(2)和半導(dǎo)體(3),其中半導(dǎo)體(3)借助于燒結(jié)層(4)固定在基礎(chǔ)元件(2)上,其特征在于,至少部分地對(duì)基礎(chǔ)元件(2)的直接抵靠燒結(jié)層(4)的區(qū)域(9)進(jìn)行打孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,在半導(dǎo)體(3)固定在基礎(chǔ)元件(2)上之前進(jìn)行打孔。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,打孔包括在基礎(chǔ)元件(2)的區(qū)域(9)中制造至少一個(gè)缺口(15),尤其是多個(gè)缺口(15)。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,所述至少一個(gè)缺口(15)設(shè)計(jì)為邊緣閉合的通孔。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,基礎(chǔ)元件(2)具有平坦的面(10),所述平坦的面被所述至少一個(gè)缺口(15)穿過且燒結(jié)層(4)在固定半導(dǎo)體(3)之后抵靠在所述平坦的面上。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,如此設(shè)計(jì)基礎(chǔ)元件(2),使得所述平坦的面(10)鄰接于基礎(chǔ)元件(2)的、相對(duì)于該面(10)成角度的區(qū)域(11)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,在固定之前,在半導(dǎo)體(3)上安置接觸層(5)。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,DCB層或IMS層用作接觸層(5)。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法,其特征在于,IGBT、二極管或MOSFET被用作半導(dǎo)體(3)。

10.一種半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)(1),所述半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)尤其根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)或多項(xiàng)所述的方法制造,所述半導(dǎo)體布置結(jié)構(gòu)至少具有基礎(chǔ)元件(2)和半導(dǎo)體(3),其中半導(dǎo)體(3)借助于燒結(jié)層(4)固定在基礎(chǔ)元件(2)上,其特征在于,至少部分地對(duì)基礎(chǔ)元件(2)的、直接抵靠燒結(jié)層(4)的區(qū)域(9)進(jìn)行打孔。

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