1.一種具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,
包括將半導(dǎo)體基板在氣體的流量以線速度計(jì)為3mm/秒~60mm/秒的條件下進(jìn)行熱處理的工序,所述半導(dǎo)體基板在至少一部分被賦予了含有包含施主元素的玻璃粒子、和分散介質(zhì)的n型擴(kuò)散層形成組合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
在所述進(jìn)行熱處理的工序后,還包括將形成于所述半導(dǎo)體基板上的玻璃層利用蝕刻除去的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
所述施主元素為選自磷P及銻Sb中的至少1種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
所述包含施主元素的玻璃粒子含有:
選自P2O3、P2O5及Sb2O3中的至少1種的含施主元素物質(zhì)、和
選自SiO2、K2O、Na2O、Li2O、BaO、SrO、CaO、MgO、BeO、ZnO、PbO、CdO、V2O5、SnO、ZrO2及MoO3中的至少1種玻璃成分物質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
還包括對(duì)所述具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板進(jìn)行氧化處理的工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
所述氧化處理為選自干式氧化及濕式氧化中的至少1種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法,其中,
所述半導(dǎo)體基板為硅基板。
8.一種太陽(yáng)能電池元件的制造方法,其包括在利用權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板的制造方法制造的具有n型擴(kuò)散層的半導(dǎo)體基板上形成電極的工序。