本發(fā)明涉及一種真空設(shè)備，所述真空設(shè)備具有真空腔，其中真空腔的平行于真空腔縱向中軸線延伸的外側(cè)一體地由腔擠壓型材構(gòu)成。

背景技術(shù)：

這種類型的真空設(shè)備由US 6,405,423 B1已知。這種已知的真空設(shè)備具有真空腔。真空腔的側(cè)壁由腔擠壓型材構(gòu)成。腔擠壓型材的端側(cè)通過螺紋連接在腔擠壓型材上的板件封閉。腔擠壓型材在至少一個垂直于腔擠壓型材端側(cè)構(gòu)成的外側(cè)上，即在至少一個側(cè)壁上具有用于對真空腔進行裝載和卸載的開口。所述開口必須復(fù)雜地銑削到腔擠壓型材中。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

與此相對，本發(fā)明的目的是，提供一種真空設(shè)備，所述真空設(shè)備的真空腔具有高度的密封性并且仍能夠以簡單且經(jīng)濟的方式和形式制造。

根據(jù)本發(fā)明，所述目的通過根據(jù)權(quán)利要求1的真空設(shè)備來實現(xiàn)。從屬權(quán)利要求給出優(yōu)選的改進方案。

根據(jù)本發(fā)明的目的因此通過一種真空設(shè)備來實現(xiàn)，所述真空設(shè)備具有真空腔，其中真空腔的平行于真空腔縱向中軸線延伸的外側(cè)一體地由腔擠壓型材構(gòu)成，其中，所述腔擠壓型材橫向于真空腔縱向中軸線構(gòu)造成完全封閉的并且具有端側(cè)的、能可逆地打開和關(guān)閉的門。

因此，根據(jù)本發(fā)明，可以不必復(fù)雜地在腔擠壓型材中銑削出開口。相反，腔擠壓型材橫向于真空腔縱向中軸線構(gòu)造成完全封閉的。真空腔的裝載和卸載通過其端側(cè)進行，所述端側(cè)構(gòu)造成能可逆地打開和關(guān)閉的門的形式。與US 6,405,423 B1不同，因此在根據(jù)本發(fā)明的真空設(shè)備中，腔擠壓型材在使用時不是豎直立起的，而是水平放置的。因此，在真空設(shè)備的運行中，真空腔縱向中軸線水平延伸?？傮w上，根據(jù)本發(fā)明的真空設(shè)備由此在結(jié)構(gòu)上明顯更為簡單地構(gòu)成并且因此可以較為經(jīng)濟地制造。

真空腔可以在第一端側(cè)上具有可安放的門。這種可安放的門可以通過泵吸緊，以便封閉真空腔。備選于此，真空腔可以在第一端側(cè)上具有滑移門。在可安放的門以及能滑移的門的情況下，真空腔都可以構(gòu)造成無鉸鏈的。但真空腔優(yōu)選在第一端側(cè)上具有能可擺動地打開和關(guān)閉的門。所述門的擺動軸線這里優(yōu)選橫向于真空腔縱向中軸線延伸，特別是垂直于與真空腔縱向中軸線平行的軸線延伸。真空設(shè)備由此可以在結(jié)構(gòu)上特別簡單和經(jīng)濟地構(gòu)成。

為了在腔擠壓型材上構(gòu)成在端側(cè)上能擺動的門，腔擠壓型材可以在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線延伸的第一鉸鏈突起，用于在門和腔擠壓型材之間實現(xiàn)能擺動的連接的第一鉸鏈設(shè)置在所述第一鉸鏈突起上。通過第一鉸鏈突起明顯簡化了第一鉸鏈的安裝。

腔擠壓型材可以在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線延伸的第二鉸鏈突起，用于在門和腔擠壓型材之間實現(xiàn)能擺動的連接的第二鉸鏈設(shè)置在所述第二鉸鏈突起上。第二鉸鏈突起加強門和腔擠壓型材之間能擺動的連接，從而明顯提高了門和腔擠壓型材之間的密封性。

為了在腔擠壓型材上保持關(guān)閉門，真空設(shè)備可以具有第一閉鎖件，所述第一閉鎖件設(shè)置在第一閉鎖件保持突起上，所述閉鎖件保持突起平行于真空腔縱向中軸線在腔擠壓型材的外側(cè)上構(gòu)成。

在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施形式中，所述腔擠壓型材在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線延伸的第二閉鎖件保持突起，在所述第二閉鎖件保持突起上設(shè)置用于將門在所述腔擠壓型材上保持關(guān)閉的閉鎖件。通過第二閉鎖件進一步提高了門和腔擠壓型材之間的密封性。

此外，腔擠壓型材可以在其外側(cè)上具有一個平行于真空腔縱向中軸線延伸的冷卻片。所述腔擠壓型材優(yōu)選在其外側(cè)上具有多個平行于真空腔縱向中軸線延伸的冷卻片。通過所述冷卻片，在很多應(yīng)用場合可以不必使用水冷。

所述真空設(shè)備優(yōu)選具有殼體。為了將真空腔固定在殼體上，所述腔擠壓型材在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線延伸的第一固定突起。所述第一固定突起簡化了真空腔在殼體上的裝配，從而降低了裝配成本。

所述腔擠壓型材在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線延伸的、用于將真空腔固定在殼體上的第二固定突起。通過所述第二固定突起，真空腔在結(jié)構(gòu)上特別簡單同時更可靠地固定在真空設(shè)備的殼體上。

在本發(fā)明的另一個優(yōu)選實施形式中，所述腔擠壓型材在其內(nèi)側(cè)上具有兩個相對置的、平行于真空腔縱向中軸線延伸的插入凹口，用于插入板件。由此明顯簡化了真空腔內(nèi)部中的樣品支座的制作。

所述腔擠壓型材優(yōu)選在其內(nèi)側(cè)上具有多個相對置的、平行于真空腔縱向中軸線延伸的插入凹口，用于插入板件。由此在制造腔擠壓型材時就已經(jīng)制成了多個板支座，由此明顯簡化了的真空設(shè)備的制造。

擠壓型材與第一端側(cè)相對的第二端側(cè)可以具有用于向真空腔中導(dǎo)入和/或從真空腔中導(dǎo)出介質(zhì)的凸緣。如果腔擠壓型材由鋁或鋁合金構(gòu)成，則可以實現(xiàn)特別簡單和經(jīng)濟地制造真空設(shè)備。

此外，如果真空設(shè)備具有殼體，在所述殼體中容納真空腔，其中殼體平行于真空腔縱向中軸線延伸的部分構(gòu)造成殼體擠壓型材的形式，則可以進一步明顯簡化真空設(shè)備的制造。換而言之，這樣來簡化真空設(shè)備的制造，即，不僅真空腔的主要部分、即腔擠壓型材，而且殼體的一部分、即殼體擠壓型材都能夠通過擠壓法制造。

在本發(fā)明的另一個優(yōu)選實施形式中，腔擠壓型材與擠壓型材的殼體構(gòu)造成一體的。

真空設(shè)備可以構(gòu)造成真空干燥器的形式。

為此真空設(shè)備可以具有用于至少部分地排空真空腔的泵。此外，真空設(shè)備可以具有加熱裝置。

腔擠壓型材可以至少在其內(nèi)側(cè)上鍍鎳，以便避免腐蝕。優(yōu)選整個真空腔在其內(nèi)側(cè)上鍍鎳。

在本發(fā)明的另一個優(yōu)選實施形式中，真空設(shè)備構(gòu)造成等離子設(shè)備的形式。在這種情況下，在真空腔的內(nèi)部可以設(shè)置至少一個等離子電極。等離子設(shè)備形式的真空設(shè)備此外可以具有泵、通風(fēng)閥、氣流儀、壓力指示器和/或高壓電源。

總而言之，可以設(shè)想在根據(jù)本發(fā)明的真空設(shè)備中使用擠壓型材的以下變型方案：

a)真空腔具有腔擠壓型材；

b)真空設(shè)備具有殼體擠壓型材。

腔擠壓型材可以與殼體擠壓型材連接。例如腔擠壓型材可以與殼體擠壓型材連接焊接和/或螺紋連接。備選于此地，腔擠壓型材和殼體擠壓型材可以構(gòu)造成一件式的、即一體的。

附圖說明

本發(fā)明其他的特征和優(yōu)點由下面參考附圖中的圖示對本發(fā)明的多個實施例的詳細說明和權(quán)利要求得出，這些附圖示出本發(fā)明重要的細節(jié)。

圖中所示特征是這樣示出的，即，能夠使得根據(jù)本發(fā)明的特別之處清晰可見。不同的特征可以本身單獨地或多個按任意組合地在本發(fā)明的變型方案中實現(xiàn)。

其中：

圖1示出等離子設(shè)備形式的真空設(shè)備的透視圖；

圖2示出第一腔擠壓型材的俯視圖；

圖3示出根據(jù)圖2的第一腔擠壓型材的俯視圖，其中第一腔擠壓型材固定在第一殼體擠壓型材上；以及

圖4示出第二腔擠壓型材的俯視圖，該第二腔擠壓型材與第二殼體擠壓型材構(gòu)造成一體的。

具體實施方式

圖1示出具有真空腔12的真空設(shè)備10。真空腔12基本上由殼體14包圍。真空腔12具有門16，所述門通過鉸鏈18、20能可擺動地打開和關(guān)閉。鉸鏈18、20一方面固定在門16上，另一方面固定在腔擠壓型材22(見圖2)上。為了在腔擠壓型材22上保持關(guān)閉門16，設(shè)有閉鎖件24、26。閉鎖件24、26一方面固定在腔擠壓型材22(見圖2)上，另一方面在門16關(guān)閉時嵌入門16的相應(yīng)支座中。

真空腔12水平設(shè)置，就是說，在真空設(shè)備10的運行狀態(tài)下，真空腔縱向中軸線28沿水平方向延伸。

真空設(shè)備10具有壓力指示器30、計時器32、氣流控制裝置34、36以及高壓控制裝置38。壓力指示器30用于顯示真空腔12的內(nèi)壓。計時器32用于設(shè)定處理時間。通過氣流測量裝置34、36可以調(diào)整和控制進入真空腔12的氣流。高壓控制裝置38用于給真空腔12中的等離子電極(未示出)供電。

圖2示出腔擠壓型材22。所述腔擠壓型材22沿真空腔縱向中軸線28構(gòu)造成同形的，真空腔縱軸線在圖2中僅以點狀示出。此外，腔擠壓型材22關(guān)于真空腔縱向中平面40對稱地構(gòu)成。腔擠壓型材22由鋁制成。

腔擠壓型材22在其外側(cè)上具有第一鉸鏈突起42和第二鉸鏈突起44。鉸鏈18、20(見圖1)安裝在所述鉸鏈突起42、44上。腔擠壓型材22此外還具有第一閉鎖件保持突起46，第一閉鎖件24(見圖1)安裝在第一閉鎖件保持突起上。第二閉鎖件26(見圖1)固定在第二閉鎖件保持突起48上。突起42、44、46、48使得能夠?qū)崿F(xiàn)，在結(jié)構(gòu)上非常簡單并且同時非常密封地以能擺動的布置形式將門16(見圖1)設(shè)置在腔擠壓型材22上。

為了冷卻腔擠壓型材22，腔擠壓型材可以在其外側(cè)上具有一個或多個冷卻片50、52、54(在圖2中用虛線示出)。

腔擠壓型材22在其內(nèi)側(cè)上具有多個插入凹口，能夠分別將一個板件(未示出)導(dǎo)入所述插入凹口中。為了清楚起見，在圖2中僅第一插入凹口56和第二插入凹口58設(shè)有附圖標記。插入凹口56、58彼此相對地關(guān)于真空腔縱向中平面40對稱構(gòu)成。

為了將腔擠壓型材22固定在殼體14(見圖1)上，腔擠壓型材22具有固定突起60、62。

圖3示出腔擠壓型材22，所述腔擠壓型材通過固定件64、66安裝在殼體擠壓型材68上。殼體擠壓型材68構(gòu)成殼體14(見圖1)的一部分。在當(dāng)前情況下，固定件64、66構(gòu)造成螺栓的形式。

圖4示出第二腔擠壓型材70以及第二殼體擠壓型材72，其中，與擠壓型材22、68(見圖3)不同，擠壓型材70、72相互構(gòu)造成一體的。由此可以實現(xiàn)特別高效地制造真空設(shè)備。

總而言之，本發(fā)明涉及一種真空設(shè)備、特別是等離子設(shè)備形式的真空設(shè)備。所述真空設(shè)備具有真空腔。所述真空腔的側(cè)壁構(gòu)造成連續(xù)封閉的腔擠壓型材的形式。腔擠壓型材的第一端側(cè)優(yōu)選用板件封閉。腔擠壓型材的與第一端側(cè)相對置的第二端側(cè)具有能可逆地打開和關(guān)閉的門。所述門優(yōu)選通過至少一個鉸鏈能擺動地固定在腔擠壓型材上。橫向于腔擠壓型材的縱軸線完全封閉的側(cè)壁使得能夠簡單且經(jīng)濟地制造真空腔。優(yōu)選真空腔至少部分地容納在殼體中，所述殼體至少部分地同樣構(gòu)造成擠壓型材的形式。