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具有四周封閉的腔擠壓型材的真空設(shè)備、特別是等離子設(shè)備的制作方法

文檔序號:12142608閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.真空設(shè)備(10),具有真空腔(12),其中真空腔(12)的平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的外側(cè)一體地由腔擠壓型材(22、70)構(gòu)成,其特征在于,所述腔擠壓型材(22、70)橫向于真空腔縱向中軸線(28)構(gòu)造成完全封閉的并且具有端側(cè)的、能可逆地打開和關(guān)閉的門。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備,其中,所述真空腔(12)在一個端側(cè)上具有能安放的門、能滑移打開和關(guān)閉的門或者能可擺動地打開和關(guān)閉的門(16)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空設(shè)備,其中,所述腔擠壓型材(22、70)在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的鉸鏈突起(42、44),在所述鉸鏈突起上設(shè)置用于在門(16)與腔擠壓型材(22、70)之間實(shí)現(xiàn)能擺動的連接的鉸鏈(18、20)。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的真空設(shè)備,其中,所述腔擠壓型材(22、70)在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的閉鎖件保持突起(46、48),在所述閉鎖件保持突起上設(shè)置用于將門(16)在所述腔擠壓型材(22、70)上關(guān)閉的閉鎖件(24、26)。

5.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的真空設(shè)備,其中,所述腔擠壓型材(22、70)在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的冷卻片(50、52、54)。

6.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的真空設(shè)備,其中,所述腔擠壓型材(22、70)在其外側(cè)上具有平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的固定突起(60、62),用于將真空腔(12)固定在真空設(shè)備(10)的殼體(14)上。

7.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的真空設(shè)備,其中,所述腔擠壓型材(22、70)在其內(nèi)側(cè)上具有兩個相對置的、平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的插入凹口(56、58),用于插入板件。

8.根據(jù)上述權(quán)利要求之一所述的真空設(shè)備,其中,所述真空設(shè)備(10)具有殼體(14),真空腔(12)容納在所述殼體中,殼體(14)平行于真空腔縱向中軸線(28)延伸的部分構(gòu)造成殼體擠壓型材(68、72)的形式。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的真空設(shè)備,其中,所述真空設(shè)備構(gòu)造成真空干燥器的形式。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的真空設(shè)備,其中,所述真空設(shè)備(10)構(gòu)造成等離子設(shè)備的形式。

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