技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于電子顯微鏡的電子能量損失光譜儀，其中，電隔離漂移管延伸穿過彎轉(zhuǎn)磁鐵，以及穿過將光譜聚焦且放大的后續(xù)光學(xué)器件。漂移管的前端、后端或前后兩端設(shè)置有靜電透鏡或磁透鏡，根據(jù)彎轉(zhuǎn)磁鐵漂移管的電壓調(diào)節(jié)透鏡，以保持恒定的凈焦距，同時(shí)避免出現(xiàn)散焦。特定實(shí)施例中包含有能量選擇狹縫，可徹底攔截分散在入射到檢測器上的能量范圍外的電子，從而消除向光譜散射回的多余電子造成的假象。

技術(shù)研發(fā)人員：亞歷山大·約瑟夫·古本斯;科林·特雷弗;雷伊·達(dá)德利·特韋斯頓;梅勒妮·巴費(fèi)爾斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：加坦公司
文檔號(hào)碼：201580034881
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.25
技術(shù)公布日：2017.06.06