1.一種用于透射電子顯微鏡的電子能量損失光譜儀,包括:彎轉磁鐵,電隔離漂移管,具有入口端和出口端,并維持漂移管的電位,具有入口端和出口端,靠近所述彎轉磁鐵,設置在所述漂移管一端或兩端的靜電透鏡或磁透鏡,根據(jù)所述漂移管電位調節(jié)所述靜電透鏡或磁透鏡,從而在一端或兩端形成恒定凈焦距,多個光學器件,用于最大限度地減少像差,并在光譜儀中產(chǎn)生譜的中間焦點。
2.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述隔離漂移管延伸穿過所述多個光學器件,以便所述多個光學器件中存在恒定范圍的電子能量。
3.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述透鏡選自含圓形靜電透鏡、圓形磁透鏡、多極靜電透鏡和多級磁透鏡的組合,其中,可以調節(jié)所述透鏡,以便在所述漂移電位改變時,保持光譜在檢測器上聚焦。
4.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述透鏡或多個所述透鏡設置于所述彎轉磁鐵漂移管的所述入口和出口處。
5.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,單透鏡或多個所述透鏡設置于所述漂移管的所述入口處。
6.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,單透鏡或多個所述透鏡設置于所述漂移管的所述出口處。
7.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,進一步包括能量選擇狹縫,所述狹縫配置浮動于狹縫電位,所述狹縫電位配置用于通過將所述狹縫電位與所述漂移管的所述電位進行匹配,從而防止在所述狹縫周圍出現(xiàn)透鏡效應。
8.根據(jù)權利要求1所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,進一步包括能量選擇狹縫,所述狹縫配置浮動于狹縫電位,所述狹縫電位配置用于通過使用所述漂移管的所述電位抵消所述狹縫電位,從而有意地在所述狹縫周圍造成透鏡效應。
9.根據(jù)權利要求7所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述能量選擇狹縫的邊緣圍繞光譜儀的光軸單獨設置,所述能量損失譜被所述多個光學器件帶入所述狹縫附近的中間焦點中,從而徹底攔截檢測器視野之外的電子。
10.根據(jù)權利要求8所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述能量選擇狹縫的邊緣圍繞光譜儀的光軸單獨設置,所述能量損失譜被所述多個光學器件帶入所述狹縫附近的中間焦點中,從而徹底攔截檢測器視野之外的電子。
11.根據(jù)權利要求9所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,進一步包括額外的擋板,與所述能量選擇狹縫一起用于徹底攔截檢測器視野之外的電子。
12.根據(jù)權利要求10所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,進一步包括額外的擋板,與所述能量選擇狹縫一起用于徹底攔截檢測器視野之外的電子。
13.根據(jù)權利要求7所述的電子能量損失光譜儀,其特征在于,所述能量選擇狹縫的邊緣圍繞光軸對稱設置。