1.一種散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其經(jīng)配置以測(cè)量來(lái)自具有相應(yīng)至少一個(gè)測(cè)量方向的至少一個(gè)目標(biāo)的衍射信號(hào)，所述散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)具有至少一個(gè)場(chǎng)光闌，所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌具有相對(duì)于所述至少一個(gè)測(cè)量方向傾斜的邊緣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌包括照明場(chǎng)光闌及收集場(chǎng)光闌中的至少一者。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌的所述邊緣形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)30°到60°的矩形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌的所述邊緣形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)45°的矩形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)目標(biāo)的邊緣相對(duì)于所述至少一個(gè)測(cè)量方向傾斜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括校正模塊，所述校正模塊經(jīng)配置以使用所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌的所測(cè)量衍射信號(hào)校正來(lái)自所述至少一個(gè)目標(biāo)的所測(cè)量散射測(cè)量信號(hào)。
7.一種由根據(jù)權(quán)利要求1到6中任一權(quán)利要求所述的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)進(jìn)行的散射測(cè)量計(jì)量測(cè)量。
8.一種沿著至少一個(gè)相應(yīng)測(cè)量方向具有至少一個(gè)周期性結(jié)構(gòu)的散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)，其中所述目標(biāo)的邊緣相對(duì)于所述至少一個(gè)測(cè)量方向傾斜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)，其中所述目標(biāo)邊緣形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)30°到60°的矩形。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)，其中所述目標(biāo)邊緣形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)45°的矩形。
11.一種用于根據(jù)權(quán)利要求8到10中任一權(quán)利要求所述的散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)的目標(biāo)設(shè)計(jì)文件。
12.一種對(duì)根據(jù)權(quán)利要求8到10中任一權(quán)利要求所述的散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)的散射測(cè)量計(jì)量測(cè)量。
13.一種散射測(cè)量計(jì)量方法，其包括在用于測(cè)量沿著至少一個(gè)相應(yīng)測(cè)量方向具有至少一個(gè)周期性結(jié)構(gòu)的至少一個(gè)散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)的散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)中，將以下各項(xiàng)中的至少一者的邊緣設(shè)計(jì)成相對(duì)于所述至少一個(gè)測(cè)量方向傾斜：所述系統(tǒng)中的至少一個(gè)場(chǎng)光闌，及所述至少一個(gè)目標(biāo)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其進(jìn)一步包括將所述邊緣設(shè)計(jì)成形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)30°到60°的矩形。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其進(jìn)一步包括將所述邊緣設(shè)計(jì)成形成從所述至少一個(gè)測(cè)量方向旋轉(zhuǎn)45°的矩形。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其進(jìn)一步包括由所述散射測(cè)量計(jì)量系統(tǒng)測(cè)量所述至少一個(gè)散射測(cè)量計(jì)量目標(biāo)的散射測(cè)量信號(hào)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其進(jìn)一步包括測(cè)量所述至少一個(gè)場(chǎng)光闌的衍射信號(hào)且相應(yīng)地校正所述所測(cè)量散射測(cè)量信號(hào)。