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光電轉(zhuǎn)換元件、成像裝置、光學(xué)傳感器及光電轉(zhuǎn)換元件制造的方法與流程

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技術(shù)特征:

1.一種光電轉(zhuǎn)換元件,其包括:

第一電極;

有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層,其布置在所述第一電極的上層中,所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層包括一種或多種有機(jī)半導(dǎo)體材料;

緩沖層,其布置在所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層的上層中,所述緩沖層包括非晶無(wú)機(jī)材料并且具有7.7至8.0eV的能級(jí),且所述緩沖層與所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層之間的HOMO能級(jí)差為2eV以上;以及

第二電極,其布置在所述緩沖層的上層中。

2.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層由多種金屬氧化物形成。

3.如權(quán)利要求2所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述金屬氧化物中的至少一者是金屬氧化物半導(dǎo)體。

4.如權(quán)利要求2所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層由從如下群組中選擇的多種金屬氧化物形成,所述群組包括鋅氧化物、硅氧化物、錫氧化物、鈮氧化物、鈦氧化物、鉬氧化物、鋁氧化物、基于In-Ga-Zn的氧化物(IGZO)、鎂氧化物和鉿氧化物。

5.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層由各自具有不同能級(jí)的多個(gè)層構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層具有3至300nm的厚度。

7.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層具有100kΩ/□以上的表面電阻。

8.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述第二電極由透明材料形成。

9.如權(quán)利要求8所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層由透明材料形成,且所述緩沖層與所述第二電極的相對(duì)折射率為0.3以下。

10.如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件,其中,所述緩沖層是通過(guò)濺射法形成的。

11.一種成像裝置,其包括如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件。

12.一種光學(xué)傳感器,其包括如權(quán)利要求1所述的光電轉(zhuǎn)換元件。

13.如權(quán)利要求12所述的光學(xué)傳感器,其是紅外傳感器。

14.一種制造光電轉(zhuǎn)換元件的方法,所述方法包括:

形成第一電極的步驟;

在所述第一電極的上層中形成有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層的步驟,所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層包括一種或多種有機(jī)半導(dǎo)體材料;

在所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層的上層中形成形成緩沖層的步驟,所述緩沖層包括非晶無(wú)機(jī)材料并且具有7.7至8.0eV的能級(jí),且所述緩沖層與所述有機(jī)光電轉(zhuǎn)換層之間的HOMO能級(jí)差為2eV以上;以及

在所述緩沖層的上層中形成第二電極的步驟。

15.如權(quán)利要求14所述的制造光電轉(zhuǎn)換元件的方法,其包括通過(guò)濺射法形成所述緩沖層。

16.如權(quán)利要求15所述的制造光電轉(zhuǎn)換元件的方法,其包括在引入氧的同時(shí)形成所述緩沖層的膜。

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