技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種脈沖射頻等離子體的阻抗匹配方法和裝置。該方法和裝置中，等離子體阻抗匹配過程不局限于一個脈沖周期內(nèi)，不論是高射頻功率階段等離子體阻抗匹配過程還是低射頻功率階段的等離子體阻抗匹配過程均可以在不同脈沖周期內(nèi)進(jìn)行，因此，本發(fā)明提供的方法不受脈沖周期的限制，即使針對高脈沖頻率的脈沖射頻等離子體也可以分別搜尋到分別與高、低射頻功率階段的等離子體相匹配的射頻頻率。

技術(shù)研發(fā)人員：葉如彬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
文檔號碼：201510929450
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.14
技術(shù)公布日：2017.06.20