亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

低溫多晶硅薄膜晶體管及其制作方法、AMOLED顯示面板與流程

文檔序號:12680610閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,包括:

提供一具有第一區(qū)域和第二區(qū)域的基板,所述第一區(qū)域和第二區(qū)域具有不同的散熱系數(shù);

在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上形成非晶硅層,并對所述非晶硅層進行準分子激光退火工藝以形成多晶硅薄膜,所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上的多晶硅薄膜的晶粒尺寸不同;

在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上形成柵絕緣層、柵電極、層間絕緣層、源電極和漏電極,以在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域分別形成低溫多晶硅薄膜晶體管,所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上的低溫多晶硅薄膜晶體管的亞閾值擺幅不同。

2.如權(quán)利要求1所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,進行準分子激光退火工藝時,所述第一區(qū)域上的多晶硅薄膜處于接近完全熔融狀態(tài)時,所述第二區(qū)域上的多晶硅薄膜處于部分熔融狀態(tài)。

3.如權(quán)利要求1或2所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,通過在所述第二區(qū)域上形成導熱層使所述第一區(qū)域和第二區(qū)域具有不同的散熱系數(shù);所述導熱層中形成有若干孔洞。

4.如權(quán)利要求3所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,僅在所述第二區(qū)域?qū)蜏囟嗑Ч璞∧ぞw管的溝道區(qū)的位置形成導熱層,或者,在所述第二區(qū)域的所有位置均形成導熱層。

5.如權(quán)利要求3所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,在所述第二區(qū)域上形成導熱層的步驟包括:

在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上形成導熱層薄膜;

去除所述第二區(qū)域上的導熱層薄膜,保留所述第二區(qū)域上全部位置或者對應低溫多晶硅薄膜晶體管的溝道區(qū)的位置的導熱層薄膜,構(gòu)成導熱層。

6.如權(quán)利要求1所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在于,在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域形成不同散熱系數(shù)的材料層以使所述第一區(qū)域和第二區(qū)域具有不同的散熱系數(shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的低溫多晶硅薄膜晶體管的制作方法,其特征在 于,使所述第一區(qū)域和第二區(qū)域具有不同的散熱系數(shù)之后,在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上形成非晶硅層之前,還包括:在所述第一區(qū)域和第二區(qū)域上形成緩沖層。

8.一種低溫多晶硅薄膜晶體管,其特征在于,利用如權(quán)利要求1至8中任意一項所述的方法制作而成。

9.如權(quán)利要求8所述的低溫多晶硅薄膜晶體管,其特征在于,所述第一區(qū)域上的低溫多晶硅薄膜晶體管的亞閾值擺幅小于所述第二區(qū)域上的低溫多晶硅薄膜晶體管的亞閾值擺幅,所述第一區(qū)域上的低溫多晶硅薄膜晶體管作為AMOLED顯示面板中的開關(guān)薄膜晶體管,所述第二區(qū)域上的低溫多晶硅薄膜晶體管作為AMOLED顯示面板中的驅(qū)動薄膜晶體管。

10.一種AMOLED顯示面板,其特征在于,包括如權(quán)利要求9或10所述的低溫多晶硅薄膜晶體管。

當前第2頁1 2 3 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1