技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種下電極組件及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括由上而下依次設(shè)置的下電極板、絕緣介質(zhì)層和金屬基座，其中，在絕緣介質(zhì)層中設(shè)置有沿其厚度方向貫穿的絕緣塞，該絕緣塞具有氣體通道，該氣體通道的出氣端和進(jìn)氣端分別位于絕緣塞的上端面和下端面，通過向氣體通道內(nèi)通入熱交換氣體，而實(shí)現(xiàn)對下電極板的溫度控制，并且氣體通道為非線性通道。本發(fā)明提供的下電極組件，其不僅可以在相同氣壓的條件下，延長輸送熱交換氣體的長度，而且還可以避免非線性通道內(nèi)的熱交換氣體的流動方向與電場方向一致，從而可以降低熱交換氣體發(fā)生打火的風(fēng)險。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇恒毅;韋剛;李興存;欒大為
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號碼：201510867912
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.01
技術(shù)公布日：2017.06.09