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一種基于波長鎖定半導(dǎo)體激光模塊的銩激光器的制作方法

文檔序號(hào):12066604閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于波長鎖定半導(dǎo)體激光模塊的銩激光器,其特征在于,包括波長鎖定的窄線寬半導(dǎo)體激光器模塊、泵浦光準(zhǔn)直聚焦模塊和激光諧振腔模塊;半導(dǎo)體泵浦光經(jīng)波長鎖定的窄線寬半導(dǎo)體激光器模塊輸出到泵浦光準(zhǔn)直聚焦模塊后,通過激光諧振腔模塊產(chǎn)生激光輸出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銩激光器,其特征在于,該波長鎖定的窄線寬半導(dǎo)體激光器模塊包括波長鎖定的窄線寬半導(dǎo)體激光器和多模光纖,該波長鎖定的窄線寬半導(dǎo)體激光器包括半導(dǎo)體激光器和體布拉格光柵,半導(dǎo)體激光器發(fā)出的半導(dǎo)體泵浦光經(jīng)過體布拉格光柵進(jìn)行波長鎖定及線寬壓縮后輸出給多模光纖。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的銩激光器,其特征在于,該激光諧振腔模塊為平凹腔結(jié)構(gòu),包括高反射率腔鏡、夾有激光晶體的冷卻銅塊以及耦合輸出鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的銩激光器,其特征在于,該夾有激光晶體的冷卻銅塊包括冷卻銅塊以及安裝在銅塊里面的激光晶體,激光晶體為單端鍵合的Tm:YAG晶體。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的銩激光器,其特征在于,該冷卻銅塊上設(shè)置有水嘴,與外置的控溫水箱組成激光晶體的水冷回路,冷卻水溫度控制在10-25℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的銩激光器,其特征在于,激光晶體摻雜部分長度為14—20mm,摻雜濃度在2—5a.t.%之間,鍵合的無摻雜部分長度<4mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的銩激光器,其特征在于,高反射率腔鏡和耦合輸出鏡以及激光晶體的對(duì)稱中心調(diào)整到同一條直線上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的銩激光器,其特征在于,高反射率腔鏡的第二面與激光晶體第一面的距離小于10mm,激光晶體第二面與耦合輸出鏡第一面的距離在10-50mm之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銩激光器,其特征在于,該泵浦光準(zhǔn)直聚焦模塊是由兩片規(guī)格相同的平凸透鏡組成的共軛成像系統(tǒng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的銩激光器,其特征在于,多模光纖的輸出端接口與泵浦光準(zhǔn)直聚焦模塊一同封裝在同一個(gè)鋁材料鏡筒,該兩片相同規(guī)格的平凸透鏡填裝到該鋁材料鏡筒中并固定,將多模光纖的輸出端固定到鋁材料鏡筒的輸入端,固定時(shí)確保多模光纖的輸出端與鏡筒輸入端連接上時(shí)多模光纖的輸入端面與平凸透鏡第一面的距離為平凸透鏡的后焦距,用以保證入射平凸透鏡后的泵浦光得到準(zhǔn)直。

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