技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種雙通孔結(jié)構(gòu)的微型熱電能量采集器及其制備方法，所述采集器的制作過程中采用雙通孔結(jié)構(gòu)，即：環(huán)形溝槽和通孔。再在雙通孔結(jié)構(gòu)中分別填充第一熱電層和第二熱電層，形成熱電偶對，并通過頂部電連接層實現(xiàn)熱電偶對之間的串聯(lián)，得到熱電偶陣列，即微型熱電能量采集器。本發(fā)明的熱電能量采集器與傳統(tǒng)平面結(jié)構(gòu)的采集器相比，其雙通孔結(jié)構(gòu)熱電偶臂端面與導熱板之間具有較大的接觸面積，可以降低接觸熱阻和接觸電阻，提高器件的溫差利用率和發(fā)電功率；同時，相比垂直結(jié)構(gòu)分立的熱電偶臂陣列，這種雙通孔結(jié)構(gòu)可以進一步提高器件的集成度。

技術(shù)研發(fā)人員：徐德輝;吳利青;熊斌
受保護的技術(shù)使用者：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號碼：201510532111
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.26
技術(shù)公布日：2017.03.08