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電子裝置及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12160171閱讀:205來源:國(guó)知局
本發(fā)明涉及一種電子裝置及其制作方法,尤其涉及一種借助一附著層以提升塑料基板與無機(jī)層間附著力的電子裝置及其制作方法。
背景技術(shù)
:隨著電子產(chǎn)品薄型化及輕量化的要求,電子產(chǎn)品由之前的玻璃基板轉(zhuǎn)而朝向使用塑料基板的方向發(fā)展,而可達(dá)到比重輕、可撓曲、耐摔、不易破碎,以及耐沖擊等特性。當(dāng)將玻璃基板改以塑料基板取代時(shí),由于塑料基板為一有機(jī)材料,而與其上方所形成的無機(jī)層為異質(zhì)介面接合。然而,此異質(zhì)介面接合兩者之間并無直接鍵合,只能靠著彼此之間較弱的范德華力及錨定力,以將無機(jī)層固設(shè)于塑料基板上;當(dāng)形成主動(dòng)元件層時(shí),因工藝中所使用的高熱或所產(chǎn)生的濕氣,會(huì)造成無機(jī)層與塑料基板分離或產(chǎn)生孔洞,而造成電子裝置的阻水氧率下降,而造成電子裝置的表現(xiàn)劣化,甚至是降低電子裝置的合格率。有鑒于此,目前亟需發(fā)展一種可改善塑料基板與無機(jī)層異質(zhì)介面附著力弱的電子裝置,以期能降低無機(jī)層與塑料基板分離或產(chǎn)生孔洞的問題,進(jìn)而提升電子裝置的合格率及表現(xiàn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明提供了一種電子裝置及其制作方法,通過形成一以硅氧烷或其衍生物所形成的附著層,可增加塑料基板與無機(jī)層之間的附著力,進(jìn)而降低無機(jī)層與塑料基板有剝離的情形發(fā)生。本發(fā)明的電子裝置的制作方法,包括下列步驟:提供一第一基板,且表面改性該第一基板的一表面,其中該第一基板為一塑料基板;涂布一硅氧烷或其衍生物,以在經(jīng)表面改性的該表面上形成一附著前驅(qū)物層;熱處 理該附著前驅(qū)物層,以形成一附著層;在該附著層上形成一無機(jī)層;形成一主動(dòng)元件層在該無機(jī)層上,以使該無機(jī)層設(shè)于該附著層與該主動(dòng)元件層之間。經(jīng)由上述步驟,本發(fā)明所提供的電子裝置,包括:一第一基板,包含一塑料基板;一附著層,設(shè)于該第一基板上且包括一硅氧烷或其衍生物的縮合物;一無機(jī)層,設(shè)于該附著層上;以及一主動(dòng)元件層,設(shè)于該無機(jī)層上,且該無機(jī)層設(shè)于該附著層與該主動(dòng)元件層之間。在本發(fā)明的電子裝置的制作方法中,在提供該第一基板前,可選擇性的還包括一步驟:提供一載板,并將該第一基板設(shè)置在該載板上。當(dāng)有使用載板的情形下,在形成該主動(dòng)元件層于該無機(jī)層上后,可選擇性的還包括一步驟:移除該載板。在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,該附著層或該附著前驅(qū)物層與該第一基板間具有一共價(jià)鍵;其中,此共價(jià)鍵優(yōu)選為-C-O-Si-。此外,該附著層與該無機(jī)層間也具有一共價(jià)鍵;其中,此共價(jià)鍵優(yōu)選為-M1-M2-C-,其中,M1為Si或Al,而M2為O或N。在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,該附著層的厚度介于10-100nm,且優(yōu)選介于30-40nm。在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,該硅氧烷或其衍生物如下式(I)所示:其中,R1、R2及R3各自獨(dú)立地為H或C1-6烷基,Y為C1-20烷基、C2-20烯基、C1-20烷基-環(huán)氧乙基、環(huán)氧乙基、C1-20烷基丙烯酸或-O-C1-20烷基。優(yōu)選地,R1、R2及R3各自獨(dú)立地為H或C1-3烷基,Y為C1-6烷基、C2-6烯基、C1-6烷基-環(huán)氧乙基、環(huán)氧乙基、C1-6烷基丙烯酸或-O-C1-6烷基。在本發(fā)明中,烷基及烯基可選擇性地被取代基取代或未取代;而取代基的實(shí)際例子包括,但不限于,烷基、鹵素、烷氧基、烯基、雜環(huán)基或芳基,但烷基不會(huì)再被烷基所取代。在前述取代基中,所謂的“鹵素”包括氟、氯、溴及碘。所謂的“烷基”包括直鏈及支鏈的烷基,優(yōu)選為包括直 鏈及支鏈的C1-20烷基,更優(yōu)選為包括直鏈及支鏈的C1-12烷基,且進(jìn)一步優(yōu)選包括直鏈及支鏈的C1-6烷基;且其具體例子包括,但不限于:甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、新戊基、己基。所謂的“烷氧基”一詞為本發(fā)明中所定義的烷基經(jīng)加上一氧原子所形成的分子基團(tuán),優(yōu)選為包括直鏈及支鏈的C1-20烷氧基,更優(yōu)選為包括直鏈及支鏈的C1-12烷氧基,且進(jìn)一步優(yōu)選為包括直鏈及支鏈的C1-6烷氧基;且其具體例子包括,但不限于:甲氧基、乙氧基、丙氧基、2-丙氧基、丁氧基、叔丁氧基、戊氧基及己氧基。所謂的“烯基”一詞指包含至少一個(gè)雙鍵且包括直鏈及支鏈的碳?xì)浠鶊F(tuán),優(yōu)選為包含至少一個(gè)雙鍵且包括直鏈及支鏈的C2-20碳?xì)浠鶊F(tuán),更優(yōu)選為包含至少一個(gè)雙鍵且包括直鏈及支鏈的C2-12碳?xì)浠鶊F(tuán),且進(jìn)一步優(yōu)選為包含至少一個(gè)雙鍵且包括直鏈及支鏈的C2-6碳?xì)浠鶊F(tuán);且其具體例子包括,但不限于:乙烯、丙烯及丁烯。所謂的“芳基”包括6元碳單環(huán)、10元碳雙環(huán)、14元三環(huán)芳香族環(huán)系統(tǒng),其具體例子包括,但不限于:苯基、萘基、芘基、蒽基及菲基,且優(yōu)選為苯基。所謂的“雜環(huán)基”一詞指環(huán)中具有至少一雜原子的5-8元單環(huán)、8-12元雙環(huán)或11-14元的三環(huán)的雜芳香環(huán)(即雜芳基)及雜環(huán)烷基團(tuán),其中環(huán)中的每一雜原子選自O(shè)、S及N;其中,雜芳基的具體例子包括,但不限于:吡啶基(pyridyl)、嘧啶基(pyrimidinyl)、呋喃基(furyl)、噻唑基(thiazolyl)、咪唑基(imidazolyl)及噻吩基(thienyl)。當(dāng)R1、R2和/或R3為經(jīng)取代基取代的官能基時(shí),優(yōu)選選用親水性取代基進(jìn)行取代;而Y為經(jīng)取代基取代的官能基時(shí),則優(yōu)選選用疏水性取代基進(jìn)行取代。在此,硅氧烷或其衍生物的具體例子可如下式(I-1)至(I-3)中任一所示:此外,在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,無機(jī)層的材料為一金屬氧化物或一陶瓷材料;且無機(jī)層的材料優(yōu)選至少一種選自氧化鋁、氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,用于作為第一基板的塑料基板的材料可為聚丙烯(PP)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚酰亞胺(PI)。在一般的電子裝置工藝中,無機(jī)層直接形成在塑料基板上;然而,兩者之間并無直接鍵合,只能靠著彼此之間較弱的范德華力及錨定力,以將無機(jī)層固設(shè)于塑料基板上;故容易因后續(xù)工藝高溫或產(chǎn)生的濕氣,而使得無機(jī)層從塑料基板上剝離或產(chǎn)生孔洞。因此,在本發(fā)明的電子裝置及其制作方法中,在塑料基板與無機(jī)層間形成一由硅氧烷或其衍生物所形成的附著層,通過附著層分別與塑料基板與無機(jī)層所形成的共價(jià)鍵,而可提升無機(jī)層與塑料基板間彼此的附著力,進(jìn)而改善因無機(jī)層與塑料基板的異質(zhì)介面附著力不佳的問題,以提升電子裝置的表現(xiàn)及合格率。附圖說明圖1A至1D為本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的電子裝置的制作流程示意圖;圖2A至2D為本發(fā)明實(shí)施例1的電子裝置的制作流程中第一基板與附著層間的鍵合示意圖;圖3A為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的硅氧烷化合物在涂布前的硅的化學(xué)分析電子能譜;圖3B為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的硅氧烷化合物在涂布前的碳的化學(xué)分析電子能譜;圖3C為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的硅氧烷化合物在涂布前的氧的化學(xué)分析電子能譜;圖4A為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著前驅(qū)物層的硅的化學(xué)分析電子能譜;圖4B為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著層的硅的化學(xué)分析電子能譜;圖5A為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著前驅(qū)物層的氧的化學(xué)分析電子能譜;圖5B為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著層的氧的化學(xué)分析電子能譜;圖6A為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著前驅(qū)物層的碳的化學(xué)分析電子能譜;圖6B為本發(fā)明實(shí)施例1所使用的附著層的碳的化學(xué)分析電子能譜。【符號(hào)說明】11載板12第一基板13附著前驅(qū)物層131附著層14無機(jī)層15主動(dòng)元件層具體實(shí)施方式以下通過特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭示的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明也可以通過其他不同的具體實(shí)施例加以施行或應(yīng)用,本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以針對(duì)不同觀點(diǎn)與應(yīng)用,在不悖離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾與變更。圖1A至1D為本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的電子裝置的制作流程示意圖。如圖1A所示,在本實(shí)施例的電子裝置的制作流程中,首先,提供一第一基板12,其為一塑料基板。在此,適用于本實(shí)施例的塑料基板可為PP、PEN、PET或PI基板。此外,第一基板12的厚度并無特殊限制,可依照設(shè)計(jì)而有所變更;例如,可減少第一基板12的厚度,以調(diào)整所制得的可撓式電子裝置的可彎曲程度;在本實(shí)施例中,第一基板12的厚度可介于10μm至250μm。當(dāng)?shù)谝换?2為一PI基板時(shí),其厚度優(yōu)選介于15μm至50μm;而當(dāng)?shù)谝换?2為一PET基板時(shí),其厚度優(yōu)選約為200μm;然而,本發(fā)明并不僅限于此。由于第一基板12可能因厚度較薄而剛性較差,而無法適應(yīng)現(xiàn)有使用硬性基板的機(jī)臺(tái);因此,如圖1A所示,還可以提供一載板11,并將第一基板12設(shè)置在載板11上,以增加第一基板12的剛性。接著,表面改性第一基板12的一表面,使其表面具有親水性;在此,可以UV光或等離子處理改性第一基板12的表面,且經(jīng)改性后的表面則可顯露出-OH基團(tuán)。而后,如圖1B所示,在經(jīng)表面改性的第一基板12的表面上涂布一硅氧烷或其衍生物,以形成一附著前驅(qū)物層13;在此,可以浸沾式涂布、滾筒式涂布、印刷涂布、旋轉(zhuǎn)式涂布或其他涂布方式形成附著前驅(qū)物層13。其中,附著前驅(qū)物層13的涂布厚度可介于10-100nm,而優(yōu)選介于30-40nm之間。在此,附著前驅(qū)物層13所使用的硅氧烷或其衍生物可如下式(I)所示:其中,R1、R2及R3各自獨(dú)立地為H或C1-6烷基,Y為C1-20烷基、C2-20烯基、C1-20烷基-環(huán)氧乙基、環(huán)氧乙基、C1-20烷基丙烯酸、或-O-C1-20烷基。其中,-OR1、-OR2及-OR3為一親水性官能基(親水端),其可與第一基板12表面處理后所顯露的-OH基團(tuán)產(chǎn)生自組裝縮合反應(yīng),而產(chǎn)生共價(jià)鍵合;而Y則為一疏水性官能基(疏水端)。在此,由于親水端是朝向第一基板12方向,故附著前驅(qū)物層13的表面顯露出疏水端。在本實(shí)施例中,硅氧烷或其衍生物的具體例子如下式(I-1)至(I-3)中任一所示:而后,如圖1C所示,進(jìn)行一熱處理工藝,以使附著前驅(qū)物層13表面的疏水端轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂杏H水性的-OH基團(tuán),以形成一附著層131;其中,熱處理工藝的溫度及時(shí)間可隨著硅氧烷或其衍生物的特性而改變,優(yōu)選為,熱處理工藝的溫度可介于60至100℃,而時(shí)間則可介于5至20分鐘。如圖1C所示,接著,在附著層131上形成一無機(jī)層14,而附著層131表面的-OH基團(tuán)則得以與無機(jī)層14反應(yīng),而形成共價(jià)鍵合。在本實(shí)施例中,無機(jī)層14的材料可為一金屬氧化物或一陶瓷材料;例如:氧化鋁、氧化硅、氮化硅及氮氧化硅等。最后,在無機(jī)層14上形成一主動(dòng)元件層15,以使無機(jī)層14設(shè)于附著層131與主動(dòng)元件層15之間;并移除第一基板12下方的載板11,則完成本實(shí)施例的電子裝置,如圖1D所示。因此,本實(shí)施例的電子裝置包括:一第一基板12,包含一塑料基板;一附著層131,設(shè)于第一基板12上且包括一硅氧烷或其衍生物的縮合物;一無機(jī)層14,設(shè)于附著層131上;以及一主動(dòng)元件層15,設(shè)于無機(jī)層14上,且無機(jī)層14設(shè)于附著層131與主動(dòng)元件層15之間。接下來,將以下述實(shí)施例1作為舉例,以詳細(xì)說明附著層131與第一基板12及無機(jī)層14之間的反應(yīng)及鍵合。實(shí)施例1在本實(shí)施例中,第一基板使用PI基板,而硅氧烷衍生物使用如下式(I-1)所示的化合物:圖2A至2D為本實(shí)施例的電子裝置的制作流程中第一基板與附著層之間的鍵合示意圖。首先,如圖1A所示,提供一第一基板12,其為一PI基板;而后,表面改性第一基板12的一表面,以使改性后的表面顯露出-OH基團(tuán),如圖2A所示。其中,PI基板經(jīng)UV光處理改性的反應(yīng)流程如反應(yīng)式I所示。[反應(yīng)式I]在此,在圖2A中,為了簡(jiǎn)潔表示第一基板12與后續(xù)附著層的鍵合,第一基板12僅繪制表面處理后所產(chǎn)生的羧基基團(tuán)(-COOH)。而后,如圖1B、2A及2B所示,在經(jīng)表面改性的第一基板12的表面上涂布式(I-1)化合物,以形成一附著前驅(qū)物層13。當(dāng)形成附著前驅(qū)物層13后,由于式(I-1)化合物的-Si(OH)3親水性官能基(親水端)氧電子密度高、 反應(yīng)性較佳,故涂布后會(huì)以親水端朝下而與第一基板12表面處理后所顯露的-OH基團(tuán)產(chǎn)生自組裝縮合反應(yīng),產(chǎn)生-C-O-Si-共價(jià)鍵合,如圖2B所示。至于環(huán)氧基的疏水性官能基(疏水端),則會(huì)顯露于附著前驅(qū)物層13表面。在此,僅以單層硅氧烷衍生物表示,然而,本領(lǐng)域技術(shù)人員均知道,所形成附著前驅(qū)物層13,包括多層的硅氧烷衍生物。接著,在70℃熱處理10分鐘后,可使附著前驅(qū)物層13表面的環(huán)氧基進(jìn)行開環(huán)反應(yīng),而轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂杏H水性的-OH基團(tuán),而形成一附著層131,如圖1C及2C所示。在本實(shí)施例中,附著層131的厚度約為40nm。最后,如圖1C及2D所示,再沉積一由氧化硅所組成的無機(jī)層14;在此,附著層131的-OH基團(tuán)則會(huì)再與氧化硅進(jìn)行縮合反應(yīng),而可再產(chǎn)生-C-O-Si-共價(jià)鍵合。在本實(shí)施例中,無機(jī)層14以氧化硅層作為示例;然而,在本發(fā)明的其他實(shí)施例中,當(dāng)無機(jī)層14的材料為氧化鋁、氧化硅、氮化硅或氮氧化硅,則無機(jī)層14與附著層131之間所產(chǎn)生的共價(jià)鍵為-M1-M2-C-,其中,M1為Si或A1,而M2為O或N。如圖2A至2D所示,當(dāng)在塑料基板的第一基板12及無機(jī)層14間形成本實(shí)施例的附著層131時(shí),由于附著層131可分別與第一基板12及無機(jī)層14產(chǎn)生共價(jià)鍵合,故可改善塑料基板的第一基板12及無機(jī)層14間異質(zhì)界介面附著力不佳的問題。經(jīng)掃描式電子顯微鏡(SEM)進(jìn)一步分析(圖中未示出)可發(fā)現(xiàn),當(dāng)塑料基板的第一基板12及無機(jī)層14間未形成附著層131時(shí),會(huì)在介面間產(chǎn)生孔洞;而當(dāng)塑料基板的第一基板12及無機(jī)層14間形成有本實(shí)施例的附著層131時(shí),則介面間無孔洞及剝離的情形發(fā)生。此外,為了更進(jìn)一步證實(shí)附著層131可分別與第一基板12及無機(jī)層14產(chǎn)生共價(jià)鍵合,在此,以化學(xué)分析電子能譜儀(Electronspectroscopyforchemicalanalysis,ESCA)做進(jìn)一步的驗(yàn)證分析。圖3A至3C分別為本實(shí)施例所使用的式(I)硅氧烷化合物在涂布前的硅、碳及氧的化學(xué)分析電子能譜;其數(shù)值分別如表1至3所示;而R-CO2-Si-C中的R指PI除了-COOH以外的基團(tuán)。在此,將式(I)化合物涂布在素玻璃上進(jìn)行測(cè)量。表1:硅譜化學(xué)鍵鍵合能面積%Si-OH99.2eV8317.0100表2:碳譜化學(xué)鍵鍵合能面積%Si-C283.4eV5611.8760.7C-OH(環(huán)氧基)281.9eV3633.2739.3表3:氧譜化學(xué)鍵鍵合能面積%C-OH529.5eV15398.723.1SiOH、SiO2529.3eV51475.976.9如圖3A及表1結(jié)果所示,式(I)化合物的硅譜峰為完全對(duì)稱的,且束縛能偏低;此結(jié)果證實(shí),式(I)化合物的硅端以充分水解的-Si(OH)3方式存在,并未縮合成為二氧化硅。如圖3B至3C及表2及3結(jié)果所示,由擬合峰的面積比可得知,硅端上的碳鏈為三個(gè)碳,而環(huán)氧基則為兩個(gè);且硅端接三個(gè)氫氧基,而環(huán)氧基則為一個(gè)氧。此分析結(jié)果與式(I)化合物的化學(xué)式相符。圖4A及4B分別為本實(shí)施例所使用的式(I)硅氧烷化合物在涂布后形成附著前驅(qū)物層、及進(jìn)一步熱處理后形成附著層的硅的化學(xué)分析電子能譜;其數(shù)值分別如表4至5所示;在此,還將圖3A、4A及4B的硅譜的數(shù)值進(jìn)一步整理,并列于下表6中。在圖4A及4B中,R-CO2-Si-C中的R指PI除了-COOH以外的基團(tuán);而CO-Si-R則為一硅氧烷化合物的環(huán)氧基(提供-C-OH)與另一硅氧烷化合物的羥基(提供HO-Si-R)水解縮合反應(yīng)后所形成的基團(tuán)。表4:附著前驅(qū)物層的硅譜化學(xué)鍵鍵合能面積%R-CO2-Si-C99.9eV335.317.3SiO299.4eV338.417.5Si-OH99.2eV1259.065.2表5:附著層的硅譜化學(xué)鍵鍵合能面積%R-CO2-Si-C99.9eV1541.868.0SiO299.4eV668.729.5Si-OH99.2eV57.72.5表6如圖3A、4A及表4結(jié)果所示,相較于式(I)硅氧烷化合物在涂布前的Si-OH信號(hào),涂布后所形成附著前驅(qū)物層的Si-OH信號(hào)降低;此結(jié)果表示,在所涂布的式(I)硅氧烷化合物其硅端會(huì)朝PI基板而與PI基板的-OH基團(tuán)進(jìn)行縮合水解反應(yīng),而產(chǎn)生鍵合。如圖3A、4A、4B及表6結(jié)果所示,相較于式(I)硅氧烷化合物在涂布前的R-CO2-Si-C、CO-S-R及SiO2信號(hào),涂布后所形成附著前驅(qū)物層及熱處理后所形成的附著層,這些信號(hào)均降低;此結(jié)果表示,經(jīng)由熱處理后,硅氧烷化合物的縮合反應(yīng)發(fā)生完全。圖5A及5B分別為本實(shí)施例所使用的式(I)硅氧烷化合物在涂布后形成附著前驅(qū)物層、及進(jìn)一步熱處理后形成附著層的氧的化學(xué)分析電子能譜;其數(shù)值分別如表7至8所示;在此,將圖3C、5A及5B的硅譜的數(shù)值進(jìn)一步整理,并列于下表9中。表7:附著前驅(qū)物層的氧譜化學(xué)鍵鍵合能面積%C-OH529.5eV5539.837.5SiOH、SiO2529.3eV9236.762.5表8:附著層的氧譜化學(xué)鍵鍵合能面積%C-OH529.5eV33831.589.6SiOH、SiO2529.3eV3924.710.4表9如圖3C、5A、5B及表9結(jié)果所示,當(dāng)經(jīng)過熱處理后,O的信號(hào)會(huì)從代表SiOH、SiO2信號(hào)向左偏移,使得代表C-OH信號(hào)的比例增加;此結(jié)果表示,經(jīng)熱處理后,硅氧烷化合物的環(huán)氧基會(huì)進(jìn)行開環(huán)反應(yīng)。圖6A及6B分別為本實(shí)施例所使用的式(I)硅氧烷化合物在涂布后形成附著前驅(qū)物層、及進(jìn)一步熱處理后形成附著層的碳的化學(xué)分析電子能譜;其數(shù)值分別如表10至11所示;在此,將圖3C、5A及5B的硅譜的數(shù)值進(jìn)一步整理,并列于下表12中。表10:附著前驅(qū)物層的碳譜化學(xué)鍵鍵合能面積%R-CO2-Si-C285.5eV2493.28.3Si-C283.4eV9922.832.9C-OH(環(huán)氧基)281.9eV17730.658.8表11:附著層的碳譜化學(xué)鍵鍵合能面積%R-CO2-Si-C285.5eV3231.110.7Si-C283.4eV11302.937.3C-OH(環(huán)氧基)281.9eV15781.452.0表12如圖3B、6A、6B及表12結(jié)果所示,當(dāng)經(jīng)過熱處理后,R-CO2-Si-C的比例增加,代表加熱可以使縮合反應(yīng)更完全。由上述實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證,本發(fā)明所使用的附著層,的確可同時(shí)與塑料基板與無機(jī)層形成共價(jià)鍵合,故可改善塑料基板與無機(jī)層異質(zhì)介面附著力不佳的問題,而提升電子產(chǎn)品的效能及合格率。本發(fā)明所提供的電子裝置及其制作方法,可應(yīng)用于各種須使用柔性基板的電子裝置上,例如:柔性顯示裝置、柔性觸控裝置、太陽能電池、照明裝置、柔性印刷電路板、電子紙、無線射頻辨識(shí)技術(shù)上。此外,當(dāng)本發(fā)明所提供的電子裝置為一軟性顯示裝置時(shí),也可以與柔性觸控面板合并使用,而做為一觸控顯示裝置。同時(shí),本發(fā)明前述實(shí)施例所制得的顯示面板或觸控顯示裝置,可應(yīng)用于本
技術(shù)領(lǐng)域
已知的任何需要顯示屏幕的電子裝置上,如顯示器、手機(jī)、筆記型電腦、攝影機(jī)、照相機(jī)、音樂播放器、移動(dòng)導(dǎo)航裝置、電視等。上述實(shí)施例僅是為了方便說明而舉例而已,本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍所述為準(zhǔn),而非僅限于上述實(shí)施例。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 
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