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百瓦級(jí)雙模式摻銩全光纖激光器的制作方法

文檔序號(hào):11838553閱讀:278來源:國知局

本發(fā)明涉及一種高功率雙模式摻銩全光纖激光器。



背景技術(shù):

銩激光已廣泛用于良性前列腺增生癥(BPH)的組織切除、泌尿系腫瘤切除。臨床上用于精細(xì)切割治療的最佳激光是銩激光,運(yùn)行方式為連續(xù)運(yùn)行,激光功率通常為120W,但它不能碎石,而在治療泌尿系結(jié)石上比較優(yōu)越的鈥激光卻不能達(dá)到精細(xì)切割治療BPH和腫瘤等疾病的目的。鈥激光運(yùn)行方式為脈沖式運(yùn)行,平均功率60~100W,峰值功率近10kW。在泌尿外科微創(chuàng)手術(shù)治療過程中,往往需要同時(shí)使用銩激光和鈥激光才能完成整個(gè)手術(shù)治療。如何將銩激光和鈥激光功能融為一體,單光纖輸出,以達(dá)到節(jié)省資源、提高效率的目的,方便臨床手術(shù)操作和使用,提高治療效率,是目前亟需解決的問題。

目前針對(duì)該問題,多家醫(yī)療設(shè)備公司采用多波長激光聯(lián)合治療的方案。比如公告號(hào)為CN102090927A的中國專利,公開了一種雙波長激光治療機(jī)。治療機(jī)將1470nm激光或者980nm激光與鈥激光集成在一臺(tái)設(shè)備內(nèi),通過光纖耦合裝置將兩臺(tái)激光器發(fā)射出的激光耦合進(jìn)入一根醫(yī)用激光光纖。公告號(hào)為CN104207846A的中國專利,公開了一種銩-鈥二合一雙波長多功能泌尿外科激光治療機(jī)。該治療機(jī)將用于組織切割的銩激光與用于碎石的鈥激光集成在一臺(tái)設(shè)備內(nèi),通過光纖耦合系統(tǒng)將分別由銩激光器和鈥激光器發(fā)出的激光耦合進(jìn)一根醫(yī)用激光光纖。多波長聯(lián)合治療方案解決了手術(shù)中更換設(shè)備的麻煩,但增加了控制系統(tǒng)、供電系統(tǒng)的復(fù)雜性,對(duì)光纖耦合系統(tǒng)的要求很高,大大增加了耦合進(jìn)入小芯徑醫(yī)用激光光纖的難度。

實(shí)現(xiàn)雙模式運(yùn)行的激光器,一臺(tái)激光器既可以連續(xù)運(yùn)行,進(jìn)行軟組織的精細(xì)切割,也可以脈沖模式運(yùn)行,完成碎石功能,是一個(gè)好的解決方案。目前比較有效實(shí)現(xiàn)該波段雙模式激光的方法有聲光調(diào)Q固體激光器和聲光調(diào)Q光纖激光器,聲光Q開關(guān)關(guān)閉可輸出連續(xù)激光,聲光Q開關(guān)開啟可輸出脈沖激光,國內(nèi)外還未有相關(guān)產(chǎn)品。該類激光器不屬于學(xué)術(shù)研究的熱點(diǎn),目前只有少數(shù)幾家研究單位在這方面進(jìn)行了初步研究。國內(nèi)的深圳大學(xué)對(duì)聲光調(diào)Q摻銩光纖激光器種子源進(jìn)行了初步研究,但這些研究僅限于實(shí)驗(yàn)室,所用方案使用了光學(xué)鏡片做為激光諧振腔、空間結(jié)構(gòu)的聲光Q開關(guān)等空間元件,很難實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化,而且平均輸出功率只有1.27W,與實(shí)際應(yīng)用功率相差過大。中科院理化所對(duì)聲光調(diào)Q固體Tm:YAG進(jìn)行了研究,平均功率達(dá)到171.4W,所用方案中用了三個(gè)聲光Q開關(guān),光光轉(zhuǎn)換效率為13.3%,該方案元器件過多,轉(zhuǎn)換效率低,不適合產(chǎn)品化。本發(fā)明涉及的激光器為種子源加兩級(jí)放大的全光纖結(jié)構(gòu),可以解決空間器件容易受振動(dòng)導(dǎo)致激光功率輸出不穩(wěn)定的問題,也能解決固體激光器轉(zhuǎn)換效率低的問題,易于實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題及缺點(diǎn),提供一種百瓦級(jí)雙模式摻銩全光纖激光器,整個(gè)系統(tǒng)采用全光纖結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,采用水冷方式,具有高光束質(zhì)量、高可靠性、高穩(wěn)定性、高轉(zhuǎn)換效率等顯著優(yōu)點(diǎn),非常適合產(chǎn)品化。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下:

百瓦級(jí)雙模式摻銩全光纖激光器,如圖1所示,采用光纖種子源加兩級(jí)光纖放大器結(jié)構(gòu)組成的全光纖激光器,其特征在于:種子源由帶尾纖輸出的泵浦源(1)、信號(hào)光反射光纖光柵(2)、單模雙包層摻銩光纖(3)、帶尾纖的聲光Q開關(guān)(4)、輸出耦合光纖光柵(5)和包層光剝離器(6)組成。放大器由光纖隔離器(7)(12)、帶尾纖輸出的泵浦源(8)(13)、泵浦合束器(9)(14)、雙包層摻銩光纖(10)(15)、包層光剝離器(11)(16)、光纖端冒(17)組成。種子源的泵浦源(1)與信號(hào)光反射光纖光柵(2)相連接,信號(hào)光反射光纖光柵(2)與輸出耦合光纖光柵(5)之間依次熔接單模雙包層摻銩光纖(3)、聲光Q開關(guān)(4),輸出耦合光纖光柵(5)另一端與包層光剝離器(6)相連接,包層光剝離器(6)的另一端與一級(jí)放大器的光纖隔離器(7)相連接,光纖隔離器(7)另一端與放大器的泵浦合束器(9)的信號(hào)光輸入端相連接,泵浦合束器(9)的泵浦輸入端與泵浦源(8)相連接,泵浦合束器(9)的信號(hào)光輸出端與雙包層摻銩光纖(10)相連接,雙包層摻銩光纖(10)另一端與包層光濾除器(11)相連接,包層光濾除器(11)的另一端與二級(jí)放大器的光纖隔離器(12)相連接,二級(jí)放大器結(jié)構(gòu)與第一級(jí)結(jié)構(gòu)相同。二級(jí)放大器的包層光濾除器(16)的一端連接光纖端冒(17)做為激光輸出端。該激光器可以實(shí)現(xiàn)2um波段連續(xù)或者脈沖激光功率80W~ 120W。

所述的帶尾纖輸出的泵浦源(1)(8)(13)輸出波長為793nm,尾纖為多模光纖,為防止反饋光損壞泵浦源,泵浦源帶有對(duì)1900 ~ 2100nm波段激光的防護(hù)功能。

所述的信號(hào)光反射光纖光柵(2)對(duì)793nm泵浦光高透,透過率大于99%;對(duì)信號(hào)光反射,反射率大于99.5%,信號(hào)光的波長在1900~2100nm范圍可選。

所述的雙包層摻銩光纖(3)(10)(15)為雙包層光纖,其纖芯材料為摻銩石英玻璃,內(nèi)包層的橫截面是八角形或者非圓形的其它形狀。

所述的聲光Q開關(guān)(4)為光纖耦合聲光調(diào)制器,輸入/輸出端采用單模光纖,調(diào)制晶體采用TeO2,可實(shí)現(xiàn)對(duì)2um波段激光的調(diào)制輸出。

所述的輸出耦合光纖光柵(5)對(duì)793nm泵浦光高透,透過率大于99%;對(duì)信號(hào)光部分反射,反射率為5%-20%。其與信號(hào)光反射光纖光柵(2)構(gòu)成激光器的諧振腔,信號(hào)光反射光纖光柵(2)選取的信號(hào)光波長與輸出耦合光纖光柵(5)的反射波長相匹配。

所述的包層光剝離器(6)(11)(16)實(shí)現(xiàn)對(duì)雙包層光纖包層中殘留光的剝離,泵浦光可以實(shí)現(xiàn)20dB的剝離,從而大大減少輸出端包層光的功率,有利于對(duì)后續(xù)器件的保護(hù)。

所述的光纖隔離器(7)(12)只允許激光的單向通行,輸入/輸出端采用單模光纖,對(duì)反向傳輸?shù)募す饪蓪?shí)現(xiàn)20dB的隔離,從而大大減少后端反向傳輸?shù)募す鈱?duì)前端的影響。

所述的泵浦合束器(9)(14)泵浦輸入端為多根與泵浦源(8)(13)尾纖相同的多模光纖,使多束泵浦光實(shí)現(xiàn)合束,該合束器具有較大的反向隔離度,可以保證帶尾纖輸出的泵浦源(8)(13)不會(huì)因?yàn)榉答伖β蔬^大而損壞。

所述的光纖端冒(17)是在輸出光纖末端熔接尺寸比纖芯尺寸大20~200倍的石英圓柱體,圓柱體輸出端成斜角,并鍍2um波段增透膜。光纖端冒即可以避免因光功率密度過高導(dǎo)致光纖輸出端面的損壞,也可以減少激光在輸出端面的反射。

附圖說明

圖1 本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的說明,但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍:如圖1所示,本發(fā)明采用光纖種子源加兩級(jí)光纖放大器結(jié)構(gòu)組成的全光纖激光器,其特征在于:種子源由帶尾纖輸出的泵浦源(1)、信號(hào)光反射光纖光柵(2)、雙包層摻銩光纖(3)、帶尾纖的聲光Q開關(guān)(4)、輸出耦合光纖光柵(5)和包層光剝離器(6)組成。放大器由光纖隔離器(7)(12)、帶尾纖輸出的泵浦源(8)(13)、泵浦合束器(9)(14)、雙包層摻銩光纖(10)(15)、和包層光剝離器(11)(16)組成。種子源的泵浦源(1)與信號(hào)光反射光纖光柵(2)相連接,信號(hào)光反射光纖光柵(2)與輸出耦合光纖光柵(5)之間依次熔接單模雙包層摻銩光纖(3)、聲光Q開關(guān)(4),輸出耦合光纖光柵(5)另一端與包層光剝離器(6)相連接,包層光剝離器(6)的另一端與一級(jí)放大器的光纖隔離器(7)相連接,光纖隔離器(7)另一端與放大器的泵浦合束器(9)的信號(hào)光輸入端相連接,泵浦合束器(9)的泵浦輸入端與泵浦源(8)相連接,泵浦合束器(9)的信號(hào)光輸出端與雙包層摻銩光纖(10)相連接,雙包層摻銩光纖(10)另一端與包層光濾除器(11)相連接,包層光濾除器(11)的另一端與二級(jí)放大器的光纖隔離器(12)相連接,二級(jí)放大器結(jié)構(gòu)與第一級(jí)結(jié)構(gòu)相同。二級(jí)放大器的包層光濾除器(16)的一端連接光纖端冒(17)做為激光輸出端。該激光器可以實(shí)現(xiàn)2um波段連續(xù)或者脈沖激光功率80W~ 120W。

所述的帶尾纖輸出的泵浦源(1)輸出波長為793nm,單個(gè)輸出功率為6W,泵浦源輸出尾纖為105/125um,與信號(hào)光反射光纖光柵(2)相熔接,使泵浦功率以最少的損耗耦合進(jìn)信號(hào)光反射光纖光柵(2)。

所述的信號(hào)光反射光纖光柵(2)是對(duì)793nm泵浦光高透,透過率大于99.5%;對(duì)信號(hào)光1940nm反射,反射帶寬為1.5nm,反射率大于99.5%。

所述的雙包層摻銩光纖(3)是單模雙包層光纖,其纖芯材料為摻銩石英玻璃,內(nèi)包層的橫截面是八角形,纖芯直徑為10um,包層直徑為130um,光纖長度為6米,其參數(shù)需要與無源光纖相匹配,才能保證熔接時(shí)損耗最小。

所述的聲光Q開關(guān)(4)為光纖耦合聲光調(diào)制器,輸入/輸出端采用單模雙包層無源光纖,通過Q開關(guān)驅(qū)動(dòng)器可控制聲光Q開關(guān)的工作狀態(tài)。

所述的輸出耦合光纖光柵(5)對(duì)793nm泵浦光高透,透過率大于99.5%;對(duì)信號(hào)光1940nm部分反射,反射帶寬為0.5nm,反射率為10%。其與信號(hào)光反射光纖光柵(2)構(gòu)成激光器的諧振腔。

所述的包層光剝離器(6)所用光纖為10/130um無源光纖,一端與輸出耦合光纖光柵(5)相熔接,實(shí)現(xiàn)對(duì)雙包層光纖包層中殘余光的剝離,從而大大減少輸出端包層光的功率。

所述的種子源中波長相匹配的信號(hào)光反射光纖光柵(2)和輸出耦合光纖光柵(5)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)激光波長的選擇。種子源輸出激光波長為1940nm,連續(xù)或者脈沖(@10Hz)激光平均功率為800mW。

所述的光纖隔離器(7)針對(duì)非偏振激光的隔離,輸入/輸出端采用單模無源光纖,光纖尺寸為9/125um,承受激光功率為2W。隔離器采用空間器件封裝,激光進(jìn)入隔離器需要經(jīng)過光束準(zhǔn)直,經(jīng)過隔離器后再耦合進(jìn)入光纖,會(huì)有高達(dá)1.2dB損耗,對(duì)反向傳輸?shù)募す饪蓪?shí)現(xiàn)20dB的隔離,可對(duì)各級(jí)結(jié)構(gòu)之間實(shí)現(xiàn)有效隔離。

所述的帶尾纖輸出的泵浦源(8)共2個(gè),輸出波長為793nm,單個(gè)輸出功率為12W,泵浦源輸出尾纖為105/125um無源光纖,與泵浦合束器(9)的泵浦輸入端相熔接,使泵浦功率以最少的損耗耦合進(jìn)泵浦合束器(9)的信號(hào)輸出端。

所述的泵浦合束器(9)采用(2+1)*1的合束器,該合束器是把2個(gè)泵浦端輸入的泵浦光合束到信號(hào)輸出端的光纖包層內(nèi)。泵浦合束器(9)有2個(gè)泵浦輸入端、一個(gè)信號(hào)輸入端和一個(gè)信號(hào)輸出端。泵浦合束器(9)的信號(hào)輸出端光纖與雙包層摻銩光纖(10)相連接該熔接需要盡量保證信號(hào)光的損耗最小。

所述的雙包層摻銩光纖(10)與所述的雙包層摻銩光纖(3)規(guī)格型號(hào)相同。

所述的包層光剝離器(11)與所述的包層光剝離器(6)規(guī)格型號(hào)相同。

所述的第一級(jí)放大系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)種子光源的放大,輸出連續(xù)或者脈沖(@10Hz)激光平均功率為8W。

所述的光纖隔離器(12)與所述的光纖隔離器(7)原理相同,最大可承受功率為10W。光纖隔離器輸出端光纖與泵浦合束器(14)的信號(hào)輸入端相熔接。

所述的帶尾纖輸出的泵浦源(13)共5個(gè),輸出波長為793nm,單個(gè)輸出功率為50W,泵浦源輸出尾纖為200/220um,與泵浦合束器(14)的泵浦輸入端相熔接,使泵浦功率以最少的損耗耦合進(jìn)泵浦合束器(14)的信號(hào)輸出端。

所述的泵浦合束器(14)采用(6+1)*1的合束器,該合束器是把6個(gè)泵浦端輸入的泵浦光合束到信號(hào)輸出端的光纖包層內(nèi)。泵浦合束器(14)有6個(gè)泵浦輸入端、一個(gè)信號(hào)輸入端和一個(gè)信號(hào)輸出端。泵浦合束器(14)的信號(hào)輸出端光纖與雙包層摻銩光纖(15)相連接該熔接需要盡量保證信號(hào)光的損耗最小。

所述的雙包層摻銩光纖(15)為大模場(chǎng)面積雙包層光纖,其纖芯直徑為25um,包層直徑為400um,光纖長度為9米。包層的橫截面是八角形,其參數(shù)需要與泵浦合束器(14)信號(hào)輸出端無源光纖相匹配,才能保證熔接時(shí)損耗最小。

所述的包層光濾除器(16)所用光纖為25/400um無源光纖,該光纖與雙包層摻銩光纖匹配,可承受30W的泄露激光功率。

所述的光纖端冒(17)可以避免因光功率密度過高導(dǎo)致光纖輸出端面的損壞。

隨著泵浦光功率的增加,雙包層摻銩光纖(15)的散熱變的非常重要,特別是在脈沖模式下,由于峰值功率密度可達(dá)10kW,溫度過高的雙包層摻銩光纖纖芯的熱透鏡效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致自聚焦現(xiàn)象,導(dǎo)致光纖出現(xiàn)周期性的損壞點(diǎn)。

在聲光Q開關(guān)關(guān)閉的情況下,可獲得最大120W連續(xù)功率1940nm激光的輸出,在聲光Q開關(guān)開啟的情況下,可獲得脈沖功率80W@10kHz激光的輸出。

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