一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，包括晶圓存儲柜以及晶圓傳送盒，晶圓傳送盒上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣口以及空氣排出口；晶圓存儲柜上設(shè)有的進(jìn)氣管道以及排氣管道，進(jìn)氣管道的一端與氮?dú)膺M(jìn)氣口連通，其另一端與氮?dú)庠催B接，排氣管道的一端與空氣排出口連通，其另一端與回收容器連接，氮?dú)庠磁c回收容器之間設(shè)有用于分離氮?dú)獾膲嚎s機(jī)；其中，進(jìn)氣管道上設(shè)有第一啟閉閥，排氣管道上設(shè)有第二啟閉閥。本實用新型通過對傳輸?shù)骄A存儲柜內(nèi)的晶圓傳送盒進(jìn)行氮?dú)馓畛?，將晶圓傳送盒內(nèi)的氧氣和水汽排出，同時使晶圓傳送盒內(nèi)充滿干燥的氮?dú)?，避免在晶圓表面生成氧化物，提高了晶圓的良品率。
【專利說明】一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛?br> 目.0

【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造線徑越來越微小化，污染防治從粉塵微粒慢慢重視到氣狀分子污染物上，在集成電路的制作過程中，晶圓表面的潔凈度及硅片表面穩(wěn)定狀態(tài)對高質(zhì)量的硅器件工藝是至關(guān)重要的。如果晶圓表面質(zhì)量達(dá)不到要求，無論其它工藝步驟控制得多么優(yōu)秀，也不可能獲得高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件。
[0003]現(xiàn)有的半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，StockeH即晶圓存儲柜)用于放置若干個Foup (即晶圓傳送盒)，而Foup用于存儲若干片晶圓，它們都是晶圓生產(chǎn)過程中不可或缺的設(shè)備。
[0004]通常，空氣中通常存在大量分子污染物，例如氧氣和水汽，它們在晶圓表面容易與其結(jié)合形成氧化物，傳統(tǒng)的Stocker和Foup的存儲環(huán)境同樣存在氧氣和水汽，它們會與存儲期間的晶圓產(chǎn)生表面反應(yīng)，從而在晶圓表面生成氧化物，因此，晶圓在存儲期間，由于受氧化物以及水汽的影響，最終會影響硅片的良品率。
[0005]因此，如何避免晶圓在存儲時受到氧氣和水汽的氧化反應(yīng)，從而提尚晶圓的良品率，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)難題。
實用新型內(nèi)容
[0006]本實用新型目的是提供一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，使晶圓在存儲時避免與氧氣和水汽廣生氧化反應(yīng)，從而提尚晶圓的良品率。
[0007]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，包括晶圓存儲柜以及晶圓傳送盒，所述晶圓存儲柜用于存儲所述晶圓傳送盒，所述晶圓傳送盒用于存儲晶圓，所述晶圓傳送盒上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣口以及空氣排出口 ；所述晶圓存儲柜上設(shè)有的進(jìn)氣管道以及排氣管道，所述進(jìn)氣管道的一端與所述氮?dú)膺M(jìn)氣口連通，其另一端與氮?dú)庠催B接，所述排氣管道的一端與所述空氣排出口連通，其另一端與回收容器連接，所述氮?dú)庠磁c回收容器之間設(shè)有用于分離氮?dú)獾膲嚎s機(jī)，所述壓縮機(jī)將分離后的氮?dú)廨斔椭了龅獨(dú)庠?，同時將分離后的空氣排放至外界；其中，所述進(jìn)氣管道上設(shè)有第一啟閉閥，所述排氣管道上設(shè)有第二啟閉閥。
[0008]優(yōu)選的，所述氮?dú)馓畛溲b置還包括控制單元以及氮?dú)馓畛溆嫊r模塊，所述氮?dú)馓畛溆嫊r模塊用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間并監(jiān)測氮?dú)馓畛鋾r間，并將監(jiān)測的氮?dú)馓畛鋾r間值反饋至所述控制單元，所述控制單元根據(jù)預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間控制所述第一啟閉閥的開關(guān)。
[0009]優(yōu)選的，所述控制單元還連接氮?dú)饬髁磕K，所述氮?dú)饬髁磕K用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛淞髁坎⒈O(jiān)測氮?dú)馓畛淞髁浚⒈O(jiān)測的氮?dú)馓畛淞髁恐捣答佒了隹刂茊卧?，所述控制單元控制所述第一啟閉閥的開關(guān)。
[0010]優(yōu)選的，所述空氣排出口設(shè)于所述晶圓傳送盒的底部。
[0011]優(yōu)選的，所述排氣管道上設(shè)有抽氣泵，所述抽氣泵將空氣抽離所述晶圓傳送盒。
[0012]優(yōu)選的，所述晶圓傳送盒設(shè)有干燥單元，所述干燥單元用于干燥所述晶圓傳送盒內(nèi)的水汽。
[0013]優(yōu)選的，所述晶圓存儲柜內(nèi)設(shè)有氮?dú)馓畛淦脚_，所述氮?dú)馓畛淦脚_用于放置所述晶圓傳送盒。
[0014]優(yōu)選的，所述晶圓存儲柜內(nèi)設(shè)有傳送系統(tǒng)，所述傳送系統(tǒng)將所述晶圓傳送盒傳送至所述氮?dú)馓畛淦脚_上，以對所述晶圓傳送盒填充氮?dú)狻?br> [0015]本實用新型提供晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，通過對傳輸?shù)骄A存儲柜內(nèi)的晶圓傳送盒進(jìn)行氮?dú)馓畛洌瑢⒕A傳送盒內(nèi)的氧氣和水汽排出，同時使晶圓傳送盒內(nèi)充滿干燥的氮?dú)猓苑乐咕A與空氣中存在的氧氣和水汽等物質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng)，避免在晶圓表面生成氧化物，提高了晶圓的良品率；此外，用于填充的氮?dú)庖子谌〉茫靸r便宜，便于對現(xiàn)有的晶圓存儲柜等設(shè)備進(jìn)行改造。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型優(yōu)選實施例中晶圓傳送盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實用新型優(yōu)選實施例中含有氮?dú)馓畛溲b置的晶圓存儲柜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為圖1中晶圓傳送盒在含有氣氣填充裝置的晶圓存儲柜中的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0019]其中，圖1?圖3中:
[0020]10、晶圓存儲柜；20、晶圓傳送盒；30、晶圓；40、氮?dú)膺M(jìn)氣口 ；50、空氣排出口 ；60、進(jìn)氣管道；70、排氣管道；80、氮?dú)庠矗?0、回收容器；100、壓縮機(jī)；110、第一啟閉閥；120、第二啟閉閥；130、控制單元；140、氮?dú)馓畛溆嫊r模塊；150、氮?dú)饬髁磕K；160、抽氣泵；170、
氮?dú)馓畛淦脚_。

【具體實施方式】
[0021]為使本實用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本實用新型的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本實用新型并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實用新型實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對本實用新型的限定。
[0022]需要說明的是，在下述的實施例中，利用圖1?3的結(jié)構(gòu)示意圖對按本實用新型晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置進(jìn)行了詳細(xì)的表述。在詳述本實用新型的實施方式時，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進(jìn)行了局部放大及省略處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本實用新型的限定。
[0023]請參考圖1?圖3，圖1為本實用新型優(yōu)選實施例中晶圓傳送盒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型優(yōu)選實施例中含有氮?dú)馓畛溲b置的晶圓存儲柜的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1中晶圓傳送盒在含有氮?dú)馓畛溲b置的晶圓存儲柜中的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]本實用新型提供的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置涉及晶圓存儲柜以及晶圓傳送盒，晶圓存儲柜用于存儲晶圓傳送盒，晶圓傳送盒用于存儲晶圓。由于晶圓傳送盒內(nèi)存在氧氣和水汽，晶圓表面易與其產(chǎn)生反應(yīng)，從而在晶圓表面產(chǎn)生氧化物，而氧化物的存在大大影響了晶圓的良品率，因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需對其進(jìn)行改進(jìn)。
[0025]由于氮?dú)庖子谌〉?，造價便宜，因此，本實用新型旨在將晶圓傳送盒內(nèi)的空氣中的氧氣和水汽排出，使晶圓傳送盒內(nèi)充滿氮?dú)?，避免了在晶圓表面產(chǎn)生氧化物。
[0026]如圖1所示，晶圓傳送盒上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣口以及空氣排出口；如圖2、圖3所示，晶圓存儲柜上設(shè)有的進(jìn)氣管道以及排氣管道；進(jìn)氣管道的一端與氮?dú)膺M(jìn)氣口連通，其另一端與氮?dú)庠催B接，排氣管道的一端與空氣排出口連通，其另一端與回收容器連接，氮?dú)庠磁c回收容器之間設(shè)有用于分離氮?dú)獾膲嚎s機(jī)，壓縮機(jī)將分離后的氮?dú)廨斔椭恋獨(dú)庠?，同時將分離后的空氣排放至外界；其中，進(jìn)氣管道上設(shè)有第一啟閉閥，排氣管道上設(shè)有第二啟閉閥。
[0027]本實用新型的工作原理為:首先同時打開第一啟閉閥以及第二啟閉閥，對晶圓存儲柜內(nèi)的晶圓傳送盒充入氮?dú)?，以排空晶圓傳送盒內(nèi)的氧氣以及水汽，在預(yù)設(shè)時間后，關(guān)閉第二啟閉閥，繼續(xù)對晶圓傳送盒充入氮?dú)?，使晶圓傳送盒內(nèi)充滿氮?dú)猓S后關(guān)閉第一啟閉閥。
[0028]由于，排出的氣體為混合氣體，既存在氧氣以及氮?dú)?，因此，設(shè)計了一套氮?dú)饣厥障到y(tǒng)，即在排氣管道的末端設(shè)有回收容器，回收容器內(nèi)同時回收了氧氣和氮?dú)?，回收容器連接了一壓縮機(jī)，壓縮機(jī)將分離后的氮?dú)廨斔椭恋獨(dú)庠?，同時將分離后的空氣排放至外界；因此，由于壓縮機(jī)將氮?dú)夂脱鯕夥蛛x，將氮?dú)饣厥罩恋獨(dú)庠磧?nèi)，充分利用了氮?dú)赓Y源，避免浪費(fèi)。
[0029]具體的，本實施例中，氮?dú)馓畛溲b置還包括控制單元以及氮?dú)馓畛溆嫊r模塊，氮?dú)馓畛溆嫊r模塊用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間并監(jiān)測氮?dú)馓畛鋾r間，并將監(jiān)測的氮?dú)馓畛鋾r間值反饋至控制單元，控制單元根據(jù)預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間控制第一啟閉閥的開關(guān)。通過設(shè)定氮?dú)馓畛鋾r間，從而控制第一啟閉閥的開關(guān)，工作效率高，且簡單可靠。
[0030]同時，本實施例中，控制單元還可連接氮?dú)饬髁磕K，氮?dú)饬髁磕K用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛淞髁坎⒈O(jiān)測氮?dú)馓畛淞髁?，并將監(jiān)測的氮?dú)馓畛淞髁恐捣答佒量刂茊卧?，控制單元控制第一啟閉閥的開關(guān)。同樣的，通過設(shè)定氮?dú)馔ㄈ肓髁?，從而控制第一啟閉閥的開關(guān)，簡單可靠。
[0031]優(yōu)選方案中，由于氮?dú)夥肿又亓枯^輕，空氣排出口設(shè)于晶圓傳送盒的底部，有利于將晶圓傳送盒內(nèi)的空氣排出，同時帶出晶圓傳送盒內(nèi)的水汽。
[0032]為加快晶圓傳送盒排出氧氣和水汽，排氣管道上可設(shè)有抽氣泵，抽氣泵將空氣抽離晶圓傳送盒。此外，為了使晶圓傳送盒內(nèi)保持干燥，晶圓傳送盒可設(shè)有干燥單元，干燥單元用于干燥晶圓傳送盒內(nèi)的水汽。
[0033]具體的，晶圓存儲柜內(nèi)可設(shè)有氮?dú)馓畛淦脚_以及傳送系統(tǒng)，氮?dú)馓畛淦脚_用于放置晶圓傳送盒，傳送系統(tǒng)將晶圓傳送盒傳送至氮?dú)馓畛淦脚_上，以對晶圓傳送盒填充氮?dú)狻?br> [0034]綜上所述，本實用新型提供晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，通過對傳輸?shù)骄A存儲柜內(nèi)的晶圓傳送盒進(jìn)行氮?dú)馓畛洌瑢⒕A傳送盒內(nèi)的氧氣和水汽排出，同時使晶圓傳送盒內(nèi)充滿干燥的氮?dú)?，以防止晶圓與空氣中存在的氧氣和水汽等物質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng)，避免在晶圓表面生成氧化物，提高了晶圓的良品率；此外，用于填充的氮?dú)庖子谌〉?，造價便宜，便于對現(xiàn)有的晶圓存儲柜等設(shè)備進(jìn)行改造。
[0035]以上所述僅是實用新型的優(yōu)選實施方式的描述，應(yīng)當(dāng)指出，由于文字表達(dá)的有限性，而在客觀上存在無限的具體結(jié)構(gòu)，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護(hù)范圍。的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓存儲柜的氣氣填充裝置，包括晶圓存儲柜以及晶圓傳送盒，所述晶圓存儲柜用于存儲所述晶圓傳送盒，所述晶圓傳送盒用于存儲晶圓，其特征在于， 所述晶圓傳送盒上設(shè)有氮?dú)膺M(jìn)氣口以及空氣排出口； 所述晶圓存儲柜上設(shè)有的進(jìn)氣管道以及排氣管道，所述進(jìn)氣管道的一端與所述氮?dú)膺M(jìn)氣口連通，其另一端與氮?dú)庠催B接，所述排氣管道的一端與所述空氣排出口連通，其另一端與回收容器連接，所述氮?dú)庠磁c回收容器之間設(shè)有用于分離氮?dú)獾膲嚎s機(jī)，所述壓縮機(jī)將分離后的氮?dú)廨斔椭了龅獨(dú)庠矗瑫r將分離后的空氣排放至外界；其中，所述進(jìn)氣管道上設(shè)有第一啟閉閥，所述排氣管道上設(shè)有第二啟閉閥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述氮?dú)馓畛溲b置還包括控制單元以及氮?dú)馓畛溆嫊r模塊，所述氮?dú)馓畛溆嫊r模塊用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間并監(jiān)測氮?dú)馓畛鋾r間，并將監(jiān)測的氮?dú)馓畛鋾r間值反饋至所述控制單元，所述控制單元根據(jù)預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛鋾r間控制所述第一啟閉閥的開關(guān)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述控制單元還連接氮?dú)饬髁磕K，所述氮?dú)饬髁磕K用于預(yù)設(shè)氮?dú)馓畛淞髁坎⒈O(jiān)測氮?dú)馓畛淞髁?，并將監(jiān)測的氮?dú)馓畛淞髁恐捣答佒了隹刂茊卧?，所述控制單元控制所述第一啟閉閥的開關(guān)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述空氣排出口設(shè)于所述晶圓傳送盒的底部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述排氣管道上設(shè)有抽氣泵，所述抽氣泵將空氣抽離所述晶圓傳送盒。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述晶圓傳送盒設(shè)有干燥單元，所述干燥單元用于干燥所述晶圓傳送盒內(nèi)的水汽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述晶圓存儲柜內(nèi)設(shè)有氮?dú)馓畛淦脚_，所述氮?dú)馓畛淦脚_用于放置所述晶圓傳送盒。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓存儲柜的氮?dú)馓畛溲b置，其特征在于，所述晶圓存儲柜內(nèi)設(shè)有傳送系統(tǒng)，所述傳送系統(tǒng)將所述晶圓傳送盒傳送至所述氮?dú)馓畛淦脚_上，以對所述晶圓傳送盒填充氮?dú)狻?br> 【文檔編號】H01L21/673GK204257606SQ201420858572
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月25日
【發(fā)明者】王毅博, 黃仁東 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司