一種真空處理裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種真空處理裝置，用于對真空干燥設備內(nèi)的待處理基板進行抽真空處理，該真空處理裝置包括一干泵，真空處理裝置還包括：用于對由真空干燥設備抽出的氣體進行過濾，并使過濾后的氣體進入干泵內(nèi)的過濾裝置；過濾裝置包括：用于對由真空干燥設備抽出的氣體進行冷卻，以使氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后排出的冷卻單元，冷卻單元的氣體入口與真空干燥設備的氣體出口連通，冷卻單元的氣體出口與干泵的氣體入口連通。本實用新型所提供的真空處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，通過真空干燥設備與干泵之間設置一過濾裝置，可以將真空干燥設備抽出的氣體中雜質(zhì)氣體凝華或液化后排出掉，從而減少了進入干泵內(nèi)的雜質(zhì)氣體，可以延長干泵的使用壽命。
【專利說明】一種真空處理裝置

【技術(shù)領域】
[0001] 本實用新型涉及一種液晶面板的制造工藝中用于抽真空的真空處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 目前在半導體、液晶顯示器（Liquid Crystal Display, LCD) 制程的某些工藝 中，干泵（Dry Pump)已被廣泛利用，例如：彩膜基板光刻工藝（CF制程）中，需要將涂布后的 基板置于真空干燥設備（Vacuum Dryer, V⑶）內(nèi)，通過干泵（Dry Pump)對真空干燥設備進 行抽真空處理，并將氣體排出干泵外。但是，現(xiàn)在使用的干泵的不足之處在于：
[0003] 在彩膜基板光刻工藝（CF Photo)的各條Line (工藝產(chǎn)線），尤其是隔物墊工藝產(chǎn) 線（PHoto Spacer Line,簡稱PS Line)中，采用真空干燥設備（Vacuum Dryer, VO))與干泵 (Dry Pump)抽真空時，由于氣壓降低，光刻膠（PR)中的大量溶劑（Solvent)容易氣化，從而 導致光刻膠（PR)中的大量氣化的溶劑會被吸入干泵的泵體內(nèi)。
[0004] 氣化的溶劑進入干泵后的氣體溫度高、壓強低，而
[0005] 在干泵的排氣后端，由于壓強的增大和溫度的降低，導致氣態(tài)的溶劑（Solvent)會 固化殘留在泵體內(nèi)。當干泵停止工作后，這些殘留溶劑（Solvent)即會凝固，將排氣口堵死， 導致干泵無法正常工作，造成非常大的損失。 實用新型內(nèi)容
[0006] 本實用新型的目的是提供一種真空處理裝置，結(jié)構(gòu)簡單，可以減少進入干泵內(nèi)的 雜質(zhì)氣體，從而延長干泵使用壽命。
[0007] 本實用新型所提供的技術(shù)方案如下：
[0008] -種真空處理裝置，用于對真空干燥設備內(nèi)的待處理基板進行抽真空處理，所述 真空處理裝置包括一干泵，所述真空處理裝置還包括：
[0009] 用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行過濾，并使過濾后的氣體進入干泵內(nèi) 的過濾裝置；
[0010] 所述過濾裝置包括：
[0011] 用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行冷卻，以使氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和 /或液化后排出的冷卻單元，所述冷卻單元的氣體入口與所述真空干燥設備的氣體出口連 通，所述冷卻單元的氣體出口與所述干泵的氣體入口連通。
[0012] 進一步的，所述冷卻單元包括：第一管路，所述第一管路分別連通所述真空干燥設 備和所述干泵；
[0013] 纏繞于所述第一管路外部的冷卻管；以及，
[0014] 設置于所述第一管路上的用于將氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液、 固態(tài)的凝華物排出的排出結(jié)構(gòu)。
[0015] 進一步的，所述第一管路包括：
[0016] 沿重力方向設置的至少一根直管段；以及，
[0017] 連接在所述直管段的底端的至少一根U型管段；其中，
[0018] 所述冷卻管纏繞設置在所述直管段外部；所述U型管段的U型開口向上，其中部形 成有用于供雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液、固態(tài)凝華物滯留的滯留區(qū)域。
[0019] 進一步的，所述第一管路包括依次連接的第一 U型管段、第一直管段、第一彎管 段、第二直管段、第二U型管段、第三直管段和第二彎管段；其中，
[0020] 所述第一直管段、所述第二直管段和所述第三直管段平行設置；所述第一 U型管 段的一端與所述真空干燥設備連通，另一端與所述第一直管段的底端連接；所述第二U型 管段的兩端分別與所述第二直管段和所述第三直管段的底端連接；所述第一彎管段的兩端 分別連接在所述第一直管段和所述第二直管段的頂端；所述第二彎管段的一端連接所述第 三直管段的頂端，另一端與所述干泵連通。
[0021] 進一步的，至少一根所述直管段的頂端設置有使發(fā)生液化的霧狀的液體便于形成 液珠的網(wǎng)孔板。
[0022] 進一步的，所述第一管路的外部包覆有保溫層。
[0023] 進一步的，所述排出結(jié)構(gòu)包括：
[0024] 設置于至少一個所述U型管段底部的滯留區(qū)域所對應位置的排放閥門；
[0025] 和/或，可拆卸地設置于至少一根所述直管段的底端的化學品過濾器。
[0026] 進一步的，所述過濾裝置還包括：用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行加 熱，以使氣體溫度升高、氣壓增大的加熱單元，所述加熱單元設置在所述真空干燥設備與所 述冷卻單元之間，且所述加熱單元的氣體入口與所述真空干燥設備的氣體出口連通，所述 加熱單元的氣體出口與所述冷卻單元的氣體入口連通。
[0027] 進一步的，所述加熱單元包括：第二管路，所述第二管路的氣體入口連接于所述真 空干燥設備，所述第二管路的氣體出口與所述冷卻單元的氣體入口連通；以及，纏繞于所述 第一管路外部的電加熱絲。
[0028] 進一步的，所述第二管路包括沿重力方向設置的第二直管，所述第二直管的頂端 與所述真空干燥設備連接，所述第二直管的底端與所述冷卻單元的氣體入口連接。
[0029] 進一步的，所述加熱單元還包括包覆于所述第二管路外部的保溫層。
[0030] 進一步的，在所述冷卻單元與所述干泵之間還設置有一用于提供補償負壓的泵 體。
[0031] 本實用新型的有益效果如下：
[0032] 本實用新型所提供的真空處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，通過真空干燥設備與干泵之間 設置一過濾裝置，可以將真空干燥設備抽出的氣體中雜質(zhì)氣體凝華或液化后排出掉，從而 減少了進入干泵內(nèi)的雜質(zhì)氣體，可以延長干泵的使用壽命。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0033] 圖1為本實用新型一種實施例中所提供的真空處理裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0034] 圖2為本實用新型另一種實施例中所提供的真空處理裝置的結(jié)構(gòu)框圖；
[0035] 圖3為本實用新型優(yōu)選實施例中所提供的真空處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036] 圖4為排放閥門的第一種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037] 圖5為排放閥門的第二種實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038] 圖6為本實用新型優(yōu)選實施例中所提供的真空處理裝置中氣體溫度曲線示意圖。

【具體實施方式】
[0039] 以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用 新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0040] 針對現(xiàn)有技術(shù)中在半導體、LCD ro制程等工藝中采用干泵進行抽真空處理時，進 入干泵的氣體中由于存在容易固化的氣態(tài)溶劑等雜質(zhì)氣體，而導致干泵易損壞的問題，本 實用新型提供了一種真空處理裝置，能夠延長干泵的使用壽命。
[0041] 如圖1所示，本實用新型所提供的真空處理裝置包括：
[0042] 用于對真空干燥設備10內(nèi)的待處理基板進行抽真空處理，所述真空處理裝置包 括一干泵20,所述真空處理裝置還包括：
[0043] 用于對由所述真空干燥設備10抽出的氣體進行過濾，并使過濾后的氣體進入干 泵20內(nèi)的過濾裝置30 ;
[0044] 所述過濾裝置30包括：用于對由所述真空干燥設備10抽出的氣體進行冷卻，以使 氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后排出的冷卻單元100,所述冷卻單元100的氣體入口與 所述真空干燥設備10的氣體出口連通，所述冷卻單元100的氣體出口與所述干泵20的氣 體入口連通。
[0045] 本實用新型所提供的真空處理裝置，其結(jié)構(gòu)簡單，通過真空干燥設備10與干泵20 之間設置一過濾裝置30,該過濾裝置30中的冷卻單元100可以對進入干泵20之前的氣體 進行冷卻，使不易過濾的氣態(tài)形式轉(zhuǎn)化為比較容易過濾的液、固態(tài)的形式，從而使得進入干 泵20之前的氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后排出，減少了進入干泵20內(nèi)的雜質(zhì)氣體， 解決了氣態(tài)溶劑等雜質(zhì)氣體在泵體內(nèi)由于壓強增大、溫度降低而凝結(jié)的現(xiàn)象，從而解決了 排氣口堵塞的技術(shù)問題，可以延長干泵20的使用壽命。
[0046] 以下說明本實用新型的優(yōu)選實施例。
[0047] 如圖3所示，本實施例中，優(yōu)選的，所述冷卻單元100包括：
[0048] 第一管路，所述第一管路分別連通所述真空干燥設備10和所述干泵20 ;
[0049] 纏繞于所述第一管路外部的冷卻管102 ;以及，
[0050] 設置于所述第一管路上的用于將氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液、 固態(tài)的凝華物排出的排出結(jié)構(gòu)103。
[0051] 采用上述方案，冷卻單元100可以通過在通氣的第一管路外壁纏繞冷卻管102來 實現(xiàn)對由真空干燥設備10內(nèi)抽出而進入到第一管路內(nèi)的氣體進行冷卻的目的，第一管路 的氣體在溫度降低的環(huán)境下，會發(fā)生凝華和液化現(xiàn)象，而形成液、固態(tài)的凝華物，凝華物可 以通過排出結(jié)構(gòu)103排出。
[0052] 需要說明的是，本實施例中提供的冷卻單元100是通過第一管路外壁設置冷卻管 102的方式來實現(xiàn)，但是在實際應用中，冷卻單元100的結(jié)構(gòu)并非僅局限于此，比如：也可以 通過在通氣的第一管路的外側(cè)設置冷卻箱等方式，在此不再一一列舉。
[0053] 此外，本實施例中，優(yōu)選的，所述第一管路包括：
[0054] 沿重力方向設置的至少一根直管段；以及，
[0055] 連接在所述直管段的底端的至少一根U型管段；其中，
[0056] 所述冷卻管纏繞設置在所述直管段外部；所述U型管段的U型開口向上，其中部形 成有用于供雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液、固態(tài)凝華物滯留的滯留區(qū)域。
[0057] 采用上述方案，第一管路包括直管段和U型管段，其中直管段外壁設置冷卻管 102,氣體在進入到直管段時被冷卻凝華成液體或固化為固體形態(tài)的凝華物，而U型管段設 置在直管段的底端，且U型管段的U型開口向上，其中部的水平線位置最低，從而液、固態(tài)的 凝華物可以在重力作用下落入到U型管段的中部的滯留區(qū)域內(nèi)。
[0058] 本實施例中，進一步優(yōu)選的，如圖3所示，所述第一管路包括依次連接的第一 U型 管段1011、第一直管段1012、第一彎管段1013、第二直管段1014、第二U型管段1015、第三 直管段1016和第二彎管段1017 ;其中，
[0059] 所述第一直管段1012、所述第二直管段1014和所述第三直管段1016平行設置； 所述第一 U型管段1011的一端與所述真空干燥設備10連通，另一端與所述第一直管段 1012的底端連接；所述第二U型管段1015的兩端分別與所述第二直管段1014和所述第三 直管段1016的底端連接；所述第一彎管段1013的兩端分別連接在所述第一直管段1012和 所述第二直管段1014的頂端；所述第二彎管段1017的一端連接所述第三直管段1016的頂 端，另一端與所述干泵20連通。
[0060] 上述方案中，通過將第一管路設置為包括三根直管段和兩根U型管段以及兩根彎 管段的結(jié)構(gòu)，在如彩膜基板光刻膠工藝中對基板進行抽真空處理時，真空干燥設備10內(nèi)設 置待處理的基板，由真空干燥設備10抽出的氣體中夾雜有氣態(tài)溶劑等雜質(zhì)氣體，上述氣體 中首先進入到第一彎管段1013,在經(jīng)過第一直管段1012時，由于溫度降低，雜質(zhì)氣體會發(fā) 生凝華或固化而形成液態(tài)或固態(tài)的凝華物40,而落入第一 U型管段1011的中部滯留區(qū)域， 然后，氣體經(jīng)過第一彎管段1013后又進入到第二直管段1014,未能在第一直管段1012被凝 華或固化的殘余雜質(zhì)氣體會在第二直管段1014繼續(xù)降溫，從而殘余雜質(zhì)氣體會凝華或固 化后落入第二U型管段1015的滯留區(qū)域，然后，氣體又再進入到第三直管段1016,未能在第 二直管段1014被凝華或固化的殘余雜質(zhì)氣體會在第三直管段1016繼續(xù)降溫，從而殘余雜 質(zhì)氣體會凝華或固化后落入第三U型管段的滯留區(qū)域，最終，氣體經(jīng)過三次冷卻處理后，進 入到干泵20內(nèi)。
[0061] 需要說明的是，上述方案中經(jīng)過三次冷卻的氣體中雜質(zhì)氣體基本可以被完全過濾 掉，在實際應用中，冷卻單元100中直管段以及U型管段的數(shù)量并非僅局限于此，也可以根 據(jù)實際需要進行調(diào)整，如：直管段和U型管段的數(shù)量可以為兩根或四根等。此外，優(yōu)選的，第 一彎管段1013和第二彎管段1017優(yōu)選的采用U型開口朝下的U型管實現(xiàn)。
[0062] 此外，本實施例中，進一步優(yōu)選的，如圖3所示，至少一根所述直管段的頂端設置 有網(wǎng)孔板104。通過網(wǎng)孔板104的設置，可以使發(fā)生液化的霧狀的液體便于形成液珠。本 實施例中，優(yōu)選的，如圖3所示，所述網(wǎng)孔板104可以是僅設置于所述第三直管段1016的頂 端，也就是，該網(wǎng)孔板104設置于冷卻單元100的末端。當然，所述網(wǎng)孔板104也可以是設 置于每一根直管段的頂端位置。
[0063] 此外，本實施例中，優(yōu)選的，如圖3所示，所述第一管路的外部包覆有保溫層105。 上述方案中，可以在U型管段、直管段以及彎管段的管道外壁上包覆一層保溫層105,能夠 保持溫度的恒定，減少能量損失。
[0064] 此外，本實施例中，優(yōu)選的，所述排出結(jié)構(gòu)103包括設置于至少一個所述U型管段 底部的滯留區(qū)域所對應位置的排放閥門。通過在U型管段底部的滯留區(qū)域設置排放閥門， 可以將積累到一定程度的凝華物40排出。
[0065] 所述排放閥門的結(jié)構(gòu)可以采用如下兩種方式：
[0066] 第一種方式，如圖4所示，所述排放閥門包括連通在U型管段的中部的底端的一中 空短管1031，該中空短管1031具有內(nèi)螺紋，在中空短管1031的端部螺紋連接一螺母1032。 螺母擰上，則所述排放閥門打開；螺母擰下，則所述排放閥門關閉。在中空短管與螺母之間 可以設置一密封圈（如：〇型密封圈），以保證中空短管與螺母之間密封。
[0067] 第二種方式，如圖5所示，所述排放閥門包括是連接在U型管段的中部底端的法蘭 和一管道組成，其中所述管道的一端封閉，另一端連接在所述法蘭上。將法蘭打開，則所述 排放閥門打開；將固定法蘭緊固，則管道閥門關閉。這樣既方便隨時拆卸，又保證了管道的 密封性，可以將收集的凝華物40由排放閥門排出。
[0068] 需要說明的是，以上是所述排放閥門的優(yōu)選實施方式，但是在實際應用中，排放閥 門的結(jié)構(gòu)并不僅局限于此。
[0069] 此外，，本實施例中，優(yōu)選的，所述排放結(jié)構(gòu)還可以包括可拆卸地設置于至少一根 所述直管段的底端的化學品過濾器。該化學品過濾器還可以作為排出結(jié)構(gòu)103將直管段雜 質(zhì)氣體冷卻形成的凝華物40排出，且所述化學品過濾器可拆卸地安裝在直管段內(nèi)，方便更 換。此外，該化學品過濾器還可以過濾氣體冷卻后有可能產(chǎn)生的粉塵，達到更好地過濾效 果。
[0070] 此外，還需要說明的是，為了實現(xiàn)將U型管段的滯留區(qū)域的凝華物40排出的目的， 還可以是將直管段與U型管段采用可拆卸方式連接，在該真空處理裝置工作一定時間后， 將U型管段拆卸下來，以排出掉凝華物40。并且，優(yōu)選的，第一管路中各直管段和U型管段 以及彎管段的連接方式均為可拆卸連接。
[0071] 此外，本實施例中，如圖2所示,所述過濾裝置30還包括：用于對由所述真空干燥 設備10抽出的氣體進行加熱，以使氣體溫度升高、氣壓增大的加熱單元200,所述加熱單元 200設置在所述真空干燥設備10與所述冷卻單元100之間，且所述加熱單元200的氣體入 口與所述真空干燥設備10的氣體出口連通，所述加熱單元200的氣體出口與所述冷卻單元 100的氣體入口連通。
[0072] 采用上述方案，為了能夠使不易過濾的氣態(tài)形式轉(zhuǎn)化為比較容易過濾的固態(tài)的形 式，以達到良好的過濾效果，將真空干燥設備（V⑶）10抽真空時產(chǎn)生的大量溶劑（Solvent) 氣體，在進入泵體之前，通過加熱單元200進行加熱，使進入冷卻單元100之間的氣體溫度 升高，且能起到增加氣體壓強的作用，在一定空間內(nèi)壓強越大、溫度越低，更容易使氣體冷 凝，加熱單元200的設置可以為冷卻單元100使氣體冷凝創(chuàng)造更有利的條件，這樣進入到冷 卻單元100的氣體在高壓、低溫的環(huán)境下會更容易發(fā)生凝華和液化現(xiàn)象。
[0073] 本實施例中，優(yōu)選的，如圖3所示，所述加熱單元200包括：
[0074] 第二管路201，所述第二管路201的氣體入口連接于所述真空干燥設備10,所述第 二管路201的氣體出口與所述冷卻單元100的氣體入口連通；
[0075] 以及，纏繞于所述第一管路外部的電加熱絲202。
[0076] 進一步的，所述加熱單元200還包括包覆于所述第二管路201外部的保溫層203。
[0077] 采用上述方案，氣體可以通過第二管路201后，再進入到冷卻單元100,在第二管 路201的外側(cè)包覆一層保溫層，能夠保持溫度的恒定，減少熱能損失，在保溫層的外側(cè)再繞 電熱絲，用于給第二管路201外壁進行加熱，實現(xiàn)對第二管路201內(nèi)部氣體加熱目的，第二 管路201的氣體在加熱后溫度升高、壓強增大。
[0078] 需要說明的是，加熱單元200的結(jié)構(gòu)也并不僅局限于此，還可以采用氣體方式，t匕 如：加熱單元200可以是包括一第二管路201，第二管路201的外壁再設置加溫箱等加熱部 件。
[0079] 此外，優(yōu)選的，所述第二管路包括沿重力方向設置的第二直管，所述第二直管的頂 端與所述真空干燥設備10連接，所述第二直管的底端與所述冷卻單元100的氣體入口連 接。如圖3所示，采用上述方案，在本優(yōu)選實施例中，第二直管的底端可以與第一 U型管段 1011連接，這樣，由真空干燥設備10抽出的氣體進入第二管路201加熱后進入到第一 U型 管段1011，由于第一 U型管段1011溫度比第二管路201低，氣體溫度會一定程度降低，這 樣，部分雜質(zhì)氣體會凝華或液化，從而，會有一部分凝華物40落入第一 U型管段1011的滯 留區(qū)域。
[0080] 此外，過濾裝置30的存在，會一定程度的造成干泵20壓力損失，而通常生產(chǎn)工藝 中對于生產(chǎn)時間有一定要求，因此，為了保證生產(chǎn)效率（tack time)和彌補管道改造后壓力 的損失，如圖1所示。在所述冷卻單元1〇〇與所述干泵20之間還設置有一用于提供補償負 壓的泵體50。該泵體50可以是與干泵20的結(jié)構(gòu)相同的小型號的干泵。
[0081] 此外，還需說明的是，已知的造成彩膜基板光刻膠工藝中堵塞干泵20的溶劑 (Solvent)的熔點在90°C?120°C，在超低壓30?lOOPa的環(huán)境下，熔點可以下降到20°C 以下。圖6所示為上述優(yōu)選實施例中的真空處理裝置的溫度曲線示意圖。如圖6所示，力口 熱單元200最高可以使得氣體的溫度達到120°C左右甚至更高，冷卻單元100可以使得氣體 溫度降低到23°左右甚至更低。從而，采用上述優(yōu)選實施例中的真空處理裝置可以將會堵 塞干泵20的溶劑（Solvent)在進入干泵20之前通過先加熱、后冷卻的方式凝華或液化后 排出，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中Solvent在干泵20內(nèi)由于壓強增大、溫度降低而凝結(jié)的現(xiàn)象， 從而解決了排氣口堵塞的技術(shù)問題。
[〇〇82] 以上所述是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本【技術(shù)領域】的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進 和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種真空處理裝置，用于對真空干燥設備內(nèi)的待處理基板進行抽真空處理，所述真 空處理裝置包括一干泵，其特征在于，所述真空處理裝置還包括： 用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行過濾，并使過濾后的氣體進入干泵內(nèi)的過 濾裝置； 所述過濾裝置包括： 用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行冷卻，以使氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或 液化后排出的冷卻單元，所述冷卻單元的氣體入口與所述真空干燥設備的氣體出口連通， 所述冷卻單元的氣體出口與所述干泵的氣體入口連通。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理裝置，其特征在于，所述冷卻單元包括： 第一管路，所述第一管路分別連通所述真空干燥設備和所述干泵； 纏繞于所述第一管路外部的冷卻管；以及， 設置于所述第一管路上的用于將氣體中的雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液態(tài)或 固態(tài)的凝華物排出的排出結(jié)構(gòu)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空處理裝置，其特征在于，所述第一管路包括： 沿重力方向設置的至少一根直管段；以及， 連接在所述直管段的底端的至少一根U型管段；其中， 所述冷卻管纏繞設置在所述直管段外部；所述U型管段的U型開口向上，其中部形成有 用于供雜質(zhì)氣體凝華和/或液化后形成的液、固態(tài)凝華物滯留的滯留區(qū)域。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述第一管路包括依次連接的第一 U型管段、第一直管段、第一彎管段、第二直管段、 第二U型管段、第三直管段和第二彎管段；其中， 所述第一直管段、所述第二直管段和所述第三直管段平行設置；所述第一 U型管段的 一端與所述真空干燥設備連通，另一端與所述第一直管段的底端連接；所述第二U型管段 的兩端分別與所述第二直管段和所述第三直管段的底端連接；所述第一彎管段的兩端分 別連接在所述第一直管段和所述第二直管段的頂端；所述第二彎管段的一端連接所述第三 直管段的頂端，另一端與所述干泵連通。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空處理裝置，其特征在于， 至少一根所述直管段的頂端設置有使發(fā)生液化的霧狀的液體便于形成液珠的網(wǎng)孔板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述第一管路的外部包覆有保溫層。
7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述排出結(jié)構(gòu)包括： 設置于至少一個所述U型管段底部的滯留區(qū)域所對應位置的排放閥門； 和/或，可拆卸地設置于至少一根所述直管段的底端的化學品過濾器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求2至7任一項所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述過濾裝置還包括：用于對由所述真空干燥設備抽出的氣體進行加熱，以使氣體溫 度升高、氣壓增大的加熱單元，所述加熱單元設置在所述真空干燥設備與所述冷卻單元之 間，且所述加熱單元的氣體入口與所述真空干燥設備的氣體出口連通，所述加熱單元的氣 體出口與所述冷卻單元的氣體入口連通。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述加熱單元包括：第二管路，所述第二管路的氣體入口連接于所述真空干燥設備，所 述第二管路的氣體出口與所述冷卻單元的氣體入口連通；以及，纏繞于所述第一管路外部 的電加熱絲。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述第二管路包括沿重力方向設置的第二直管，所述第二直管的頂端與所述真空干燥 設備連接，所述第二直管的底端與所述冷卻單元的氣體入口連接。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空處理裝置，其特征在于， 所述加熱單元還包括包覆于所述第二管路外部的保溫層。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理裝置，其特征在于， 在所述冷卻單元與所述干泵之間還設置有一用于提供補償負壓的泵體。
【文檔編號】H01L21/67GK203892154SQ201420140869
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2014年3月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月26日
【發(fā)明者】杜宏偉, 孫培會, 陳鵬 申請人:北京京東方顯示技術(shù)有限公司, 京東方科技集團股份有限公司