一種等離子體刻蝕硅片夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板、下夾板、螺絲螺桿以及位于上夾板與下夾板之間的墊片，所述上夾板、下夾板上設(shè)有與螺絲螺桿相配合的通孔，上夾板、下夾板通過通孔套設(shè)在可調(diào)節(jié)兩塊夾板間距的螺絲螺桿上，螺絲螺桿上端穿過上夾板并向外延伸，延伸部分與上夾板之間設(shè)有螺母；下端固定在下夾板的通孔內(nèi)；在上夾板與下夾板上各設(shè)有一組對(duì)稱的矩形長條，所述的上夾板上的矩形長條與下夾板上的矩形長條相互對(duì)立。本發(fā)明可以用更小的力使硅片疊加的更緊密減小內(nèi)部的刻蝕，同時(shí)壓片在硅片其他位置不施加力，不會(huì)使硅片產(chǎn)生隱裂，既改善了刻蝕效果同時(shí)避免了整體壓力過大造成硅片損傷。
【專利說明】一種等離子體刻蝕硅片夾具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于夾具領(lǐng)域，具體涉及一種等離子體刻蝕硅片夾具。

【背景技術(shù)】
[0002] 太陽能電池生產(chǎn)中有一道工序叫做等離子體刻蝕工序，該工序的目的是利用等離 子體激發(fā)四氟化碳和氧氣對(duì)硅片四邊進(jìn)行刻蝕。由于等離子體對(duì)硅片的刻蝕沒有選擇性， 滲透性強(qiáng)，所以硅片常被放在夾具中，并在表面加一層蓋板施加一定的壓力，防止過刻。目 前行業(yè)中使用的夾具一般都由兩塊平板和兩側(cè)螺桿組成。夾具在硅片上施加的力被分散在 整個(gè)硅片上，邊緣容易出現(xiàn)夾不緊造成過刻，并且當(dāng)硅片有切割痕、異物時(shí)容易造成硅片 隱裂。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種等離子體刻蝕硅片夾具， 既能保證刻蝕效果，還可以減少夾具對(duì)硅片的損傷。
[0004] 本發(fā)明所述的一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板、下夾板、螺絲螺桿以及位 于上夾板與下夾板之間的墊片，所述上夾板、下夾板上設(shè)有與螺絲螺桿相配合的通孔，上夾 板、下夾板通過通孔套設(shè)在可調(diào)節(jié)兩塊夾板間距的螺絲螺桿上，螺絲螺桿上端穿過上夾板 并向外延伸，延伸部分與上夾板之間設(shè)有螺母；下端固定在下夾板的通孔內(nèi)；在上夾板與 下夾板上各設(shè)有一組對(duì)稱的矩形長條，所述的上夾板上的矩形長條與下夾板上的矩形長條 相互對(duì)立。
[0005] 進(jìn)一步改進(jìn)，所述的矩形長條離上、下夾板四條邊的距離相等，相對(duì)距離為125cm 或 156cm〇
[0006] 進(jìn)一步改進(jìn)，所述的墊片位于硅片與矩形長條之間。
[0007] 進(jìn)一步改進(jìn)，所述的墊片為四氟墊片。
[0008] 本發(fā)明的有益效果在于： 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所述的夾具，采用矩形長條夾住硅片，壓片的力施加在硅片邊 緣，可以用更小的力使硅片疊加的更緊密減小內(nèi)部的刻蝕，同時(shí)壓片在硅片其他位置不施 加力，不會(huì)使硅片產(chǎn)生隱裂，既改善了刻蝕效果同時(shí)避免了整體壓力過大造成硅片損傷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009] 圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0010] 如圖1所示，本發(fā)明所述的一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板1、下夾板2、 螺絲螺桿3以及位于上夾板1與下夾板2之間的墊片4,所述上夾板1、下夾板2上設(shè)有與 螺絲螺桿3相配合的通孔，上夾板1、下夾板2通過通孔套設(shè)在可調(diào)節(jié)兩塊夾板間距的螺絲 螺桿3上，螺絲螺桿3上端穿過上夾板1并向外延伸，延伸部分與上夾板1之間設(shè)有螺母5 ; 下端固定在下夾板2的通孔內(nèi)；在上夾板1與下夾板2上各設(shè)有一組對(duì)稱的矩形長條6,所 述的上夾板1上的矩形長條6與下夾板2上的矩形長條6相互對(duì)立；所述的上夾板1上的 矩形長條6與下夾板2上的矩形長條6之間設(shè)有硅片7,所述的墊片4位于硅片7與矩形長 條6之間。
[0011] 所述的矩形長條6離上、下夾板1、2四條邊的距離相等，相對(duì)距離為125cm或者 156cm〇
[0012] 所述的墊片4為四氟墊片。
[0013] 本發(fā)明提供了一種等離子體刻蝕硅片夾具，以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方 法，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可 以作出若干改進(jìn)，這些改進(jìn)也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種等離子體刻蝕硅片夾具，包括上夾板（1)、下夾板（2)、螺絲螺桿（3)以及位于上 夾板（1)與下夾板（2)之間的墊片（4)，所述上夾板（1)、下夾板（2)上設(shè)有與螺絲螺桿（3) 相配合的通孔，上夾板（1)、下夾板（2)通過通孔套設(shè)在可調(diào)節(jié)兩塊夾板間距的螺絲螺桿 (3)上，螺絲螺桿（3)上端穿過上夾板（1)并向外延伸，延伸部分與上夾板（1)之間設(shè)有螺 母（5);下端固定在下夾板（2)的通孔內(nèi)；其特征在于，在上夾板（1)與下夾板（2)上各設(shè)有 一組對(duì)稱的矩形長條（6)，所述的上夾板（1)上的矩形長條（6)與下夾板（2)上的矩形長條 (6)相互對(duì)立。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的矩形長條（6)離 上、下夾板（1、2)四條邊的距離相等，相對(duì)距離為125cm或156cm。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的墊片（4)位于硅 片與矩形長條（6)之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的等離子體刻蝕硅片夾具，其特征在于，所述的墊片（4)為 四氟墊片。
【文檔編號(hào)】H01L21/687GK104124192SQ201410365150
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月29日
【發(fā)明者】蔣建寶 申請(qǐng)人:無錫賽晶太陽能有限公司