一種基于Yb:GSO 激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基于Yb:GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，包括用于泵浦Yb:GSO晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，輸出激光的泵浦源；用于提供激光諧振腔腔內(nèi)增益的Yb:GSO激光晶體；用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)的半導(dǎo)體可飽和吸收鏡；用于提供提高激光諧振腔腔內(nèi)的增益晶體與SESAM位置的功率密度的凹面鏡；用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散的色散補(bǔ)償鏡。本發(fā)明透過輸出鏡直接輸出的飛秒脈沖的脈沖寬度為72fs，最大平均功率為82mW，重復(fù)頻率為113.29MHz，中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。本發(fā)明首次實(shí)現(xiàn)了Yb:GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模，獲得了72fs的超短激光脈沖輸出，相比于以往在該種晶體上實(shí)現(xiàn)的鎖模激光器來說，脈沖寬度有了顯著的提高，實(shí)現(xiàn)了自啟動(dòng)而且能夠長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。
【專利說明】—種基于Yb:GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于激光二極管泵浦【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器。
【背景技術(shù)】
[0002]LD(Laser Diode，激光二極管)泵浦的全固態(tài)飛秒激光器由于具有成本低廉，結(jié)構(gòu)簡單緊湊等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為目前近紅外l-2um波段較為主流的研究方向。而且由于采用LD泵浦具有亮度高，功率大的優(yōu)點(diǎn)，有利于高功率飛秒激光的獲得，在國防，工業(yè)，醫(yī)療以及科研等領(lǐng)域都有著非常重要的用途。在Ium波段，隨著高功率高亮度的LD的出現(xiàn)，越來越多的基于Yb摻雜的激光晶體、陶瓷材料被應(yīng)用于飛秒激光器的研究當(dāng)中。這主要?dú)w功于摻雜Yb3+離子的晶體或陶瓷擁有非常優(yōu)良的特性，例如沒有激發(fā)態(tài)的吸收，沒有交叉弛豫，不存在濃度淬滅，具有很高的量子效率，很長的熒光壽命以及很寬的發(fā)射帶寬。作為眾多的Yb摻雜的激光介質(zhì)中重要的一族，Yb摻雜的硅酸鹽晶體在近幾年來得到了大家廣泛的關(guān)注。由于Yb摻雜的硅酸鹽晶體中Yb3+離子的基態(tài)能級(jí)斯塔克分裂較大，使得受激輻射產(chǎn)生激光過程屬于準(zhǔn)四能級(jí)結(jié)構(gòu)，降低了產(chǎn)生激光的泵浦閾值，而且Yb摻雜的硅酸鹽晶體均具有較寬的發(fā)射光譜，理論上可以支持小于IOOfs的超短脈沖產(chǎn)生。目前已經(jīng)報(bào)道的Yb摻雜的硅酸鹽激光晶體包括:Yb:YS0、Yb:GS0、Yb:GS0、Yb:SS0、Yb:GYSO和Yb:LYSO等，已被證明不管是在連續(xù)激光輸出還是飛秒脈沖產(chǎn)生方面均具有優(yōu)異的激光特性。其中尤其是Yb:GS0晶體，具有性質(zhì)穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、大的基態(tài)能級(jí)分裂、寬的發(fā)射光譜以及很高的熱導(dǎo)率等優(yōu)點(diǎn)，十分適合作為飛秒激光產(chǎn)生的增益介質(zhì)。但是目前在這種晶體上只實(shí)現(xiàn)了最短343fs的激光脈沖輸出(WenxueLiet.alOpt.Expressl5, 2354 (2007))。
[0003]亞百飛秒的脈沖寬度的飛秒脈沖在很多領(lǐng)域諸如在光頻標(biāo)以及原子分子瞬態(tài)動(dòng)力學(xué)具有十分重要的應(yīng)用。達(dá)到IOOfs以下的脈沖寬度能夠使得對應(yīng)的激光光譜更寬，不僅更加有利于超快現(xiàn)象的探測，也使得光譜探測更加精細(xì)，同時(shí)更加有利于光譜的擴(kuò)展從而產(chǎn)生光學(xué)頻率梳，使光學(xué)頻率測量成為可能。目前國際上報(bào)道了幾種利用克爾透鏡鎖模直接產(chǎn)生亞IOOfs脈沖的Yb激光器，但克爾透鏡鎖模實(shí)現(xiàn)的條件比較苛刻，激光諧振腔必須處于穩(wěn)腔的邊緣，而且鎖模區(qū)域比較小，因此克爾透鏡鎖模一般很容易受環(huán)境影響，克爾透鏡鎖模一般只能維持幾個(gè)小時(shí)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，另外，鎖模狀態(tài)無法自啟動(dòng)也是其存在的主要缺點(diǎn)，鎖模掉了以后需要給予一定的外界擾動(dòng)才能重新建立鎖模。雖然利用SESAM被動(dòng)鎖模的Yb激光器簡單緊湊，可以自啟動(dòng)，能夠長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，但是目前利用SESAM被動(dòng)鎖模的Yb全固態(tài)激光器產(chǎn)生的脈沖寬度一般局限于IOOfs以上，因此建立一種亞IOOfs SESAM被動(dòng)鎖模Yb全固態(tài)激光器有著非常重要的意義與用途。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，旨在解決現(xiàn)有利用克爾透鏡鎖模直接產(chǎn)生亞IOOfs脈沖的Yb激光器存在的實(shí)現(xiàn)的條件比較苛刻、易受環(huán)境影響，不能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)和無法自動(dòng)啟動(dòng)的問題。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種基于Yb:GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，該基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器包括:泵浦源、色散補(bǔ)償鏡、第一凹面鏡、YbiGSO晶體、第二凹面鏡、第三凹面鏡、半導(dǎo)體可飽和吸收鏡、輸出鏡；
[0006]泵浦源，用于輸出976nm激光，泵浦Yb:GS0晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)；
[0007]YbiGSO晶體，作為激光增益介質(zhì)，用于提供激光諧振腔腔內(nèi)的增益；
[0008]色散補(bǔ)償鏡,用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散；
[0009]第一凹面鏡，第二凹面鏡、第三凹面鏡，用于提供提高激光諧振腔腔內(nèi)的增益晶體與SESAM位置的功率密度；
[0010]半導(dǎo)體可飽和吸收鏡，用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)；
[0011]輸出鏡，用于輸出飛秒脈沖。
[0012]進(jìn)一步，輸出鏡輸出的飛秒脈沖的脈沖寬度為72fs，最大平均功率為82mW，重復(fù)頻率為113.29MHz，中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。
[0013]進(jìn)一步，泵浦源為光纖I禹合輸出的LD半導(dǎo)體激光器,輸出波長為976nm,LD的光纖芯徑為lOOum，數(shù)值孔徑為0.22。
[0014]進(jìn)一步，第一凹面鏡和第二凹面鏡的曲率半徑為75mm，第二凹面鏡安裝在可調(diào)節(jié)的光學(xué)平移臺(tái)上。
[0015]進(jìn)一步，YbiGSO晶體被置于水冷銅塊上，水冷銅塊的表面溫度維持在10攝氏度。
[0016]進(jìn)一步,Yb: GSO晶體的尺寸為3mm x3mm x3mm,摻雜濃度為5at.垂直于泵浦光放置。
[0017]進(jìn)一步,第一凹面鏡面向泵浦源的一面鍍有對970_980nm增透的介質(zhì)膜，另一面同時(shí)鍍有對970-980nm增透的介質(zhì)膜和對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜；
[0018]第二凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜；
[0019]第三凹面鏡的曲率半徑為300mm ;
[0020]第三凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜。
[0021]進(jìn)一步，半導(dǎo)體可飽和吸收鏡調(diào)制深度為0.4%，飽和通量為90J/cm2，弛豫時(shí)間小于500fs，中心波長為1064nm。
[0022]進(jìn)一步，色散補(bǔ)償鏡提供的反常色散值為-SOOfs2 ;輸出鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020-1 IOOnm透過率為0.4%的介質(zhì)膜，另一面鍍有對1020_1100nm增透的介質(zhì)膜。
[0023]進(jìn)一步，該基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器的光路為:從泵浦源發(fā)出的976nm泵浦激光經(jīng)過第一凹面鏡后入射到Y(jié)b:GS0晶體上，振蕩產(chǎn)生的1.05um增益激光入射到第二凹面鏡，并被第二凹面鏡和第三凹面鏡依次反射，入射到半導(dǎo)體可飽和吸收鏡上，半導(dǎo)體可飽和吸收鏡將激光原路返回，到達(dá)第一凹面鏡，并被第一凹面鏡和色散補(bǔ)償鏡依次反射，最終入射到輸出鏡，透過輸出鏡后輸出脈沖寬度為72fs的高光束質(zhì)量的鎖模激光脈沖。
[0024]本發(fā)明提供的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，設(shè)置用于泵浦YbiGSO晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，輸出976nm激光的泵浦源；用于提供激光諧振腔腔內(nèi)的增益的Yb:GS0激光晶體；用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)的SESAM ;用于用于提供提高激光諧振腔腔內(nèi)的增益晶體與SESAM位置的功率密度的第一凹面鏡，第二凹面鏡和第三凹面鏡；用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散的色散補(bǔ)償鏡；實(shí)現(xiàn)了 LD泵浦的利用SESAM被動(dòng)鎖模的亞百飛秒Yb = GSO激光器，透過輸出鏡直接輸出的飛秒脈沖的脈沖寬度為72fs，最大平均功率為82mW，重復(fù)頻率為113.29MHz，中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。本發(fā)明首次實(shí)現(xiàn)了 Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模，獲得了 72fs的超短激光脈沖輸出，相比于以往在該種晶體上實(shí)現(xiàn)的鎖模激光器來說，脈沖寬度有了顯著的提高，實(shí)現(xiàn)了自啟動(dòng)而且能夠長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的LD泵浦的利用SESAM實(shí)現(xiàn)亞百飛秒被動(dòng)鎖模的Yb:GS0激光器用強(qiáng)度自相關(guān)儀測得的脈沖寬度信號(hào)示意圖；
[0027]圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的LD泵浦的利用SESAM實(shí)現(xiàn)亞百飛秒被動(dòng)鎖模的Yb:GS0激光器用光譜儀測得的輸出光譜信號(hào)示意圖；
[0028]圖4是本發(fā)明實(shí)施例提供的LD泵浦的利用SESAM實(shí)現(xiàn)亞百飛秒被動(dòng)鎖模的Yb:GS0激光器用頻譜分析儀測得的頻譜圖；
[0029](a)是分辨率IkHz時(shí)的頻譜；(b)是分辨率為IOOkHz時(shí)的頻譜；
[0030]圖中:1、泵浦源；2、色散補(bǔ)償鏡；3、第一凹面鏡；4、YbiGSO晶體；5、第二凹面鏡；
6、第三凹面鏡；7、半導(dǎo)體可飽和吸收鏡；8、輸出鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0032]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本發(fā)明的應(yīng)用原理作進(jìn)一步描述。
[0033]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器主要由:泵浦源1、色散補(bǔ)償鏡2、第一凹面鏡3、YbiGSO晶體4、第二凹面鏡5、第三凹面鏡6、半導(dǎo)體可飽和吸收鏡(SESAM) 7、輸出鏡8組成；
[0034]泵浦源I，用于輸出976nm激光，泵浦Yb:GS0晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)；
[0035]YbiGSO晶體4，作為激光增益介質(zhì)，用于提供激光諧振腔腔內(nèi)的增益；
[0036]色散補(bǔ)償鏡2，用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散；
[0037]第一凹面鏡3，第二凹面鏡5、第三凹面鏡6，用于提供提高激光諧振腔腔內(nèi)的增益晶體與SESAM位置的功率密度；
[0038]半導(dǎo)體可飽和吸收鏡7，用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)；
[0039]輸出鏡8,用于輸出飛秒脈沖。
[0040]本發(fā)明包括:輸出976nm激光的泵浦源，用于泵浦Yb:GS0晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)；Yb:GS0激光晶體，用于提供激光諧振腔腔內(nèi)的增益；半導(dǎo)體可飽和吸收鏡用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)；第一凹面鏡，第二凹面鏡和第三凹面鏡，用于提供提高激光諧振腔腔內(nèi)的增益晶體與SESAM位置的功率密度；色散補(bǔ)償鏡，用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散；輸出鏡，用于輸出飛秒脈沖，透過輸出鏡輸出的飛秒脈沖的脈沖寬度為72fs，最大平均功率為82mW，重復(fù)頻率為113.29MHz，中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。
[0041]泵浦源為光纖I禹合輸出的LD半導(dǎo)體激光器,輸出波長為976nm, LD的光纖芯徑為lOOum，數(shù)值孔徑為0.22 ；
[0042]其中第一凹明鏡和第二凹面鏡的曲率半徑為75mm，第二凹面鏡安裝在可調(diào)節(jié)的光學(xué)平移臺(tái)上；
[0043]YbiGSO晶體被置于水冷銅塊上，水冷銅塊的表面溫度維持在10攝氏度；
[0044]Yb:GSO晶體的尺寸為3mm x3mm x3mm,摻雜濃度為5at.% ,垂直于泵浦光放置；
[0045]第一凹面鏡面向泵浦源的一面鍍有對970_980nm增透的介質(zhì)膜，另一面同時(shí)鍍有對970-980nm增透的介質(zhì)膜和對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜；
[0046]第二凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜；
[0047]第三凹面鏡的曲率半徑為300mm ；
[0048]第三凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜；
[0049]半導(dǎo)體可飽和吸收鏡(SESAM)調(diào)制深度為0.4%，飽和通量為90μ J/cm2，弛豫時(shí)間小于500fs，中心波長為1064nm ；
[0050]色散補(bǔ)償鏡提供的反常色散值為-SOOfs2 ；
[0051]輸出鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020-110011111透過率為0.4%的介質(zhì)膜，另一面鍍有對1020-1 IOOnm增透的介質(zhì)膜。
[0052]如圖1所示，本發(fā)明的工作原理:從泵浦源I發(fā)出的976nm泵浦激光經(jīng)過第一凹面鏡3后入射到Y(jié)b = GSO晶體4上，振蕩產(chǎn)生的1.05um增益激光入射到第二凹面鏡5，并被第二凹面鏡5和第三凹面鏡6依次反射，入射到半導(dǎo)體可飽和吸收鏡7上，半導(dǎo)體可飽和吸收鏡7將激光原路返回，到達(dá)第一凹面鏡3，并被第一凹面鏡I和色散補(bǔ)償鏡2依次反射，最終入射到輸出鏡8，透過輸出鏡8后輸出脈沖寬度為72fs的高光束質(zhì)量的鎖模激光脈沖。
[0053]本發(fā)明的實(shí)施例中，輸出鏡和半導(dǎo)體可飽和吸收鏡構(gòu)成了諧振腔的兩個(gè)端鏡，對應(yīng)于重復(fù)頻率為113.29MHz ;得到穩(wěn)定連續(xù)鎖模最大平均輸出功率為82mW ;利用商用的強(qiáng)度自相關(guān)儀測得的脈沖自相關(guān)信號(hào)如圖2所示。假設(shè)脈沖形狀為雙曲正割型，其脈沖寬度為72fS，利用光譜儀測得的光譜如圖3所示.其中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。
[0054]利用商用的頻譜分析儀測得的鎖模頻譜圖如圖4所示。其中4(a)的分辨率為1kHz，頻率范圍為250kHz ;圖4(b)的分辨率為100kHz，頻率范圍為1GHz。頻譜儀測量的結(jié)果很好的表明本實(shí)施例提供的激光器具有很好的穩(wěn)定性。
[0055]本發(fā)明采用的對稱共焦式的諧振腔結(jié)構(gòu)，并采用緊聚焦的腔型設(shè)計(jì)，能夠減小振蕩激光在Yb:GS0晶體中心上的束腰大小，增加了腔內(nèi)的功率密度。本發(fā)明具有很好的實(shí)用性和可操作性，結(jié)構(gòu)緊湊小巧，不僅具有很好的穩(wěn)定性而且可以自啟動(dòng)，適用于重復(fù)生產(chǎn)和組裝，適于批量化生產(chǎn)、成本較低、激光單向輸出、高重復(fù)頻率、亞IOOfs量級(jí)的脈沖寬度，高穩(wěn)定性以及自啟動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于國防、工業(yè)、醫(yī)療及科研領(lǐng)域，具有很好的應(yīng)用前景和商業(yè)價(jià)值。
[0056]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于Yb: GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器,其特征在于,該基基于Yb: GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器包括:泵浦源、色散補(bǔ)償鏡、第一凹面鏡、YbiGSO晶體、第二凹面鏡、第三凹面鏡、半導(dǎo)體可飽和吸收鏡、輸出鏡； 泵浦源，用于輸出976nm激光，泵浦Yb: GSO晶體以實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，并通過一個(gè)1: 0.8的耦合系統(tǒng)聚焦在Yb:GSO晶體上； Yb:GS0晶體，作為激光增益介質(zhì)，用于提供激光諧振腔腔內(nèi)的增益，晶體置于距離1:0.8的耦合系統(tǒng)前50mm; 色散補(bǔ)償鏡，用于補(bǔ)償腔內(nèi)正常色散，距離第二個(gè)凹面鏡237mm ； 第一凹面鏡，第二凹面鏡、第三凹面鏡，用于提高激光諧振腔腔內(nèi)晶體與SESAM位置的功率密度，第一個(gè)凹面鏡距離晶體36mm，第二個(gè)凹面鏡距離晶體40mm，第三個(gè)凹面鏡距離第一個(gè)凹面鏡310mm ； 半導(dǎo)體可飽和吸收鏡，用于啟動(dòng)并維持被動(dòng)鎖模運(yùn)轉(zhuǎn)距離第三個(gè)凹面鏡150mm ； 輸出鏡，用于輸出飛秒脈沖，距離色散補(bǔ)償鏡230mm。
2.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GSO激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，輸出鏡輸出的飛秒脈沖的脈沖寬度為72fs，最大平均功率為82mW，重復(fù)頻率為113.29MHz，中心波長為1050nm，光譜半高寬為17.8nm。
3.如權(quán)利要求1 所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，泵浦源為光纖I禹合輸出的LD半導(dǎo)體激光器,輸出波長為976nm,LD的光纖芯徑為IOOum,數(shù)值孔徑為0.22。
4.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，第一凹明鏡和第二凹面鏡的曲率半徑為75mm，第二凹面鏡安裝在可調(diào)節(jié)的光學(xué)平移臺(tái)上。
5.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，YbiGSO晶體被置于水冷銅塊上，水冷銅塊的表面溫度維持在10攝氏度。
6.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，Yb:GSO晶體的尺寸為3mm x3mm x3mm,摻雜濃度為5at.垂直于泵浦光放置。
7.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，第一凹面鏡面向泵浦源的一面鍍有對970-980nm增透的介質(zhì)膜，另一面同時(shí)鍍有對970-980nm增透的介質(zhì)膜和對1020_1100nm高反的介質(zhì)膜； 第二凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020-1100nm高反的介質(zhì)膜； 第三凹面鏡的曲率半徑為300mm ； 第三凹面鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020-1100nm高反的介質(zhì)膜。
8.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，半導(dǎo)體可飽和吸收鏡調(diào)制深度為0.4%，飽和通量為90J/cm2，弛豫時(shí)間小于500fs，中心波長為 1064nm。
9.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，色散補(bǔ)償鏡提供的反常色散值為_800fs2 ;輸出鏡朝向諧振腔內(nèi)的一面鍍有對1020-1100nm透過率為0.4%的介質(zhì)膜，另一面鍍有對1020-1100nm增透的介質(zhì)膜。
10.如權(quán)利要求1所述的基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器，其特征在于，該基于Yb:GS0激光晶體的亞百飛秒鎖模激光器的光路為:從泵浦源發(fā)出的976nm泵浦激光經(jīng)過第一凹面鏡后入射到Y(jié)b:GSO晶體上，振蕩產(chǎn)生的1.05um增益激光入射到第二凹面鏡，并被第二凹面鏡和第三凹面鏡依次反射，入射到半導(dǎo)體可飽和吸收鏡上，半導(dǎo)體可飽和吸收鏡將激光原路返回，到達(dá)第一凹面鏡，并被第一凹面鏡和色散補(bǔ)償鏡依次反射，最終入射到輸出鏡， 透過輸出鏡后輸出脈沖寬度為72fs的高光束質(zhì)量的鎖模激光脈沖。
【文檔編號(hào)】H01S3/08GK103986055SQ201410246658
【公開日】2014年8月13日 申請日期:2014年6月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月5日
【發(fā)明者】魏志義, 田文龍, 朱江峰, 王軍利, 彭英楠, 魏龍 申請人:西安電子科技大學(xué)