脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本申請(qǐng)的發(fā)明涉及一種脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置。本發(fā)明提供一種搬送方法及搬送裝置，將具有在縱向及橫向上整齊排列地形成的功能區(qū)域的基板斷開(kāi)，并分別將功能區(qū)域與其周?chē)倪吔遣牧系膮^(qū)域個(gè)別地安排搬送。利用第1搬送頭(13)，以頭部(30)吸附脆性材料基板(90)的中央部的功能區(qū)域并利用線(xiàn)性滑塊(12)沿著梁(11)的方向搬送。利用第2搬送頭(14)，以頭部(50)安排吸附周?chē)倪吔遣牧系膮^(qū)域并利用線(xiàn)性滑塊(12)沿著梁(11)的方向搬送。
【專(zhuān)利說(shuō)明】脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種搬送方法及搬送裝置，用于吸附并搬送半導(dǎo)體晶片等脆性材料基板、即具有在縱向及橫向上整齊排列而形成的多個(gè)功能區(qū)域(也稱(chēng)為元件區(qū)域)、且以每個(gè)功能區(qū)域?yàn)閱挝槐粩嚅_(kāi)的基板時(shí)。

【背景技術(shù)】
[0002]在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，提出了一種基板斷開(kāi)裝置，對(duì)于形成有劃線(xiàn)的基板，通過(guò)從形成有劃線(xiàn)的面的背面沿著劃線(xiàn)對(duì)面垂直地按壓而進(jìn)行斷開(kāi)。以下，表示利用此種斷開(kāi)裝置的斷開(kāi)的概要。在成為斷開(kāi)對(duì)象的半導(dǎo)體晶片，整齊排列地形成有多個(gè)功能區(qū)域。當(dāng)進(jìn)行分?jǐn)鄷r(shí)，首先，在基板上，在功能區(qū)域之間隔開(kāi)相等的間隔而在縱向及橫向上形成劃線(xiàn)。然后，利用斷開(kāi)裝置沿著該劃線(xiàn)進(jìn)行分?jǐn)?。圖1(a)表示載置于分?jǐn)嗲暗臄嚅_(kāi)裝置的基板的剖視圖。如本圖所示，在基板101上，在功能區(qū)域1laUOlb與其間形成有劃線(xiàn)S1、S2、S3…。當(dāng)進(jìn)行分?jǐn)鄷r(shí)，在基板101的背面貼附膠帶102，并在其正面貼附保護(hù)膜103。然后，在斷開(kāi)時(shí)，如圖1(b)所示，在承接刀105、106的正中間配置應(yīng)斷開(kāi)的劃線(xiàn)，在該情況下為配置劃線(xiàn)S2，使刀片104從該基板上部對(duì)準(zhǔn)劃線(xiàn)降下而按壓基板101。以此種方式，利用一對(duì)承接刀105、106與刀片104的三點(diǎn)彎曲而進(jìn)行斷開(kāi)。
[0003][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0004][專(zhuān)利文獻(xiàn)]
[0005][專(zhuān)利文獻(xiàn)I]日本專(zhuān)利特開(kāi)2004-39931號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006][發(fā)明所要解決的問(wèn)題]
[0007]在使用具有此種構(gòu)成的斷開(kāi)裝置，斷開(kāi)呈格子狀地形成有劃線(xiàn)的基板時(shí)，格子狀的功能區(qū)域與成為周?chē)倪吔遣牧系臒o(wú)用部分分離而殘留。在功能區(qū)域?yàn)長(zhǎng)ED(LightEmitting D1de，發(fā)光二極管)，且在其表面突出地形成有透鏡的情況下，無(wú)法進(jìn)行真空吸附，因此存在難以只安排搬送功能區(qū)域的問(wèn)題點(diǎn)。另外，有在存在周?chē)倪吔遣牧蠀^(qū)域的情況下難以將它們安排搬送的問(wèn)題點(diǎn)。
[0008]本發(fā)明是著眼于這類(lèi)問(wèn)題點(diǎn)而完成的，目的在于可將斷開(kāi)的功能區(qū)域的部分及周?chē)倪吔遣牧蠀^(qū)域分別以原本的狀態(tài)進(jìn)行搬送。
[0009][解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
[0010]為了解決該問(wèn)題，本發(fā)明的脆性材料基板的搬送方法搬送如下脆性材料基板，即，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域，且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送方法中，利用第I搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域，并利用第2搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的成為周邊的邊角材料的區(qū)域。
[0011]為了解決該問(wèn)題，本發(fā)明的脆性材料基板的搬送方法搬送如下脆性材料基板，即，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域，且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送方法中，利用第2搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的成為周邊的邊角材料的區(qū)域，并利用第I搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域。
[0012]另外，本發(fā)明的脆性材料基板的搬送裝置搬送如下脆性材料基板，S卩，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域，且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送裝置具備:
[0013]第I搬送頭，吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域；及
[0014]第2搬送頭，吸附并搬送所述脆性材料基板的成為周邊的邊角材料的區(qū)域。
[0015]這里，還可設(shè)為所述第I搬送頭具備:頭部；及滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且所述頭部具備:蓋板(lid plate);底板，與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面，具有以與所述脆性材料基板的功能區(qū)域?qū)?yīng)的方式排列并連通于所述空洞的開(kāi)口 ；及彈性片材，被貼附于所述底板的不與所述蓋板接觸的表面，且具有排列在與底板的開(kāi)口對(duì)應(yīng)的位置上的開(kāi)口。
[0016]這里，還可設(shè)為所述第2搬送頭具備:頭部；及滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且所述頭部具備:蓋板；底板，與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面外周，具有連通于所述空洞的開(kāi)口 ；板片推桿(pusher plate)，在利用所述蓋板與底板而形成的空洞內(nèi)被上下移動(dòng)自如地保持，且在周?chē)韵喈?dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距間隔呈環(huán)狀地立設(shè)有銷(xiāo)；及柱塞，連結(jié)于所述板片推桿，且以使所述板片推桿的銷(xiāo)成為在比所述底板的開(kāi)口突出的狀態(tài)與被收納的狀態(tài)之間上下移動(dòng)自如的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；且所述底板的開(kāi)口是以相當(dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距呈環(huán)狀地排列，當(dāng)利用所述第2搬送頭搬送脆性材料基板的周邊時(shí)，以提起所述板片推桿使其不從底板突出的狀態(tài)進(jìn)行吸附，在搬送后，拉下所述板片推桿，使推桿銷(xiāo)(pusherpin)突出而使邊角材料脫落。
[0017][發(fā)明的效果]
[0018]根據(jù)具有此種特征的本發(fā)明，通過(guò)使第I搬送頭的彈性片材抵接于沿著劃線(xiàn)被斷開(kāi)的基板而可只吸附功能區(qū)域。另外，通過(guò)使第2搬送頭抵接于被斷開(kāi)的基板而可只吸附周?chē)倪吔遣牧喜糠帧Ｒ虼?，獲得可利用第1、第2搬送頭分別安排搬送功能區(qū)域的部分及邊角材料部分的效果。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1(a)、(b)是表示目前的基板斷開(kāi)時(shí)的狀態(tài)的剖視圖。
[0020]圖2是表示實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)的整體構(gòu)成的立體圖。
[0021]圖3是表示實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)的前視圖。
[0022]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的第I搬送頭的立體圖。
[0023]圖5是本實(shí)施方式的第I搬送頭的前視圖。
[0024]圖6是切去本實(shí)施方式的第I搬送頭的一部分而表示的側(cè)視圖。
[0025]圖7是本實(shí)施方式的第I搬送頭的仰視圖。
[0026]圖8是表示本實(shí)施方式的第2搬送頭的頭部的立體圖。
[0027]圖9(a)、(b)是第2實(shí)施方式的頭部的前視圖及仰視圖。
[0028]圖10(a)、(b)是本實(shí)施方式的第2搬送頭的頭部的A-A線(xiàn)剖視圖及B-B線(xiàn)剖視圖。
[0029]圖11 (a)、(b)是本實(shí)施方式的板片推桿的前視圖及側(cè)視圖。
[0030]圖12(a)、(b)是表示利用本實(shí)施方式的第1、第2搬送頭而搬送的基板的一例的前視圖及部分剖視圖。
[0031]圖13(a)、(b)是表示利用本實(shí)施方式的第1、第2搬送頭而搬送的基板的功能區(qū)域及邊角材料部分的前視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0032]對(duì)作為本發(fā)明的實(shí)施方式的搬送方法進(jìn)行說(shuō)明。圖2是表示實(shí)現(xiàn)本實(shí)施方式的搬送機(jī)構(gòu)的整體構(gòu)成的立體圖，圖3是其前視圖。如這些圖所示，在底座10上，梁(beam) 11是利用未圖示的支柱而與底座10的上表面平行地被保持，在該梁11的側(cè)方設(shè)置有線(xiàn)性滑塊12。線(xiàn)性滑塊12具有第I搬送頭13、及第2搬送頭14。第I搬送頭13只抽吸并搬送下述基板的功能區(qū)域，第2搬送頭14只抽吸并搬送基板的周邊的邊角材料部分。線(xiàn)性滑塊12使第1、第2搬送頭13、14分別獨(dú)立地在梁的方向上自如地進(jìn)行動(dòng)作。第1、第2搬送頭13、14具有大致相同的構(gòu)成，且可使各自的頭部自如地進(jìn)行上下移動(dòng)。另外，在底座10的側(cè)方，設(shè)置有使無(wú)用的邊角材料落下的吹射機(jī)(shooter) 15。
[0033]接著，對(duì)用以抽吸基板的功能區(qū)域的第I搬送頭13進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示第I搬送頭13的立體圖，圖5是其前視圖，圖6是切去搬送頭的一部分而表示的側(cè)視圖，圖7是其仰視圖。
[0034]如圖4所示，關(guān)于搬送頭13，在大致正方形狀的水平方向的吊架底座21垂直地連接大致L字狀的吊架22。在吊架22的側(cè)方連接長(zhǎng)方形狀的吊架支架23，在吊架支架23還以重疊于其表面的方式安裝有長(zhǎng)方形狀的吊架支架24。在該吊架支架24設(shè)置有上下移動(dòng)自如的線(xiàn)性滑塊25。線(xiàn)性滑塊25可使空氣流分別從上方向與下方向這兩個(gè)方向流入，且通過(guò)切換該流入而上下移動(dòng)自如。而且，在線(xiàn)性滑塊25安裝有一對(duì)針閥(needle valve) 26a,26b?？赏ㄟ^(guò)調(diào)整這些針閥26a、26b而控制空氣的流入量，從而可設(shè)定向上方向的移動(dòng)速度與向下方向的移動(dòng)速度。這里，線(xiàn)性滑塊25與針閥26a、26b構(gòu)成保持頭部使其上下移動(dòng)自如的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0035]而且，在該滑塊25的下方設(shè)置有頭部30。接著，如圖4?6所示，在頭部30的下方，具有長(zhǎng)方形狀的底板31及與其大致相同形狀的蓋板32。底板31與蓋板32是在相對(duì)向的面的各自中央部分形成凹處，且各自之間為了保持氣密而隔著環(huán)狀的橡膠片材33被粘結(jié)。而且，利用各自的凹處與橡膠片材33而形成氣密的空隙34。如圖7的搬送頭13的仰視圖所示，在底板31，在對(duì)角線(xiàn)上的角的位置設(shè)置有導(dǎo)引用開(kāi)口 31a、31b。該開(kāi)口 31a、31b通過(guò)插入在基板上突出的銷(xiāo)，而可使該頭部30相對(duì)于基板準(zhǔn)確地定位。在底板31的下表面，以與被斷開(kāi)的基板的功能區(qū)域?qū)?yīng)的方式呈格子狀地設(shè)置有在xy方向上整齊排列的多個(gè)開(kāi)口。
[0036]在底板31的下表面，貼附有橡膠等彈性片材35。在彈性片材35，除4邊的外周部以外，以與被斷開(kāi)的基板的功能區(qū)域?qū)?yīng)的方式呈格子狀地設(shè)置有在xy方向上整齊排列的多個(gè)開(kāi)口 36。
[0037]而且，該彈性片材35的開(kāi)口 36是經(jīng)由設(shè)置在底板31的同一位置上的開(kāi)口而連結(jié)于氣密的空隙34。在蓋板32的上表面，在四個(gè)部位設(shè)置有管接頭37，且通向空隙34。該管接頭37經(jīng)由未圖示的管體連結(jié)于真空吸附裝置，通過(guò)驅(qū)動(dòng)真空吸附裝置而可從開(kāi)口 36噴出或抽吸空氣。
[0038]而且，在蓋板32的上方垂直地設(shè)置有四根臂38a?38d，經(jīng)由這些臂38a?38d而水平地安裝有上部板41。在上部板41的上表面，突出地保持有圖6所示的球柱塞42a、42b及未圖示的球柱塞42c、42d。球柱塞具有球體及設(shè)置在其下方的彈簧，在規(guī)定范圍內(nèi)保持球體使其上下移動(dòng)自如。球柱塞的各球體抵接于上部的側(cè)板43。側(cè)板43是利用保持其外周的框狀的罩板(cover plate)44而被保持。而且，構(gòu)成為即使在搬送頭13略微傾斜的情況下，由于球柱塞中的任一彈簧的收縮程度變化，因此也可彈性地調(diào)整搬送頭13的微小的角度變動(dòng)。上部板41與球柱塞42a?42d及罩板44構(gòu)成將頭部30連接于滑動(dòng)機(jī)構(gòu)的下部的彈性連結(jié)構(gòu)件。
[0039]接著，對(duì)只抽吸基板的邊角材料的第2搬送頭14進(jìn)行說(shuō)明。搬送頭14與搬送頭13大致相同，但下方的頭部的構(gòu)成不同，因此對(duì)該不同點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。圖8是表示搬送頭14的頭部50的立體圖，圖9 (a)是其前視圖，圖9 (b)是仰視圖。圖10 (a)是圖9 (a)的A-A線(xiàn)剖視圖，圖10(b)是B-B線(xiàn)剖視圖，圖11是表示板片推桿的前視圖及側(cè)視圖。如這些圖所示，該頭部50具有長(zhǎng)方形狀的底板51、及與其大致相同形狀的蓋板52。底板51與蓋板52在相對(duì)向面的中央部分形成有凹處，且各自之間為了保持氣密而隔著環(huán)狀的橡膠片材53被粘結(jié)。而且，利用各自的凹處與橡膠片材53而形成氣密的空隙54。如圖9(b)的搬送頭的仰視圖所示，在底板51，在對(duì)角線(xiàn)上的角的位置上設(shè)置有導(dǎo)引用開(kāi)口 51a、51b。該開(kāi)口 51a、51b通過(guò)插入在基板的外側(cè)的上表面突出的銷(xiāo)而使該頭部50相對(duì)于基板準(zhǔn)確地定位。
[0040]在底板51的下表面，沿著各邊的附近呈環(huán)狀地設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口。這些開(kāi)口全部連通且與由底板51與蓋板52之間的凹處形成的空隙54連結(jié)。在蓋板52的上表面設(shè)置有管接頭56，且通向空隙54。該管接頭56經(jīng)由未圖示的管體而連結(jié)有真空吸附裝置，通過(guò)驅(qū)動(dòng)真空吸附裝置而可從開(kāi)口 55噴出或抽吸來(lái)自外部的空氣。
[0041]而且，在該空隙54的內(nèi)部，設(shè)置有上下移動(dòng)自如的板片推桿61。如圖11中前視圖及側(cè)視圖所示，板片推桿61是對(duì)長(zhǎng)方形狀的平板實(shí)施有切薄加工，且在其邊緣附近以固定間隔相對(duì)于板片推桿61的面垂直地設(shè)置有多個(gè)推桿銷(xiāo)62。如圖所示，推桿銷(xiāo)62的長(zhǎng)度全部設(shè)為相同。
[0042]此外,在板片推桿61的中央部分連接有柱塞63,此外，經(jīng)由連接板(connect1nplate)64a、64b而在垂直方向上連接有柱塞65。板片推桿61通過(guò)驅(qū)動(dòng)柱塞65,而在底板51與蓋板52之間的空隙54內(nèi)上下移動(dòng)。
[0043]而且，如圖8的立體圖所示，在蓋板52的上表面，在周?chē)O(shè)置有四根臂71a?71d，在它們之間與底板51的背面垂直地設(shè)置有平板狀的支架72。而且，在該支架72安裝有氣缸73。此外，在該氣缸73設(shè)置有用以檢測(cè)連結(jié)于板片推桿61的柱塞64的上下移動(dòng)的位置傳感器74a、74b。
[0044]而且，如圖9(b)的搬送頭的仰視圖所示，在底板51的周?chē)鷱堎N有由環(huán)狀的橡膠等組成的彈性片材75，此外，在其內(nèi)部，在周?chē)遗c所述板片推桿61的銷(xiāo)62對(duì)應(yīng)的位置上呈環(huán)狀地設(shè)置有多個(gè)開(kāi)口 76。而且，構(gòu)成為當(dāng)拉下柱塞65時(shí)，成為推桿銷(xiāo)62的前端從開(kāi)口 76突出的狀態(tài)，當(dāng)提起柱塞65時(shí)，成為推桿銷(xiāo)62不從開(kāi)口 76突出而被收納在內(nèi)部的狀態(tài)。
[0045]在本發(fā)明的實(shí)施方式中，如圖12中前視圖及其部分剖視圖所示，成為斷開(kāi)的對(duì)象的基板90設(shè)為在制造步驟中沿著X軸與y軸以固定間距形成有多個(gè)功能區(qū)域91的基板。該功能區(qū)域91例如設(shè)為具有LED的功能的區(qū)域，且在各功能區(qū)域在各自的表面形成有用于LED的圓形的透鏡。然后，為了以各功能區(qū)域?yàn)閱挝贿M(jìn)行分?jǐn)嘁灾瞥蒐ED芯片，而利用劃線(xiàn)裝置，以使各功能區(qū)域位于中心的方式，且以相互正交的方式形成縱向的劃線(xiàn)Syl?Syn、與橫向的劃線(xiàn)Sxl?Sxn。因此這些劃線(xiàn)Sxl?Sxn、劃線(xiàn)Syl?Syn的間距與功能區(qū)域的X軸和y軸方向的間距成為相同。而且，在該基板90的劃線(xiàn)Sxl、Sxm、Syl、Syn的內(nèi)側(cè)，當(dāng)搬送基板時(shí)會(huì)填充硅樹(shù)脂，為了將該硅樹(shù)脂限制在形成有LED的功能區(qū)域的范圍內(nèi)，而在功能區(qū)域的外側(cè)的周?chē)纬捎新月動(dòng)诨?0的表面的線(xiàn)狀的突起92。
[0046]該基板90利用斷開(kāi)裝置沿著劃線(xiàn)而被斷開(kāi)。剛被斷開(kāi)后的基板90沿著劃線(xiàn)被分?jǐn)?，但并未分離。也就是說(shuō)，分?jǐn)嗟幕?0包含成為外周的邊角材料的無(wú)用部分、及除外周以外的格子狀的多個(gè)LED芯片的部分。
[0047]這里，底板31的開(kāi)口及彈性片材35的開(kāi)口 36構(gòu)成為具有比形成于功能區(qū)域的LED的透鏡的直徑略大的直徑，從而當(dāng)安排抽吸位于經(jīng)斷開(kāi)的基板10的功能區(qū)域的LED芯片時(shí)，使LED的透鏡不直接接觸彈性片材35。另外，底板51的開(kāi)口、推桿銷(xiāo)62及開(kāi)口 76的間距設(shè)為與基板90的劃線(xiàn)Sxl?Sxm、Syl?Syn的間距相同。
[0048]接著，當(dāng)搬送位于該基板90的功能區(qū)域的LED芯片時(shí)，將搬送頭13對(duì)準(zhǔn)地固定于經(jīng)斷開(kāi)的基板。這時(shí)，當(dāng)搬送頭13相對(duì)于基板90從上部下降時(shí)，可利用球柱塞來(lái)吸收微小的傾斜或位置偏差。這時(shí)，頭部30的最下部的彈性片材35的開(kāi)口 36與LED的透鏡部對(duì)應(yīng)。然后，通過(guò)從各開(kāi)口 36抽吸空氣而可只抽吸基板90的功能區(qū)域。然后，通過(guò)直接提起搬送頭13而可如圖13(a)所示般提起經(jīng)斷開(kāi)的基板的功能區(qū)域、即LED芯片群93。
[0049]然后，通過(guò)以該狀態(tài)使搬送頭整體在X軸方向或I軸方向上移動(dòng)而可將LED芯片群93搬送到所期望的位置。
[0050]接著，當(dāng)使用搬送頭14搬送已經(jīng)斷開(kāi)的基板中的周?chē)倪吔遣牧蠒r(shí)，首先，抽吸柱塞65而提起板片推桿61。位置傳感器44a檢測(cè)板片推桿向上方向的移動(dòng)。這時(shí),如圖12 (a)所示，設(shè)為不使推桿銷(xiāo)62從彈性片材75的開(kāi)口 76突出的狀態(tài)。然后，從各開(kāi)口 76抽吸空氣而將頭部50對(duì)準(zhǔn)地固定于經(jīng)斷開(kāi)的基板。然后，通過(guò)直接將頭提起而可如圖13(b)所示般安排提起經(jīng)斷開(kāi)的基板的周?chē)倪吔遣牧?4。
[0051]然后，使搬送頭14移動(dòng)到吹射機(jī)15后，利用真空吸附裝置而從開(kāi)口 76噴出空氣。由此卸除至少一個(gè)邊角材料，而由于空氣是從這里漏出，所以其他多個(gè)邊角材料保持附著的狀態(tài)。于是如圖10所示，下壓板片推桿51。這時(shí)，位置傳感器44b檢測(cè)板片推桿向下方向的移動(dòng)。這樣一來(lái)，可使銷(xiāo)62從開(kāi)口 76突出，由此可將附著于周?chē)倪吔遣牧先啃冻?br> [0052]此外，在該實(shí)施方式中，先利用搬送頭13只搬送基板的功能區(qū)域，接下來(lái)，利用搬送頭14搬送周?chē)倪吔遣牧?4，但也可先利用搬送頭14搬送周?chē)倪吔遣牧?4，然后，利用搬送頭13搬送基板的功能區(qū)域91。如果先搬送周?chē)倪吔遣牧?4后再搬送功能區(qū)域的LED芯片群93，那么由于圖11所示的線(xiàn)狀的突起92包含在邊角材料區(qū)域中，因此在搬送功能區(qū)域時(shí)不會(huì)發(fā)生第I搬送頭13的彈性片材35直接接觸線(xiàn)狀突起92的情況，而可利用空氣安排抽吸功能區(qū)域從而進(jìn)行吸附并搬送。
[0053]在該實(shí)施方式中，以利用搬送頭13安排搬送在上表面具有包含透鏡的功能區(qū)域的LED基板的LED芯片為例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不只適用于在表面具有透鏡的芯片，也可適用于具有并無(wú)特別突出的功能區(qū)域的芯片，另外，也可適用于安排搬送具有包含透鏡以外的突起物的功能區(qū)域的芯片的搬送頭。
[0054]另外，在該實(shí)施方式中，在頭部的上部與滑塊機(jī)構(gòu)之間設(shè)置有彈性連結(jié)機(jī)構(gòu)，但并非必須要設(shè)置彈性連結(jié)機(jī)構(gòu)。
[0055][工業(yè)利用可能性]
[0056]本發(fā)明可只吸附在斷開(kāi)脆性材料基板后呈格子狀地配置的功能區(qū)域并搬送到需要的位置，從而可有效地應(yīng)用于芯片群的搬送裝置。
[0057][符號(hào)的說(shuō)明]
[0058]10底座
[0059]11梁
[0060]12線(xiàn)性滑塊
[0061]13、14 搬送頭
[0062]15吹射機(jī)
[0063]30、50 頭部
[0064]31底板
[0065]32蓋板
[0066]33橡膠片材
[0067]34空隙
[0068]35彈性片材
[0069]36開(kāi)口
[0070]37管接頭
[0071]38a ?38d 臂
[0072]42支架
[0073]43氣缸
[0074]51底板
[0075]52蓋板
[0076]53橡膠片材
[0077]54空隙
[0078]55管接頭
[0079]61板片推桿
[0080]62推桿銷(xiāo)
[0081]63、65 柱塞
[0082]64a>64b 連接板
[0083]71a ?71d 臂
[0084]72支架
[0085]73氣缸
[0086]74a、74b光學(xué)傳感器
[0087]75彈性片材
[0088]76開(kāi)口
[0089]90基板
[0090]91功能區(qū)域
[0091]92線(xiàn)狀突起
【權(quán)利要求】
1.一種脆性材料基板的搬送方法，該搬送方法搬送如下脆性材料基板，即，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域，且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送方法中， 利用第I搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域， 利用第2搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的周邊的邊角材料的區(qū)域。
2.一種脆性材料基板的搬送方法，該搬送方法搬送如下脆性材料基板，即，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域，且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送方法中， 利用第2搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的周邊的邊角材料的區(qū)域， 利用第I搬送頭吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脆性材料基板的搬送方法，其中所述第I搬送頭具備: 頭部；及 滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且 所述頭部具備: 蓋板； 底板，與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面，具有以與所述脆性材料基板的功能區(qū)域?qū)?yīng)的方式排列并連通于所述空洞的開(kāi)口 ；及 彈性片材，被貼附于所述底板的不與所述蓋板接觸的表面，且具有排列在與底板的開(kāi)口對(duì)應(yīng)的位置上的開(kāi)口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的脆性材料基板的搬送方法，其中所述第2搬送頭具備: 頭部；及 滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且 所述頭部具備: 蓋板； 底板，與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面外周，具有連通于所述空洞的開(kāi)口； 板片推桿，在利用所述蓋板與底板而形成的空洞內(nèi)被上下移動(dòng)自如地保持，且在周?chē)韵喈?dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距間隔呈環(huán)狀地立設(shè)有銷(xiāo) '及 柱塞，連結(jié)于所述板片推桿，且以使所述板片推桿的銷(xiāo)成為在比所述底板的開(kāi)口突出的狀態(tài)與被收納的狀態(tài)之間上下移動(dòng)自如的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；且 所述底板的開(kāi)口是以相當(dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距呈環(huán)狀地排列， 當(dāng)利用所述第2搬送頭搬送脆性材料基板的周邊時(shí)，以提起所述板片推桿而使其不從底板突出的狀態(tài)進(jìn)行吸附，在搬送后拉下所述板片推桿，使推桿銷(xiāo)突出而使邊角材料脫落。
5.一種脆性材料基板的搬送裝置，該搬送裝置搬送如下脆性材料基板，即，在一個(gè)面具有在縱向及橫向上以規(guī)定間距形成的功能區(qū)域、且沿著以使功能區(qū)域位于中心的方式形成為格子狀的劃線(xiàn)被斷開(kāi)，該搬送裝置具備: 第I搬送頭，吸附并搬送所述脆性材料基板的形成為格子狀的功能區(qū)域；及 第2搬送頭，吸附并搬送所述脆性材料基板的周邊的邊角材料的區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的脆性材料基板的搬送裝置，其中所述第I搬送頭具備: 頭部；及 滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且 所述頭部具備: 蓋板； 底板，與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面，具有以與所述脆性材料基板的功能區(qū)域?qū)?yīng)的方式排列并連通于所述空洞的開(kāi)口 ；及 彈性片材，被貼附于所述底板的不與所述蓋板接觸的表面，且具有排列在與底板的開(kāi)口對(duì)應(yīng)的位置上的開(kāi)口。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的脆性材料基板的搬送裝置，其中所述第2搬送頭具備: 頭部；及 滑塊機(jī)構(gòu)，保持所述頭部使其上下移動(dòng)自如；且 所述頭部具備: 蓋板； 底板，在與所述蓋板之間形成氣密的空洞，且在不與所述蓋板接觸的表面外周，具有連通于所述空洞的開(kāi)口； 板片推桿，在利用所述蓋板與底板而形成的空洞內(nèi)被上下移動(dòng)自如地保持，且在周?chē)韵喈?dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距間隔呈環(huán)狀地立設(shè)有銷(xiāo) '及 柱塞，連結(jié)于所述板片推桿，且以使所述板片推桿的銷(xiāo)成為在比所述底板的開(kāi)口突出的狀態(tài)與被收納的狀態(tài)之間上下移動(dòng)自如的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；且 所述底板的開(kāi)口是以相當(dāng)于所述脆性材料基板的功能區(qū)域的間距的間距呈環(huán)狀地排列， 利用所述第2搬送頭搬送脆性材料基板的周邊時(shí)，以提起所述板片推桿而使其不從底板突出的狀態(tài)進(jìn)行吸附，在搬送后拉下所述板片推桿，使推桿銷(xiāo)突出而使邊角材料脫落。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK104249933SQ201410067109
【公開(kāi)日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年2月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月26日
【發(fā)明者】太田欣也, 黑田直洋, 巖坪佑磨, 礒嶌聰 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司