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脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置制造方法技術資料下載

技術編號:7042448

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本申請的發(fā)明涉及一種脆性材料基板的搬送方法及搬送裝置。本發(fā)明提供一種搬送方法及搬送裝置,將具有在縱向及橫向上整齊排列地形成的功能區(qū)域的基板斷開,并分別將功能區(qū)域與其周圍的邊角材料的區(qū)域個別地安排搬送。利用第1搬送頭(13),以頭部(30)吸附脆性材料基板(90)的中央部的功能區(qū)域并利用線性滑塊(12)沿著梁(11)的方向搬送。利用第2搬送頭(14),以頭部(50)安排吸附周圍的邊角材料的區(qū)域并利用線性滑塊(12)沿著梁(11)的方向搬送。專利說明脆性材料基...
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