基底裝載裝置制造方法
【專利摘要】基底裝載裝置包括框架部分、主支撐件和副支撐件，框架部分形成多個(gè)基底被裝載在其中的裝載空間，并具有基底被插入在其中的入口表面以及與入口表面相對(duì)的后表面，主支撐件從框架部分的后表面伸出，以支撐裝載后的基底的后側(cè)，副支撐件被安裝在框架部分的入口表面并從入口表面伸出，以支撐裝載后的基底的與后側(cè)相對(duì)的前側(cè)。
【專利說明】基底裝載裝置
[0001]優(yōu)先權(quán)要求
[0002]本申請(qǐng)基于35U.S.C.§ 119要求早前在2013年2月19日遞交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)局并分配了序列號(hào)10-2013-0017471的申請(qǐng)的所有權(quán)益，并參考該申請(qǐng)并將該申請(qǐng)合并于此。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及裝載多個(gè)基底的基底裝載裝置。
【背景技術(shù)】
[0004]作為平板顯示裝置的具體示例，有液晶顯示裝置(IXD)、等離子顯示面板裝置(PDP)、場(chǎng)致發(fā)光顯示裝置(FED)、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)等。這里，平板顯示裝置的每一種基本上具有平坦透明基底，這些平坦透明基底彼此面對(duì)并附著，并具有在它們之間的熒光和/或偏振材料層。
[0005]在制造平板顯示裝置的工藝中，包含大量的工藝，例如清潔工藝、附著工藝、切割工藝、在基底上沉積由預(yù)定材料制成的薄膜的沉積工藝、暴露薄膜的選定部分的光刻工藝、以及通過去除薄膜的暴露部分實(shí)現(xiàn)所需的薄膜圖案的蝕刻工藝。
[0006]同時(shí)，用于制造平板顯示裝置的基底可以被保持在例如盒子的基底裝載裝置中，以暫時(shí)保持、傳送或移動(dòng)到每個(gè)工藝。特別地，在基底被裝載的狀態(tài)下，基底裝載裝置可以被放置在例如硬化爐的熱加工裝置中。鑒于硬化的加工特性，由于要消耗大量的時(shí)間，基底裝載裝置必須被配置為同 時(shí)加工多個(gè)半導(dǎo)體基底，以便對(duì)生產(chǎn)線環(huán)境提供足夠的吞吐量。
[0007]然而，在基底被長(zhǎng)時(shí)間加熱的情況下，基底可能彎曲、翹曲和/或下垂。當(dāng)出現(xiàn)基底的這種彎曲、翹曲和下垂時(shí)，可能產(chǎn)生缺陷。
[0008]根據(jù)最近的基底薄和表面積增加的趨勢(shì)，基底的翹曲問題進(jìn)一步加劇，從而導(dǎo)致制造工藝中的生產(chǎn)率、產(chǎn)量和可靠性下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明的目的是提供一種通過當(dāng)基底長(zhǎng)時(shí)間經(jīng)受加熱時(shí)使基底的翹曲問題最小化來保證顯示器的制造工藝的可靠性、產(chǎn)量、吞吐量以及生產(chǎn)率的基底裝載裝置。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種基底裝載裝置，包括:框架部分，形成多個(gè)基底被裝載在其中的裝載空間，并具有多個(gè)基底被插入在其中的入口表面以及與入口表面相對(duì)的后表面；主支撐件，從框架部分的后表面伸出，以支撐裝載后的基底的后側(cè)；以及副支撐件，被安裝在框架部分的入口表面處并從入口表面伸出，以支撐裝載后的基底的與后側(cè)相對(duì)的前側(cè)。
[0011]主支撐件可以包括:主支撐桿，橫貫框架部分的后表面；和多個(gè)后導(dǎo)向件，以預(yù)定間隔布置在主支撐桿上，以便支撐裝載后的基底的下表面的后側(cè)?？蚣懿糠挚梢园ú贾迷谏喜刻幍纳峡蚣堋⒉贾迷谙虏刻幍南驴蚣?；和與上框架和下框架一起形成裝載空間的右側(cè)框架和左側(cè)框架?？蚣懿糠诌€可以包括多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件，多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件從右側(cè)框架和左側(cè)框架伸出，并沿著裝載后的基底的下表面的側(cè)部以預(yù)定的間隔布置。
[0012]副支撐件可以包括:副支撐桿，橫貫框架部分的入口表面；和多個(gè)前導(dǎo)向件，被布置在副支撐桿上并且彼此之間具有預(yù)定間隔，以支撐裝載后的基底的下表面的前側(cè)。副支撐件還可以包括被分別布置在副支撐桿的上部和下部處并安裝在框架部分上的上支持件和下支持件，框架部分還可以包括被分別提供在入口表面的上部和下部處以容納上支持件和下支持件并分別與上支持件和下支持件聯(lián)接的上聯(lián)接塊和下聯(lián)接塊。上支持件、下支持件和上聯(lián)接塊、下聯(lián)接塊可以具有可拆卸的結(jié)構(gòu)。上聯(lián)接塊可以包括沿豎向提升上支持件以調(diào)節(jié)多個(gè)前導(dǎo)向件的高度的提升裝置。提升裝置可以包括由螺釘聯(lián)接到上聯(lián)接塊以通過旋轉(zhuǎn)沿豎向提升上支持件的提升體。提升體可以包括:固定體，上支持件被插入地固定到固定體；和旋轉(zhuǎn)體，旋轉(zhuǎn)體的第一端可以獨(dú)立可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接到固定體。提升裝置還可以包括從旋轉(zhuǎn)體的與第一端相對(duì)的第二端彎曲以形成用戶手柄的操作桿。提升裝置還可以包括用于旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動(dòng)電機(jī)和用于控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器。下聯(lián)接塊可以包括沿豎向方向升為下支持件提供彈性的彈性構(gòu)件。
[0013]副支撐件可以包括彼此間隔開的第一副支撐件和第二副支撐件，第一副支撐件和第二副支撐件中的每一個(gè)包括:副支撐桿，橫貫框架部分的入口表面；和多個(gè)前導(dǎo)向件，被布置在副支撐桿上并且彼此之間具有預(yù)定間隔，以支撐裝載后的基底的下表面的前側(cè)，第一副支撐件的副支撐桿被布置在基底裝載裝置的中心線的與第二副支撐件的副支撐桿相對(duì)的一側(cè)上。第一副支撐件的副支撐桿可以被布置在基底裝載裝置的左半部分內(nèi)，第二副支撐件的副支撐桿可以被布置在基底裝載裝置的右半部分內(nèi)，第一副支撐件和第二副支撐件的中每一個(gè)還可以包括被分別布置在相應(yīng)副支撐桿的上部和下部處并被安裝在框架部分上的上支持件和下支持件。
[0014]框架部分可以包括從框架部分的入口表面伸出的多個(gè)前導(dǎo)向件、從框架部分的后表面伸出的多個(gè)后導(dǎo)向件、以及從框架部分的右表面和左表面伸出的多個(gè)右導(dǎo)向件和左導(dǎo)向件，前、后、右、左導(dǎo)向件中的每一個(gè)可以分別支撐裝載后的基底的前部、后部、右部和左部的下表面，以防止裝載后的基底在被加熱時(shí)下垂。左、右導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)導(dǎo)向件可被布置在同一水平上，支撐裝載后的基底中的同一個(gè)基底，并且左導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)左導(dǎo)向件朝右導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)右導(dǎo)向件的頂端延伸，而前、后導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)導(dǎo)向件可以被布置在同一水平上，支撐裝載后的基底中的同一個(gè)基底，并且前導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)前導(dǎo)向件朝后導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)后導(dǎo)向件的頂端延伸。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]通過參考下面結(jié)合附圖考慮時(shí)的詳細(xì)描述，對(duì)本發(fā)明的更完整的理解及本發(fā)明的許多伴隨的優(yōu)點(diǎn)將是顯而易見的，在附圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或相似的部件，附圖中:
[0016]圖1A是示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基底裝載裝置的示例的示意圖；
[0017]圖1B是圖1A的基底裝載裝置的主視圖，示出了其中具有裝載的基底的基底裝載裝置的正面；
[0018]圖1C是示出了圖1A的基底裝載裝置的另一個(gè)實(shí)施例的主視圖，其中包括了額外的副支撐件；[0019]圖2A至圖2C是描述用于安裝用于圖1A的布局結(jié)構(gòu)的副支撐件的方法的剖視圖；和
[0020]圖3是示意性地示出了提升裝置的示例的局部放大圖。
具體實(shí)施例
[0021]在下面的詳細(xì)描述中，僅簡(jiǎn)單地通過舉例說明的方式示出和描述了本發(fā)明的某些示例性實(shí)施例。如本領(lǐng)域技術(shù)人員將認(rèn)識(shí)到的那樣，所描述的實(shí)施例可以以各種不同的方式修改，所有這些都不脫離本發(fā)明的精神或范圍。因此，附圖和描述將被視為在本質(zhì)上是說明性的，而不是限制性的。此外，當(dāng)元件被稱為在另一元件“上”時(shí)，該元件可以直接在另一元件上，或間接地在另一元件上，它們之間插入有一個(gè)或多個(gè)中間元件。并且，當(dāng)元件被稱為“被連接到”另一元件時(shí)，它可以被直接連接到另一元件，或者被間接連接到另一元件，它們之間插入有一個(gè)或多個(gè)中間元件。在下文中，相同的附圖標(biāo)記指代相同的元件。
[0022]在下文中，將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。
[0023]現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖1A至圖1C,圖1A是示意性地示出了基底裝載裝置的示例的示意圖，圖1B是圖1A的基底被布置在其中的基底裝載裝置的主視圖，圖1C是示出了提供有多個(gè)副支撐件的另一個(gè)實(shí)施例的主視圖。在多個(gè)基底被裝載的狀態(tài)下，基底裝載裝置可以被傳送、保持或布置在基底加工裝置內(nèi)。圖1A中示出了方向坐標(biāo)軸，其中Z方向垂直于表面。
[0024]現(xiàn)在參考圖1A和圖1B，基底裝載裝置包括框架部分10，框架部分10形成其中裝載多個(gè)基底S的裝載空間并且具有基底S被插入在其中的入口表面FS以及與入口表面FS相對(duì)的后表面BS。基底裝載裝置還包括主支撐件20和副支撐件30，主支撐件20從框架部分10的后表面BS伸出，然后支撐被裝載的基底S的后側(cè)，副支撐件30被安裝在框架部分10的入口表面FS處，從入口表面FS伸出，并支撐被裝載的基底S的前側(cè)和相對(duì)側(cè)。
[0025]框架部分10具有其中至少一個(gè)表面(入口表面FS)被打開的盒形，并具有包括被裝載在其中的多個(gè)基底的裝載空間。除了入口表面FS之外的其它表面可被平板覆蓋，并且可以是具有打開的區(qū)域的框架結(jié)構(gòu)。
[0026]具體地說，框架部分10可以被配置為包括設(shè)置在上部的上框架11a、設(shè)置在下部的下框架Ilb以及與上框架Ila和下框架Ilb —起形成裝載空間的側(cè)框架11c。此外，框架部分10可進(jìn)一步包括從側(cè)框架Ilc伸出并沿基底S的側(cè)部以預(yù)定間隔設(shè)置的多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件13。這里，多個(gè)側(cè)框架Ilc具有桿狀，并且可以相對(duì)于入口表面FS被垂直(Z方向)布置到右側(cè)和左側(cè)。多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件13沿一個(gè)方向(X方向)水平伸出，并在每個(gè)側(cè)框架Ilc的內(nèi)表面處彼此接近，以支撐基底S的兩側(cè)。位于同一平面(XY平面)上的多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件13被定義為單層，基底S以每一層的形式被裝載?？蚣懿糠?0的形狀和基底S的裝載后的結(jié)構(gòu)不限于此，并可以具有各種經(jīng)修改的示例。
[0027]主支撐件20可以被配置為包括主支撐桿21和后表面導(dǎo)向件23，主支撐桿21沿豎向方向升(Z方向)橫貫框架部分10的后表面BS，后表面導(dǎo)向件23以預(yù)定間隔被設(shè)置在主支撐桿21上并支撐基底S的下表面的后部。更具體地說，主支撐桿21可以具有桿狀，并可以被垂直設(shè)置為橫貫后表面BS的中心部分。后表面導(dǎo)向件23從主支撐桿21的內(nèi)表面朝入口表面FS伸出，以支撐基底S的中心部分。主支撐桿21和后表面導(dǎo)向件23通過例如螺栓/螺母、接頭和/或夾具或螺紋和法蘭結(jié)構(gòu)的聯(lián)接構(gòu)件(未示出)而聯(lián)接，從而保證機(jī)械聯(lián)接強(qiáng)度。
[0028]副支撐件30可以被配置為包括副支撐桿31、前導(dǎo)向件33以及支持件35a和35b，副支撐桿31沿豎向方向升橫貫框架部分10的入口表面FS，前導(dǎo)向件33以預(yù)定間隔被設(shè)置在副支撐桿31上并支撐基底S的下表面的前部，支持件35a和35b各自被提供在副支撐桿31的上部和下部并安裝在框架部分10上。更具體地說，副支撐桿31可以具有桿狀，并且可以被垂直安裝為橫貫入口表面FS的中心部分。
[0029]前導(dǎo)向件33從副支撐桿31的內(nèi)表面伸出，并朝后表面BS延伸，以支撐基底S的中心部分。也就是，主支撐桿21和副支撐桿31被形成為彼此平行，基底被設(shè)置在它們之間。此外，后導(dǎo)向件23和前導(dǎo)向件33沿一個(gè)方向(Y方向)彼此面對(duì)地水平伸出，以支撐裝載后的基底S的中心部分。在這種情況下，后導(dǎo)向件23的長(zhǎng)度可以比前導(dǎo)向件33的長(zhǎng)度長(zhǎng)。副支撐桿31和前導(dǎo)向件33通過例如螺栓/螺母、接頭和/或夾具或螺紋的聯(lián)接構(gòu)件(未示出)以及這些聯(lián)接構(gòu)件之間法蘭結(jié)構(gòu)而聯(lián)接，從而保證機(jī)械聯(lián)接強(qiáng)度。
[0030]和前導(dǎo)向件33相似，支持件35a和35b從副支撐桿31伸出，但不像前導(dǎo)向件33，支持件35a和35b用于安裝到框架部分10。支持件可以被分為設(shè)置在副支撐桿31的上部的上支持件35a和設(shè)置在副支撐桿31的下部的下支持件35b?？蚣懿糠?0可以進(jìn)一步包括分別提供在入口表面FS的上部和下部的聯(lián)接塊15a和15b，支持件35a和35b在入口表面FS的上部和下部被分別插入到聯(lián)接塊15a和15b中。這里，支持件35a和35b以及聯(lián)接塊15a和15b具有可拆卸的結(jié)構(gòu)。
[0031]同時(shí)，參考圖1C，作為另一個(gè)示例性實(shí)施例，根據(jù)基底的尺寸和厚度，副支撐件30可包括多個(gè)副支撐件(例如，第一副支撐件)30a和(例如，第二副支撐件)30b，以增加承載能力和基底的范圍。雖然未示出，主支撐件20也可以包括多個(gè)主支撐桿。在一個(gè)實(shí)施例中，副支撐件30a和30b彼此間隔開，并且它們中的每一個(gè)包括:副支撐桿，橫貫框架部分10的入口表面FS ;和多個(gè)前導(dǎo)向件，被布置在副支撐桿上并且彼此之間具有預(yù)定間隔，以支撐裝載后的基底的下表面的前側(cè)，副支撐件30a的副支撐桿被布置在基底裝載裝置的中心線的與副支撐件30b的副支撐桿相對(duì)的一側(cè)上。在一個(gè)實(shí)施例中，副支撐件30a的副支撐桿被布置在基底裝載裝置的左半部分內(nèi)，副支撐件30b的副支撐桿被布置在基底裝載裝置的右半部分內(nèi)，其中副支撐件30a和30b中的每一個(gè)進(jìn)一步包括被分別布置在副支撐桿的上部和下部處并被安裝在框架部分10上的上支持件和下支持件。
[0032]現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖2A至圖3，圖2A至圖2C是描述用于安裝副支撐件的方法的剖視圖，圖3是示意性地示出了提升裝置的示例的局部放大圖。對(duì)和前述相同的項(xiàng)目的描述將被簡(jiǎn)化。
[0033]參考圖2A至圖2C，首先，多個(gè)基底S被裝載到框架部分10的裝載空間中。例如，基底的裝載操作可以由例如機(jī)械臂的用于裝載/卸載基底的裝置(未示出)執(zhí)行。裝載后的基底S的側(cè)部由從側(cè)框架Ilc伸出的側(cè)導(dǎo)向件13支撐，后表面BS和裝載后的基底S的中心部分由從主支撐桿21伸出的后導(dǎo)向件23支撐。
[0034]然而，在這種狀態(tài)下，由于沒有支撐框架部分10的入口表面FS的結(jié)構(gòu)，基底的翹曲可能會(huì)發(fā)生。特別地，在其中每個(gè)基底S具有大尺寸或者可以在厚度上較薄的情況下，基底的翹曲可能是顯著的，并導(dǎo)致缺陷。因此，本發(fā)明包括安裝在基底裝載裝置的入口表面FS處的至少一個(gè)副支撐件30和提升副支撐件30的提升裝置。因此，通過更穩(wěn)定地支撐基底S并最小化基底的翹曲問題，可以保證基底裝載裝置在加工中的可靠性。
[0035]更具體地說，副支撐件30的支持件35a和35b被分別插入和聯(lián)接到聯(lián)接塊15a和15b。在這種情況下，為了防止基底S的低垂，前導(dǎo)向件33應(yīng)當(dāng)被安裝為以預(yù)定間隔和基底S的下表面間隔開。也就是，前導(dǎo)向件33和后導(dǎo)向件23被設(shè)置成彼此交替。
[0036]支持件35a和35b和聯(lián)接塊15a和15b由例如螺紋或法蘭結(jié)構(gòu)的聯(lián)接構(gòu)件(未示出)聯(lián)接在一起，從而保證了機(jī)械聯(lián)接強(qiáng)度。此外，聯(lián)接結(jié)構(gòu)必須具有可拆卸的結(jié)構(gòu)。
[0037]然后，副支撐件30可以使用提升裝置具有預(yù)定間隔地沿豎向方向升(Z方向)移動(dòng)。也就是，副支撐件30被抬起，以使前導(dǎo)向件33和后導(dǎo)向件23彼此在同一個(gè)水平。
[0038]在預(yù)定的加工完成后，在將基底S從基底裝載裝置取出的情況下，相反的過程發(fā)生。首先，副支撐件30沿豎向方向升被降下，然后從殼體釋放、拆卸和分離副支撐件30，最后由機(jī)器臂等從裝載裝置取出基底。
[0039]現(xiàn)在參考圖3，聯(lián)接塊15a和15b中的至少一個(gè)，例如上聯(lián)接塊15a，可以包括提升裝置LF，以通過沿豎向提升上支持件35a來調(diào)節(jié)前導(dǎo)向件33的高度。提升裝置LF可被配置為包括提升體17，提升體17由螺釘聯(lián)接技術(shù)被聯(lián)接到上聯(lián)接塊15a，以通過旋轉(zhuǎn)沿豎向提升上支持件35a。提升體包括上支持件35a被插入并固定在其上的固定體17a、一端被獨(dú)立地和可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接到固定體17a的旋轉(zhuǎn)體17b以及從旋轉(zhuǎn)體17b的另一端彎曲以形成用戶手柄的操作桿17c。
[0040]更具體地說，固定體17a具有上支持件35a被插入并被布置在其中的打開的聯(lián)接孔CH，并且被機(jī)械聯(lián)接到旋轉(zhuǎn)體17b。然而，由于提供在固定體17a和旋轉(zhuǎn)體17b之間的墊圈18，固定部17a并不根隨旋轉(zhuǎn)體17b而旋轉(zhuǎn)。
[0041]旋轉(zhuǎn)體17b具有螺紋形狀，并貫通和被插入到上聯(lián)接塊15a的一個(gè)表面，該螺紋形狀具有被成在其外圓周表面的螺紋。固定體17a被布置在旋轉(zhuǎn)體17b的下端，操作桿17c被布置在旋轉(zhuǎn)體17b的頂端。
[0042]在用戶旋轉(zhuǎn)操作桿17c的情況下，旋轉(zhuǎn)體17b沿螺紋旋轉(zhuǎn)，并和操作桿17c的旋轉(zhuǎn)一起垂直移動(dòng)，使得聯(lián)接到固定體17a的副支撐件30垂直移動(dòng)。在另一個(gè)示例性實(shí)施例中，提升裝置可包括旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)體17b的驅(qū)動(dòng)電機(jī)(未示出)和控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器(未示出)，從而可以提供精確和自動(dòng)的提升功能。
[0043]同時(shí)，由于狹窄空間，聯(lián)接塊15a和15b中的另一個(gè)，例如下聯(lián)接塊15b，可以包括相對(duì)于聯(lián)接后的下支持件35b沿豎向方向升(Z方向)提供彈性的彈性構(gòu)件(未示出)，而不是具有單獨(dú)的提升裝置。
[0044]如上所述，使用本發(fā)明的示例性實(shí)施例，基底裝載裝置在入口表面安裝單獨(dú)的基底支撐件，并包括提升入口基底支撐件的提升裝置，由此通過穩(wěn)定地支撐基底并最小化翹曲問題保證了工藝的可靠性。
[0045]盡管已經(jīng)結(jié)合某些示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明并不限于所公開的實(shí)施例，而是相反，意在覆蓋包括在所附權(quán)利要求及其等同方案的精神和范圍內(nèi)的各種修改和等同布置。
【權(quán)利要求】
1.一種基底裝載裝置，包括: 框架部分，形成多個(gè)基底被裝載在其中的裝載空間，并具有所述多個(gè)基底被插入在其中的入口表面以及與所述入口表面相對(duì)的后表面； 主支撐件，從所述框架部分的所述后表面伸出，以支撐裝載后的基底的后側(cè)；和副支撐件，被安裝在所述框架部分的所述入口表面處并從所述入口表面伸出，以支撐裝載后的基底的與所述后側(cè)相對(duì)的前側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底裝載裝置，所述副支撐件包括: 副支撐桿，橫貫所述框架部分的所述入口表面；和 多個(gè)前導(dǎo)向件，被布置在所述副支撐桿上并且彼此之間具有預(yù)定間隔，以支撐裝載后的基底的下表面的前側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基底裝載裝置，其中所述副支撐件進(jìn)一步包括被分別布置在所述副支撐桿的上部和下部處并安裝在所述框架部分上的上支持件和下支持件，所述框架部分進(jìn)一步包括分別提供在所述入口表面的上部和下部處以容納所述上支持件和所述下支持件并分別與所述上支持件和所述下支持件聯(lián)接的上聯(lián)接塊和下聯(lián)接塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基底裝載裝置，其中所述上支持件、下支持件和所述上聯(lián)接塊、下聯(lián)接塊具有可拆卸的結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基底裝載裝置，其中所述上聯(lián)接塊包括沿豎向提升所述上支持件以調(diào)節(jié)所述多個(gè)前 導(dǎo)向件的高度的提升裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基底裝載裝置，其中所述提升裝置包括由螺釘聯(lián)接到所述上聯(lián)接塊以通過旋轉(zhuǎn)沿豎向提升所述上支持件的提升體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基底裝載裝置，其中所述提升體包括: 固定體，所述上支持件被插入地固定到所述固定體；和 旋轉(zhuǎn)體，所述旋轉(zhuǎn)體的第一端獨(dú)立可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接到所述固定體。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基底裝載裝置，其中所述提升裝置進(jìn)一步包括從所述旋轉(zhuǎn)體的與所述第一端相對(duì)的第二端彎曲以形成用戶手柄的操作桿。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基底裝載裝置，其中所述提升裝置進(jìn)一步包括: 用于旋轉(zhuǎn)所述旋轉(zhuǎn)體的驅(qū)動(dòng)電機(jī)；和 用于控制所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制器。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基底裝載裝置，其中所述下聯(lián)接塊包括沿豎向方向升為所述下支持件提供彈性的彈性構(gòu)件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底裝載裝置，其中所述主支撐件包括: 主支撐桿，橫貫所述框架部分的所述后表面；和 多個(gè)后導(dǎo)向件，以預(yù)定間隔布置在所述主支撐桿上，以便支撐裝載后的基底的下表面的后側(cè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底裝載裝置，其中所述框架部分包括: 布置在上部處的上框架； 布置在下部處的下框架；和 與所述上框架和下框架一起形成所述裝載空間的右側(cè)框架和左側(cè)框架。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基底裝載裝置，其中所述框架部分進(jìn)一步包括多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件，所述多個(gè)側(cè)導(dǎo)向件從所述右側(cè)框架和左側(cè)框架伸出，并沿著裝載后的基底的下表面的側(cè)部以預(yù)定的間隔布置。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底裝載裝置，其中所述副支撐件包括彼此間隔開的第一副支撐件和第二副支撐件，所述第一副支撐件和第二副支撐件中的每一個(gè)包括: 副支撐桿，橫貫所述框架部分的所述入口表面；和 多個(gè)前導(dǎo)向件，被布置在所述副支撐桿上并且彼此之間具有預(yù)定間隔，以支撐裝載后的基底的下表面的前側(cè)，所述第一副支撐件的副支撐桿被布置在所述基底裝載裝置的中心線的與所述第二副支撐件的副支撐桿相對(duì)的一側(cè)上。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基底裝載裝置，所述第一副支撐件的副支撐桿被布置在所述基底裝載裝置的左半部分內(nèi)，所述第二副支撐件的副支撐桿被布置在所述基底裝載裝置的右半部分內(nèi)，其中所述第一副支撐件和第二副支撐件中的每一個(gè)進(jìn)一步包括被分別布置在相應(yīng)副支撐桿的上部和下部處并被安裝在所述框架部分上的上支持件和下支持件。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基底裝載裝置，所述框架部分包括: 從所述框架部分的所述入口表面伸出的多個(gè)前導(dǎo)向件； 從所述框架部分的所述后表面伸出的多個(gè)后導(dǎo)向件；和 從所述框架部分的右表面和左表面伸出的多個(gè)右導(dǎo)向件和左導(dǎo)向件，所述前、后、右、左導(dǎo)向件中的每一個(gè)分別支撐裝載后的基底的前部、后部、右部和左部的下表面，以防止裝載后的基底在被加熱 時(shí)下垂。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的基底裝載裝置，其中所述左、右導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)導(dǎo)向件被布置在同一水平上，支撐裝載后的基底的同一個(gè)基底，并且所述左導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)左導(dǎo)向件朝所述右導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)右導(dǎo)向件的頂端延伸，所述前、后導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)導(dǎo)向件被布置在同一水平上，支撐裝載后的基底中的同一個(gè)基底，并且所述前導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)前導(dǎo)向件朝所述后導(dǎo)向件中的對(duì)應(yīng)后導(dǎo)向件的頂端延伸。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103996638SQ201410050919
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年2月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月19日
【發(fā)明者】韓京熙 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司