一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公布了一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于：所述匯流擋板的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽，所述匯流槽的出口分布于所述匯流擋板的兩端。本實(shí)用新型的匯流擋板設(shè)有三角形斜面和匯流槽，有利于對(duì)液滴進(jìn)行導(dǎo)流，有效解決了濕法刻蝕槽冷凝酸性液滴掉到硅片表面的風(fēng)險(xiǎn)；采用本實(shí)用新型所述方法得到的擋板，可直接用于現(xiàn)在裝置上，而無需改變現(xiàn)有裝置的結(jié)構(gòu)，使用和維護(hù)都很方便。
【專利說明】一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板。
【背景技術(shù)】
[0002]在多晶硅太陽能電池電池制造工藝中，需要使用濕法刻蝕裝置(機(jī)臺(tái))來實(shí)現(xiàn)絕緣化。濕法刻蝕溶液為氫氟酸和硝酸低溫混合液，因此，在長時(shí)間生產(chǎn)過程中刻蝕槽內(nèi)部不可避免地產(chǎn)生強(qiáng)酸性液滴，特別是出刻蝕槽位置的擋板，作為擋氣和隔離前后槽的作用，成為酸滴凝結(jié)重點(diǎn)區(qū)，長時(shí)間生產(chǎn)后擋板上布滿了酸性液滴，凝結(jié)到一定程度會(huì)直接滴落到硅片表面造成表面PN結(jié)腐蝕，產(chǎn)生嚴(yán)重的不良后果。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]實(shí)用新型目的:本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)目前現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提出一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板。
[0004]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案:
[0005]一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽，所述匯流槽的出口分布于所述匯流擋板的兩端。在濕法刻蝕時(shí)，刻蝕的硅片是水平前進(jìn)的，相對(duì)于硅片而言，匯流擋板則是豎直安裝，安裝時(shí)匯流擋板的兩端固定于刻蝕裝置的槽體上，下沿與硅片留有一定距離，以便硅片通過，而匯流擋板的作用是作為相鄰槽實(shí)現(xiàn)氣氛的隔離。
[0006]所述匯流槽中心處高并逐漸向兩端下傾。濕法刻蝕的硅片分布于相鄰匯流槽之間，相鄰?fù)ǖ赖膮R流槽末端間距小于相鄰?fù)ǖ赖墓杵g距，同一通道的匯流槽末端跨度大于硅片寬度與相鄰?fù)ǖ赖膮R流槽末端間距的總和。
[0007]所述匯流槽的上沿坡度為5-30度，下沿仰角為5-30度。
[0008]所述三角形擋板的斜面仰角為15-75度。
[0009]所述匯流擋板表面光滑。匯流擋板采用激光進(jìn)行切割，表面光滑粗糙度極小，便于液滴的匯滴。液滴通過光滑斜面和匯流槽，凝聚在斜面兩端，進(jìn)而滴落在硅片兩側(cè)。
[0010]所述匯流擋板的材質(zhì)為PVDF。PVDF板材具有強(qiáng)度高，耐酸堿，使用壽命長的優(yōu)點(diǎn)。
[0011]本實(shí)用新型適用于多晶硅太陽能電池濕法刻蝕，不論哪個(gè)廠家的濕法刻蝕設(shè)備，均可以安裝本例所述的擋板，安裝使用和拆卸維護(hù)都很方便，具有普遍意義。
[0012]有益效果:采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0013]本實(shí)用新型所述的匯流擋板，與現(xiàn)有常規(guī)擋板相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0014]( I)本實(shí)用新型的匯流擋板設(shè)有三角形斜面和匯流槽，有利于對(duì)液滴進(jìn)行導(dǎo)流，有效解決了濕法刻蝕槽冷凝酸性液滴掉到硅片表面的風(fēng)險(xiǎn)；
[0015](2)采用本實(shí)用新型所述方法得到的擋板，可直接用于現(xiàn)在裝置上，而無需改變現(xiàn)有裝置的結(jié)構(gòu)，使用和維護(hù)都很方便。[0016](3)本實(shí)用新型所述的擋板，采用PVDF板材加工而成，強(qiáng)度高，耐酸堿，使用壽命長的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型使用時(shí)的正面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型的截面圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型的截面圖的局部放大示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步闡述。
[0021]圖1為本實(shí)用新型使用時(shí)的正面結(jié)構(gòu)示意圖，其中I是匯流擋板，2是匯流槽，3是需要濕法刻蝕的硅片，ΘI是三角形斜面仰視角；
[0022]圖2為本實(shí)用新型的截面圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型的截面圖的局部放大示意圖，其中Θ 2是匯流槽上沿坡度，Θ 3是匯流槽下沿坡度。
[0024]實(shí)施例1:
[0025]一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板I的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，三角形的斜面的仰角Θ I為15度，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板I相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板I的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽2，所述匯流槽2中心處高并逐漸向兩端下傾，其出口分布于所述匯流擋板I的兩端，所述匯流槽的上沿坡度Θ 2為5度，下沿仰角Θ 3為5度，所述匯流擋板I采用激光進(jìn)行切割，表面光滑。
[0026]實(shí)施例2:
[0027]一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板I的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，三角形的斜面的仰角Θ I為40度，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板I相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板I的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽2，所述匯流槽2中心處高并逐漸向兩端下傾，其出口分布于所述匯流擋板I的兩端，所述匯流槽的上沿坡度Θ 2為20度，下沿仰角Θ 3為20度，所述匯流擋板I采用激光進(jìn)行切害1J，表面光滑。
[0028]實(shí)施例3:
[0029]一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板I的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，三角形的斜面的仰角Θ I為75度，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板I相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板I的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽2，所述匯流槽2中心處高并逐漸向兩端下傾，其出口分布于所述匯流擋板I的兩端，所述匯流槽的上沿坡度Θ 2為30度，下沿仰角Θ 3為30度，所述匯流擋板I采用激光進(jìn)行切害1J，表面光滑。
[0030]本實(shí)用新型適用于多晶硅太陽能電池濕法刻蝕的濕法刻蝕設(shè)備，使用時(shí)將其安裝到濕法刻蝕設(shè)備中的擋板位置，所需要濕法刻蝕的硅片3放置于本實(shí)用新型的相鄰匯流槽2之間，同時(shí)，相鄰?fù)ǖ赖膮R流槽2末端間距小于相鄰?fù)ǖ赖墓杵g距，同一通道的匯流槽2末端跨度大于硅片3寬度與相鄰?fù)ǖ赖膮R流槽2末端間距的總和，并且刻蝕的硅片3是水平前進(jìn)的，相對(duì)于硅片3而言，匯流擋板I則是豎直安裝，安裝時(shí)匯流擋板I的兩端固定于刻蝕裝置的槽體上，下沿與硅片3留有一定距離，以便硅片3通過，而匯流擋板I的作用是作為相鄰槽實(shí)現(xiàn)氣氛的隔離。
[0031]以上所述是本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，對(duì)本實(shí)用新型的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板(I)的底部為開口三角形結(jié)構(gòu)，所述三角形結(jié)構(gòu)的數(shù)量與所述匯流擋板(I)相配套的濕法刻蝕裝置的濕法機(jī)臺(tái)的通道數(shù)量一致，所述匯流擋板(I)的內(nèi)外兩均設(shè)有匯流槽(2)，所述匯流槽(2)的出口分布于所述匯流擋板的兩端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流槽(2)中心處高并逐漸向兩端下傾。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流槽(2)的上沿坡度為5-30度，下沿仰角為5-30度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述三角形擋板的斜面仰角為15-75度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板(1)表面光滑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于濕法刻蝕裝置的匯流擋板，其特征在于:所述匯流擋板(!)的材質(zhì)為PVDF。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203674240SQ201320761023
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月28日
【發(fā)明者】龐瑞卿, 展士飛, 葉超, 桑和偉, 郭夢龍, 王海超 申請人:合肥海潤光伏科技有限公司