一種石墨框的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種石墨框,包括石墨框本體,石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板,構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格;所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)有碳纖維加強(qiáng)板;所述碳纖維加強(qiáng)板的厚度和石墨框本體的厚度相同;碳纖維加強(qiáng)板通過連接件與所述石墨框本體固定連接。本實(shí)用新型將現(xiàn)有的石墨固定板更換成碳纖維加強(qiáng)板,由于碳纖維加強(qiáng)板的厚度與石墨框本體的厚度相同,因而在安裝之后,碳纖維加強(qiáng)板與石墨框本體位于同一平面,既起到了支撐的作用,同時(shí)也避免了現(xiàn)有技術(shù)中的石墨固定板對(duì)鍍膜氣流均勻性的影響而導(dǎo)致的發(fā)紅發(fā)白現(xiàn)象,保證了電池片鍍膜的品質(zhì)。
【專利說明】一種石墨框
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種石墨框,可以應(yīng)用于太陽能電池生產(chǎn)過程中的PECVD設(shè)備,屬于太陽能領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡,在所有的可持續(xù)能源中,太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。因此,太陽能電池組件得到了世界各國(guó)的廣泛關(guān)注和開發(fā)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中,在太陽能電池的制備過程中,一般需要對(duì)硅片發(fā)射結(jié)面進(jìn)行鍍減反射膜的步驟。目前,氮化硅薄膜作為晶體硅太陽能電池的光學(xué)減反射膜,同時(shí)也起到表面鈍化和體內(nèi)鈍化的作用,以提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0004]目前,制備氮化硅薄膜一般采用的是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法,如可以采用德國(guó)R0TH&RAU公司的PECVD設(shè)備。在采用PECVD設(shè)備制備氮化硅薄膜的過程中,需要使用一種承載硅片的石墨框。
[0005]現(xiàn)有的石墨框參見附圖f 4所示,包括石墨框本體,石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板2,構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格I ;考慮到硅片裝載時(shí)的方便,其網(wǎng)格的尺寸要比要承載的硅片尺寸略大一些;例如,以目前通用的156型(156X 156mm)硅片而言,網(wǎng)格通常為158X 158mm的直孔,同時(shí)在網(wǎng)格的四邊上均勻分布有多個(gè)掛鉤3,用來承載硅片,以防止硅片掉下去。工作時(shí),硅片水平放置在石墨框網(wǎng)格中,對(duì)硅片的下表面進(jìn)行鍍膜。為了進(jìn)一步增加產(chǎn)量,降低太陽能電池的成本,將原有的每個(gè)石墨框的承載量由25片改為30片(如圖1、2所示)。然而,上述結(jié)構(gòu)的石墨框的上下兩側(cè)邊緣就很窄,也較軟,在使用過程中容易發(fā)生變形。
[0006]針對(duì)上述問題,現(xiàn)有的方法是在石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)置石墨固定板4,如采用石墨纖維板,一般長(zhǎng)度900 mm,寬度15?20 mm之間,如圖3、4所示,石墨框的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊7,石墨固定板上設(shè)有與凸塊配合的卡槽8,兩者卡固連接。
[0007]然而,實(shí)際應(yīng)用發(fā)現(xiàn),上述石墨固定板(石墨纖維板)存在如下問題:(I)石墨固定板在使用過程中不能提高鍍膜速度,如果鍍膜速度變快,卡槽下面的石墨纖維板對(duì)氣流的均勻性影響很大,會(huì)使該石墨纖維板邊緣的電池片發(fā)紅,硅片色差嚴(yán)重;(2)由于石墨框經(jīng)常需要進(jìn)行清洗操作,而和石墨框配合連接的石墨固定板在清洗過程中極易損壞,需要更換,增加了成本。又由于石墨框本身成本很貴,如果更換其它設(shè)計(jì)的新石墨框,成本費(fèi)用更高。因此,開發(fā)一種低成本、且適合工業(yè)化應(yīng)用的承載硅片鍍膜的石墨框,具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]本實(shí)用新型目的是提供一種石墨框。
[0009]為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種石墨框,包括石墨框本體,石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板,構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格;所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)有碳纖維加強(qiáng)板;所述碳纖維加強(qiáng)板的厚度和石墨框本體的厚度相同;碳纖維加強(qiáng)板通過連接件與所述石墨框本體固定連接。
[0010]上述技術(shù)方案中,所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊,所述碳纖維加強(qiáng)板上設(shè)有與凸塊配合的卡口。
[0011]上述技術(shù)方案中,所述碳纖維加強(qiáng)板的兩端設(shè)有螺孔,石墨框本體上距離所述螺孔相鄰的地方也設(shè)有第二螺孔,相鄰的螺孔和第二螺孔通過上、下夾片和螺栓實(shí)現(xiàn)固定連接。
[0012]上、下夾片的大小優(yōu)選相同。
[0013]優(yōu)選的,所述下夾片為碳纖維片。
[0014]優(yōu)選的,所述上夾片為碳纖維片或不銹鋼片。
[0015]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點(diǎn)是:
[0016]1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)得到了一種新的石墨框結(jié)構(gòu),將現(xiàn)有的石墨固定板更換成碳纖維加強(qiáng)板,由于碳纖維加強(qiáng)板的厚度與石墨框本體的厚度相同,因而在安裝之后,碳纖維加強(qiáng)板與石墨框本體位于同一平面,既起到了支撐的作用,同時(shí)也避免了現(xiàn)有技術(shù)中的石墨固定板對(duì)鍍膜氣流均勻性的影響而導(dǎo)致的發(fā)紅發(fā)白現(xiàn)象,保證了電池片鍍膜的品質(zhì)。
[0017]2、本實(shí)用新型將碳纖維加強(qiáng)板與石墨框本體固定在一起,兩者之間的結(jié)合度較好,在清洗過程中可以避免碳纖維加強(qiáng)板的損壞,節(jié)約了成本。
[0018]3、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于制備,且具有良好的可操作性、實(shí)用性,適于推廣應(yīng)用。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]圖1是【背景技術(shù)】中的石墨框的俯視圖;
[0020]圖2是【背景技術(shù)】中的石墨框的主視圖;
[0021]圖3是【背景技術(shù)】中石墨固定板的主視圖;
[0022]圖4是【背景技術(shù)】中石墨固定板和石墨框的組裝不意圖;
[0023]圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例一中碳纖維加強(qiáng)板的主視圖;
[0024]圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例一中上夾片的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0025]圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例一中石墨固定板和碳纖維加強(qiáng)板的組裝示意圖;
[0026]圖8是圖7的A部放大圖。
[0027]其中:1、石墨框網(wǎng)格;2、承載板;3、掛鉤;4、石墨固定板;5、碳纖維加強(qiáng)板;6、卡口 ;7、凸塊;8、卡槽;9、螺孔;10、第二螺孔。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0029]實(shí)施例一
[0030]參見圖51所示,一種石墨框,包括石墨框本體,石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板,構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格;所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)有碳纖維加強(qiáng)板5 ;所述碳纖維加強(qiáng)板的厚度和石墨框本體的厚度相同;碳纖維加強(qiáng)板通過連接件與所述石墨框本體固定連接。
[0031]所述石墨框的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊,所述碳纖維加強(qiáng)板上設(shè)有與凸塊配合的卡口 6。
[0032]所述碳纖維加強(qiáng)板的兩端設(shè)有螺孔9,石墨框本體上距離所述螺孔相鄰的地方也設(shè)有第二螺孔10,相鄰的螺孔和第二螺孔通過上、下夾片和螺栓實(shí)現(xiàn)固定連接。
[0033]所述下夾片為碳纖維片。所述上夾片為不銹鋼片。碳纖維片與不銹鋼片的尺寸對(duì)應(yīng)一致,長(zhǎng)度為40mm,寬度15mm。
[0034]所述碳纖維加強(qiáng)板的長(zhǎng)度為910mm,寬度為50mm。碳纖維加強(qiáng)板的左右兩端各設(shè)有I個(gè)直徑為5_的螺孔;其通過碳纖維片、不銹鋼片和螺絲將石墨框本體和碳纖維加強(qiáng)板
固定在一起。
【權(quán)利要求】
1.一種石墨框,包括石墨框本體,石墨框本體內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)條橫豎交錯(cuò)的承載板,構(gòu)成復(fù)數(shù)個(gè)石墨框網(wǎng)格;其特征在于:所述石墨框本體的上下兩側(cè)邊緣處設(shè)有碳纖維加強(qiáng)板(5);所述碳纖維加強(qiáng)板的厚度和石墨框本體的厚度相同;碳纖維加強(qiáng)板通過連接件與所述石墨框本體固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框,其特征在于:所述石墨框本體的上下兩側(cè)邊緣處具有凸塊,所述碳纖維加強(qiáng)板上設(shè)有與凸塊配合的卡口(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨框,其特征在于:所述碳纖維加強(qiáng)板的兩端設(shè)有螺孔(9),石墨框本體上距離所述螺孔相鄰的地方也設(shè)有第二螺孔(10),相鄰的螺孔和第二螺孔通過上、下夾片和螺栓實(shí)現(xiàn)固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨框,其特征在于:所述下夾片為碳纖維片。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨框,其特征在于:所述上夾片為碳纖維片或不銹鋼片。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203593784SQ201320758895
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2013年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月26日
【發(fā)明者】張春華, 李棟, 高文麗, 孟祥熙 申請(qǐng)人:蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司