照射uv機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種照射UV機(jī)構(gòu)，包括整擋光板、UV照明燈組、遮光罩以及傳輸機(jī)構(gòu)；所述擋光板上的開口大小可調(diào)；所述UV照明燈組透過所述擋光板照射至所述被照射物上；所述傳輸機(jī)構(gòu)上設(shè)置被照射物，并帶動(dòng)所述被照射物運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)所述被照射物的運(yùn)動(dòng)速度；通過調(diào)節(jié)所述擋光板上的開口的大小配合所述傳輸機(jī)構(gòu)的傳輸速度，來調(diào)整所述被照射物的切割膜的粘性。本實(shí)用新型可以減少這些工序，特別是涂布工序，經(jīng)過一次涂布工序就能生產(chǎn)出多種不同粘著力的晶圓切割和研磨用膜產(chǎn)品。
【專利說明】照射UV機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體晶圓處理技術(shù)，尤其涉及一種晶圓切割、研磨等保護(hù)用膜的生產(chǎn)機(jī)械設(shè)備中的照射UV機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的晶圓切割和研磨用膜主要分為非UV型和UV型，其生產(chǎn)工藝都是采用調(diào)整配方的變化，通過涂布工序、分切工序、檢測包裝工序來完成客戶對不同粘著力的要求，這樣就需要每一種粘著力的產(chǎn)品都需要經(jīng)過涂布工序、分切工序、檢測包裝工序等三個(gè)主要工序，其中涂布工序是最容易出問題最耗時(shí)的一道工序。
[0003]另外，調(diào)整配方需要很多步驟來驗(yàn)證，這些步驟也需要經(jīng)過涂布、分切等工序，非常浪費(fèi)時(shí)間。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是:為了解決上述問題，提供一種照射UV機(jī)構(gòu)，來減少這些工序，特別是涂布工序，通過調(diào)節(jié)UV照射量，經(jīng)過一次涂布工序就能生產(chǎn)出多種不同粘著力的晶圓切割和研磨用膜產(chǎn)品。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0006]—種照射UV機(jī)構(gòu),包括擋光板、UV照明燈組、遮光罩以及傳輸機(jī)構(gòu)；所述擋光板上的開口大小可調(diào)；所述傳輸機(jī)構(gòu)上設(shè)置被照射物，并帶動(dòng)所述被照射物運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)所述被照射物的運(yùn)動(dòng)速度；所述UV照明燈組透過所述擋光板照射至所述被照射物上；通過調(diào)節(jié)所述擋光板上的開口的大小配合所述傳輸機(jī)構(gòu)的傳輸速度，來調(diào)整所述被照射物的切割膜的粘性。
[0007]進(jìn)一步的，所述UV照明燈組的照明強(qiáng)度可以調(diào)節(jié)。
[0008]進(jìn)一步的，所述傳輸機(jī)構(gòu)由多個(gè)滾輪組成。
[0009]本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的積極效果是:
[0010]本實(shí)用新型用于膜的分切過程中，經(jīng)過涂布工藝生產(chǎn)出來的原始膜母料通過調(diào)節(jié)本實(shí)用新型中的UV照明燈組的功率，增大或者是減小UV照射量的多少來調(diào)整晶圓切割或者研磨用膜的粘著力；并通過調(diào)節(jié)擋光板的開口大小來配合分切的速度；通過這些參數(shù)的相互配合，可以確定下來所需要粘著力大小的晶圓切割和研磨用膜產(chǎn)品，相比目前通過調(diào)節(jié)產(chǎn)品配方需要生產(chǎn)幾種不同粘性的保護(hù)膜就需要調(diào)整幾次配方，幾次涂布工序的傳統(tǒng)保護(hù)膜生產(chǎn)工藝，增加本實(shí)用新型照射UV機(jī)械機(jī)構(gòu)，一次涂布工序就可以生產(chǎn)出多種不同粘性的晶圓切割和研磨用膜，減少了涂布工序次數(shù)，生產(chǎn)效率高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型照射UV機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是本實(shí)用新型的應(yīng)用一一晶圓切割和研磨用膜的加工的工藝流程圖?！揪唧w實(shí)施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的實(shí)施例。
[0014]請參見圖1所示，一種照射UV機(jī)構(gòu)，包括擋光板1、UV照明燈組2、遮光罩3以及傳輸機(jī)構(gòu)4 ;所述擋光板I上的開口大小可調(diào)；所述UV照明燈組2透過所述擋光板I照射至所述被照射物上；所述傳輸機(jī)構(gòu)4上設(shè)置被照射物，并帶動(dòng)所述被照射物運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)所述被照射物的運(yùn)動(dòng)速度；通過調(diào)節(jié)擋光板I上的開口的大小配合傳輸機(jī)構(gòu)4的傳輸速度，來調(diào)整切割膜的粘性。
[0015]優(yōu)選的，所述UV照明燈組2的照明強(qiáng)度可以調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)UV照明燈組2的照明強(qiáng)度來調(diào)整切割膜的粘性。
[0016]優(yōu)選的，所述傳輸機(jī)構(gòu)4由多個(gè)滾輪5組成。
[0017]選取晶圓切割膜B-363產(chǎn)品配方膠水，0.09mm厚度的PE膜基材，0.05mm厚度的單面硅離型PET膜復(fù)合，用精密涂布機(jī)涂布，速度35m\min，涂布干膠厚度為0.0lmm,經(jīng)過熟成后制成母卷產(chǎn)品A，經(jīng)過分切制成300mm寬度的晶圓切割膜，按照國標(biāo)GB/T2792-81測試產(chǎn)品A的180°粘著力為5.4N\in。
[0018]將上述母卷產(chǎn)品A設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)4上，由傳輸機(jī)構(gòu)4帶動(dòng)進(jìn)行分割工序，并同時(shí)用UV照明燈組2進(jìn)行UV照射。
[0019]請參見圖2，晶圓切割和研磨用膜的加工工藝，包括以下步驟:
[0020]步驟I，涂布工序；
[0021]步驟2，分切工序；
[0022]步驟3，檢測工序；
[0023]其中在步驟2進(jìn)行的過程中，分切的同時(shí)利用本實(shí)用新型進(jìn)行預(yù)照射UV處理，通過調(diào)整照射UV量的多少來調(diào)整切割膜的粘性。
[0024]在所述步驟2進(jìn)行的過程中，通過調(diào)整分切的速度來調(diào)整切割膜的粘性。
[0025]實(shí)施例1:對上述母卷產(chǎn)品A在分切的同時(shí)照射UV’分切速度為10m\min，照射量為50mj\cm2制成產(chǎn)品B，按照國標(biāo)GB/T2792-81測試產(chǎn)品B的180。粘著力為4.lN\in。
[0026]實(shí)施例2:對上述母卷產(chǎn)品A在分切的同時(shí)照射UV’分切速度為10m\min，照射量為75mj\cm2制成產(chǎn)品C，按照國標(biāo)GB/T2792-81測試產(chǎn)品C的180。粘著力為2.2N\in。相比于實(shí)施例1，實(shí)施例2增強(qiáng)了照射UV的量，產(chǎn)品的粘著力下降。
[0027]實(shí)施例3:對上述母卷產(chǎn)品A在分切的同時(shí)照射UV，分切速度為5m\min，照射量為75mj\cm2制成產(chǎn)品E，按照國標(biāo)GB/T2792-81測試產(chǎn)品E的180。粘著力為1.3N\in。相比于實(shí)施例2，實(shí)施例3的分切速度下降，產(chǎn)品的粘著力下降。
[0028]實(shí)施例4:對上述母卷產(chǎn)品A在分切的同時(shí)照射UV，分切速度為17m\min，照射量為20mj\cm2制成產(chǎn)品D，按照國標(biāo)GB/T2792-81測試產(chǎn)品D的180。粘著力為6.7N\in。相比于實(shí)施例3，減弱了照射UV的量、提高了分切速度，產(chǎn)品的粘著力大大增強(qiáng)。
[0029]如果按照傳統(tǒng)的保護(hù)膜生產(chǎn)工藝來生產(chǎn)晶圓切割和研磨用膜，以上五個(gè)產(chǎn)品需要五個(gè)不同的產(chǎn)品配方和五次涂布工序才能完成，按照本發(fā)明的生產(chǎn)工藝只需要一個(gè)產(chǎn)品配方和一次涂布工藝就可以完成，效率明顯提高。
[0030]其中照射UV設(shè)備的功率、照射距離、分切時(shí)傳輸機(jī)構(gòu)的速度等因素對產(chǎn)品的粘性影響較大，通過這些參數(shù)的相互配合，可以確定下來所需要粘著力大小的晶圓切割和研磨用膜產(chǎn)品。
[0031]綜上所述，本實(shí)用新型可以減少這些工序，特別是涂布工序，經(jīng)過一次涂布工序就能生產(chǎn)出多種不同粘著力的晶圓切割和研磨用膜產(chǎn)品。
【權(quán)利要求】
1.一種照射UV機(jī)構(gòu)，其特征在于:包括擋光板(I )、UV照明燈組(2)、遮光罩(3)以及傳輸機(jī)構(gòu)(4);所述擋光板(I)上的開口大小可調(diào)；所述UV照明燈組(2)透過所述擋光板(I)照射至所述被照射物上；所述傳輸機(jī)構(gòu)(4)上設(shè)置被照射物，并帶動(dòng)所述被照射物運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)所述被照射物的運(yùn)動(dòng)速度；通過調(diào)節(jié)所述擋光板(I)上的開口的大小配合所述傳輸機(jī)構(gòu)(4)的傳輸速度，來調(diào)整所述被照射物的切割膜的粘性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照射UV機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述UV照明燈組(2)的照明強(qiáng)度可以調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照射UV機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述傳輸機(jī)構(gòu)(4)由多個(gè)滾輪(5)組成。
【文檔編號(hào)】H01L21/304GK203707103SQ201320713976
【公開日】2014年7月9日 申請日期:2013年11月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月13日
【發(fā)明者】崔慶瓏 申請人:崔慶瓏