一種換熱器均流裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種換熱器均流裝置，包括換熱器、回風(fēng)盒、回風(fēng)盒下側(cè)設(shè)有出風(fēng)口，所述換熱器與回風(fēng)盒之間設(shè)有均流板，所述均流板劃分至少兩個(gè)不同的區(qū)域，所述均流板各區(qū)域設(shè)有若干個(gè)供氣流通過的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。本發(fā)明提供的一種換熱器均流裝置，改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性，使流通換熱器的氣流均流，提高換熱器的使用效率，具有占用空間小、均流效果好、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單和具有可調(diào)性等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】一種換熱器均流裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備換熱領(lǐng)域，具體地說，涉及一種均流裝置，更具體涉及一種換熱器均流裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體立式爐設(shè)備是集成電路裝備的一種，是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件的重要設(shè)備，可用于集成電路制造工藝過程中的氧化、退火、化學(xué)氣相淀積等工藝。由于硅片的制造對(duì)外界環(huán)境要求極高，尤其是隨著集成電路制造工藝的更新?lián)Q代，對(duì)立式爐設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境的要求越來越高，溫度和流場(chǎng)就是立式爐設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境的兩個(gè)重要技術(shù)參數(shù)。
[0003]目前的集成電路發(fā)展工藝下，要求立式爐設(shè)備內(nèi)部微環(huán)境的溫度低于70°C，并能保持水平均勻的流場(chǎng)。但在目前的主流工藝要求下，立式爐設(shè)備的硅片出舟溫度達(dá)到了650°C，造成立式爐設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部的溫度過高，對(duì)微環(huán)境形成了極大降溫壓力。這就要求微環(huán)境的熱交換裝置具備較大的熱交換功率，由于微環(huán)境內(nèi)部空間有限，不能選擇結(jié)構(gòu)太大的換熱器，因此在一定的熱交換功率下，提高換熱器的使用效率成為了滿足設(shè)備設(shè)計(jì)要求的重要途徑。
[0004]現(xiàn)有的均流裝置主要原理是在換熱器前設(shè)計(jì)分流風(fēng)道，使流場(chǎng)均勻的分布在換熱進(jìn)風(fēng)面，但其占用空間大，由于立式爐設(shè)備的特殊性，其換熱器前側(cè)不能設(shè)計(jì)分流風(fēng)道結(jié)構(gòu)，同時(shí)立式爐設(shè)備微環(huán)境空間緊湊的特點(diǎn)也限制了分流風(fēng)道結(jié)構(gòu)的使用。因此現(xiàn)有的大多數(shù)立式爐設(shè)備在換熱器裝置中沒有通過分流風(fēng)道結(jié)構(gòu)來提高換熱器使用效率，現(xiàn)有解決問題的方法是通過設(shè)計(jì)一些簡(jiǎn)單導(dǎo)流片來提高換熱器，但其均流效果較差。
[0005]因此，在半導(dǎo)體設(shè)備本身的有限的空間內(nèi)，提高半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境中流場(chǎng)均勻性成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種換熱器均流裝置，用于改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性。
[0007]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題而采用的技術(shù)方案是提供一種換熱器均流裝置，包括換熱器、回風(fēng)盒、回風(fēng)盒下側(cè)設(shè)有出風(fēng)口，所述換熱器與回風(fēng)盒之間設(shè)有均流板，所述均流板劃分至少兩個(gè)不同的區(qū)域，所述均流板各區(qū)域設(shè)有若干個(gè)供氣流通過的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。
[0008]優(yōu)選的，所述均流板上設(shè)有可改變通孔大小的調(diào)節(jié)裝置。
[0009]優(yōu)選的，所述的調(diào)節(jié)裝置包括在換熱器和均流板之間設(shè)有調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)有通孔，所述調(diào)節(jié)板上的通孔與均流板上的通孔大小及位置相應(yīng)，所述調(diào)節(jié)板與均流板通過調(diào)節(jié)鎖固定連接，所述調(diào)節(jié)鎖通過控制調(diào)節(jié)板的位置方向改變均流板的通孔大小。
[0010]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)板相對(duì)于均流板左右移動(dòng)。
[0011]優(yōu)選的，所述的調(diào)節(jié)鎖包括各區(qū)域均流板的上端設(shè)有條形孔，調(diào)節(jié)板上設(shè)有與均流板大小及位置相應(yīng)的條形孔，均流板和調(diào)節(jié)板通過條形孔中的螺栓螺母固定連接在一起。
[0012]優(yōu)選的，所述的均流板通過設(shè)置條狀隔離板劃分不同的區(qū)域。
[0013]優(yōu)選的，所述各區(qū)域的均流板為可拆卸的。
[0014]優(yōu)選的，所述通孔為長圓孔、圓形孔、橢圓形孔、方形孔。
[0015]優(yōu)選的，所述區(qū)域內(nèi)的通孔尺寸相同且均勻分布。
[0016]優(yōu)選的，所述的均流板的材料為不銹鋼。
[0017]本發(fā)明的一種換熱器均流裝置調(diào)節(jié)各區(qū)域通孔的風(fēng)阻和流通截面，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部風(fēng)壓平衡，使流通換熱器的氣流均流，改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性，提高換熱器的使用效率；通過均流板與換熱器之間設(shè)有可改變通孔大小的調(diào)節(jié)裝置，改變通孔的大小來調(diào)節(jié)風(fēng)阻和流通截面，進(jìn)而改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性，具有占用空間小、均流效果好、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單和具有可調(diào)性等特點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0019]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中均流板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中換熱器均流裝置結(jié)構(gòu)原理圖；
[0021]圖3為本發(fā)明實(shí)施例中換熱器均流裝置結(jié)構(gòu)裝配圖；
[0022]圖4為本發(fā)明實(shí)施例中換熱器均流裝置主視圖；
[0023]圖5為本發(fā)明實(shí)施例中均流板局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖6為本發(fā)明實(shí)施例中調(diào)節(jié)后的均流板局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖中標(biāo)號(hào)說明如下:
[0026]1、換熱器；2、均流板；3、通孔；4、調(diào)節(jié)板；5、調(diào)節(jié)鎖；6、隔離
[0027]板；7、回風(fēng)盒；8、出風(fēng)口。
【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合圖1至圖6對(duì)本發(fā)明中的一種換熱器均流裝置作進(jìn)一步的說明:
[0029]半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部的流體一般為氮?dú)饣蚩諝?，如圖2所示，換熱器I的左側(cè)為進(jìn)風(fēng)側(cè)，換熱器I的右側(cè)為出風(fēng)側(cè)，當(dāng)換熱器I沒有均流裝置時(shí)，由于出風(fēng)口 8位于回風(fēng)盒7下側(cè)，回風(fēng)盒7內(nèi)部風(fēng)道的風(fēng)壓不同，導(dǎo)致流體從換熱器I下側(cè)通過的流量遠(yuǎn)大于從換熱器I上側(cè)通過的流量，降低了換熱器的使用效率。
[0030]如圖1至圖4所示，本發(fā)明提供的一種換熱器均流裝置，包括換熱器1、回風(fēng)盒7、回風(fēng)盒7下側(cè)設(shè)有出風(fēng)口 8，所述換熱器I與回風(fēng)盒7之間設(shè)有均流板2，所述均流板2劃分至少兩個(gè)不同的區(qū)域，所述均流板2各區(qū)域設(shè)有若干個(gè)供氣流通過的通孔3，所述通孔3大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。
[0031]如圖2所示，流體經(jīng)過換熱器I出風(fēng)側(cè)的均流板2，流體進(jìn)入回風(fēng)盒7，最后通過出回風(fēng)盒7下端的出風(fēng)口 8流出。通過在均流板2各區(qū)域的通孔3大小和/或分布密度自上而下逐漸減小，從而調(diào)節(jié)每個(gè)區(qū)域的風(fēng)阻和流通截面，在風(fēng)壓大的區(qū)域設(shè)計(jì)較大的阻力和較小的流通截面，在風(fēng)壓小的區(qū)域設(shè)計(jì)較小的阻力和較大的流通截面，當(dāng)流體通過截面時(shí)由于受到不同的阻力，就會(huì)使半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部風(fēng)壓趨于平衡，從而使流通換熱器的氣流均流，提高換熱器的使用效率。
[0032]如圖3、圖5所示，進(jìn)一步的，在所述均流板2上設(shè)有可改變通孔3大小的調(diào)節(jié)裝置，所述的調(diào)節(jié)裝置包括在換熱器I和均流板2之間設(shè)有調(diào)節(jié)板4，所述調(diào)節(jié)板4上設(shè)有通孔，所述調(diào)節(jié)板4上的通孔與均流板2上的通孔3大小及位置相應(yīng)，所述調(diào)節(jié)板4與均流板2通過調(diào)節(jié)鎖5固定連接，所述調(diào)節(jié)鎖5通過控制調(diào)節(jié)板4的位置方向改變均流板2的通孔3大小。所述的調(diào)節(jié)板4的通孔與均流板2的通孔3也可大小不一致但位置相應(yīng)。
[0033]如圖5、圖6所示，所述的調(diào)節(jié)鎖5包括各區(qū)域均流板2的上端設(shè)有條形孔，調(diào)節(jié)板4上設(shè)有與均流板2大小及位置相應(yīng)的條形孔，均流板2和調(diào)節(jié)板4通過條形孔中的螺栓螺母固定連接在一起。所述的條形孔可以水平設(shè)置，也可垂直設(shè)置，當(dāng)水平設(shè)置時(shí)，調(diào)節(jié)板4相對(duì)于均流板2左右方向移動(dòng)，當(dāng)條形孔垂直設(shè)置時(shí)，調(diào)節(jié)板4相對(duì)于均流板2上下方向移動(dòng)。
[0034]請(qǐng)參考圖6，圖6為換熱器均流裝置經(jīng)調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)后的結(jié)構(gòu)示意圖，通過控制調(diào)節(jié)鎖5，將所述的調(diào)節(jié)板4相對(duì)于均流板2上下或左右方向移動(dòng)后，實(shí)現(xiàn)改變均流板2的通孔3大小。優(yōu)選的，所述的調(diào)節(jié)板4相對(duì)于均流板2左右移動(dòng)。進(jìn)一步通過改變均流板2某一區(qū)域或幾個(gè)區(qū)域內(nèi)的通孔3的風(fēng)阻和流通截面，從而達(dá)到進(jìn)一步平衡流體風(fēng)壓的目的。
[0035]為了進(jìn)一步提高本發(fā)明，均流板2通過設(shè)置條狀隔離板6劃分不同的區(qū)域，均流板2的通孔3為長圓孔、圓形孔、橢圓形孔或方形孔，進(jìn)一步的，所述的均流板2為不銹鋼或塑料材料制成，所述各區(qū)域的均流板2為可拆卸的。
[0036]本發(fā)明提供的優(yōu)選實(shí)施例中，請(qǐng)參照?qǐng)D1，均流板2通過設(shè)置條狀隔離板6劃分4個(gè)不同的區(qū)域，均流板2的通孔3優(yōu)選為長圓孔，均流板2各區(qū)域內(nèi)的通孔3的尺寸可以預(yù)設(shè)不同也可以預(yù)設(shè)相同，可以均勻分布或不均勻分布，優(yōu)選為尺寸相同且均勻分布，所述的均流板2為不銹鋼材料制成。
[0037]本發(fā)明的一種換熱器均流裝置調(diào)節(jié)各區(qū)域通孔的風(fēng)阻和流通截面，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部風(fēng)壓平衡，使流通換熱器的氣流均流，改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性，提高換熱器的使用效率；通過均流板與換熱器之間設(shè)有可改變通孔大小的調(diào)節(jié)裝置，改變通孔的大小來調(diào)節(jié)風(fēng)阻和流通截面，進(jìn)而改善半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境內(nèi)部流場(chǎng)的均勻性，具有占用空間小、均流效果好、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單和具有可調(diào)性等優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)。
[0038]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種換熱器均流裝置，包括換熱器、回風(fēng)盒、回風(fēng)盒下側(cè)設(shè)有出風(fēng)口，其特征在于，所述換熱器與回風(fēng)盒之間設(shè)有均流板，所述均流板劃分至少兩個(gè)不同的區(qū)域，所述均流板各區(qū)域設(shè)有若干個(gè)供氣流通過的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述均流板上設(shè)有可改變通孔大小的調(diào)節(jié)裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述的調(diào)節(jié)裝置包括在換熱器和均流板之間設(shè)有調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板上設(shè)有通孔，所述調(diào)節(jié)板上的通孔與均流板上的通孔大小及位置相應(yīng)，所述調(diào)節(jié)板與均流板通過調(diào)節(jié)鎖固定連接，所述調(diào)節(jié)鎖通過控制調(diào)節(jié)板的位置方向改變均流板的通孔大小。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)板相對(duì)于均流板左右移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述的調(diào)節(jié)鎖包括各區(qū)域均流板的上端設(shè)有條形孔，調(diào)節(jié)板上設(shè)有與均流板大小及位置相應(yīng)的條形孔，均流板和調(diào)節(jié)板通過條形孔中的螺栓螺母固定連接在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述的均流板通過設(shè)置條狀隔離板劃分不同的區(qū)域。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述各區(qū)域的均流板為可拆卸的。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述通孔為長圓孔、圓形孔、橢圓形孔、方形孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述區(qū)域內(nèi)的通孔尺寸相同且均勻分布。
10.根據(jù)權(quán)利要求1?10任一所述的換熱器均流裝置，其特征在于，所述均流板的材料為不銹鋼。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK103697746SQ201310753180
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月31日
【發(fā)明者】宋新豐, 王麗榮 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司