基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)及基板處理裝置的控制方法
【專利摘要】能夠恰當執(zhí)行伴隨基板處理的管理的基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)及基板處理裝置的控制方法。設置能夠選取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量消耗量少的待機狀態(tài)的多個功能部（200、300、400、500），還設有裝置控制部（50），其在運轉(zhuǎn)狀態(tài)和待機狀態(tài)之間控制各功能部的狀態(tài)，在執(zhí)行規(guī)定有對基板的處理步驟的配方時，使承擔按照配方的承擔處理的功能部取運轉(zhuǎn)狀態(tài)來執(zhí)行承擔處理。若接收到以后預定執(zhí)行的預定配方即預定執(zhí)行配方，則裝置控制部從多個功能部確定能夠承擔按照預定執(zhí)行配方的承擔處理的功能部，求出使確定的功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源消耗量。
【專利說明】基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)及基板處理裝置的控制方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及利用對基板執(zhí)行各自承擔的承擔處理的多個功能部來對基板執(zhí)行處理的技術，特別是涉及在能夠執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(工作狀態(tài))和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)之間控制功能部的狀態(tài)的技術。
【背景技術】
[0002]在日本特開2007-242864號公報上，記載了具備進行基板的處理的處理室和調(diào)整處理室內(nèi)部狀態(tài)的多個單元的基板處理裝置。另外，這些單元能夠取能夠?qū)鍒?zhí)行處理的通常模式和比通常模式抑制能量消耗的節(jié)能模式。因此，在不對基板進行處理的期間將單元恰當?shù)卦O定為節(jié)能模式，另一方面在對基板進行處理時使單元恢復為通常模式，從而能夠抑制能量的不必要消耗。另外，在該基板處理裝置中，在數(shù)據(jù)庫中預先存儲有用于使各單元從節(jié)能模式向通常模式恢復所需的恢復時間。而且，預計存儲于數(shù)據(jù)庫的恢復時間而開始各單元的恢復。由此，能夠優(yōu)化調(diào)整處理室內(nèi)部狀態(tài)的時機。
[0003]這樣，基板處理裝置在運轉(zhuǎn)狀態(tài)(通常模式)和待機狀態(tài)(節(jié)能模式)之間控制對基板執(zhí)行處理的功能部，在這種基板處理裝置中，確切地知道使功能部恢復到運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間等的資源消耗量，對于恰當?shù)剡M行伴隨基板處理的管理非常重要。但是，一般來說，基板處理裝置中，各功能部按照規(guī)定的配方(recipe)執(zhí)行處理步驟從而執(zhí)行基板處理。因此，因?qū)⒁獔?zhí)行的配方的內(nèi)容不同而導致功能部的使用狀態(tài)不同，為了恢復而消耗的資源量也不同。另一方面，在專利文獻I的控制中，不能說能夠充分確切地根據(jù)預定執(zhí)行的配方的內(nèi)容而求出恢復所需的資源量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明鑒于上述課題而做出，其目的在于，在使用能夠取運轉(zhuǎn)狀態(tài)和待機狀態(tài)的多個功能部來執(zhí)行基板處理的基板處理技術中，根據(jù)預定執(zhí)行的配方的內(nèi)容來確切地求出用于使功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所消耗的資源量，從而能夠恰當?shù)匕殡S基板處理來進行管理。
[0005]本發(fā)明的基板處理裝置，為了實現(xiàn)上述目的，其特征在于，具備:多個功能部，能夠選擇性地選取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)的能量的消耗量少的待機狀態(tài)；控制部，在運轉(zhuǎn)狀態(tài)和待機狀態(tài)之間控制各功能部的狀態(tài)，并且在執(zhí)行規(guī)定有對基板進行處理的步驟的配方時，使承擔與配方對應的承擔處理的功能部選取運轉(zhuǎn)狀態(tài)來執(zhí)行承擔處理；資源消耗量獲取部，若接收到預定執(zhí)行配方，則執(zhí)行確定動作并且求出資源消耗量，預定執(zhí)行配方是指以后要執(zhí)行的預定的配方，在確定動作中，從多個功能部中確定出能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的功能部，來作為確定功能部，并且，資源消耗量獲取部求出使在確定動作中確定的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
[0006]另外，本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)，具備多個基板處理裝置，其特征在于，具備信息獲取裝置，該信息獲取裝置求出用于多個基板處理裝置的控制的參數(shù)；基板處理裝置分別具有:多個功能部，能夠選擇性地選取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)的能量的消耗量少的待機狀態(tài)；控制部，在運轉(zhuǎn)狀態(tài)和待機狀態(tài)之間控制各功能部的狀態(tài)，并且在執(zhí)行規(guī)定有對基板進行處理的步驟的配方時，使承擔與配方對應的承擔處理的功能部選取運轉(zhuǎn)狀態(tài)來執(zhí)行承擔處理；信息獲取裝置，針對每個基板處理裝置，執(zhí)行確定動作；在確定動作中，從多個功能部中確定出能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的功能部，來作為確定功能部；預定執(zhí)行配方是指以后要執(zhí)行的預定的配方；信息獲取裝置，針對每個基板處理裝置，求出使在確定動作中確定的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
[0007]另外，本發(fā)明提供一種基板處理裝置的控制方法，該基板處理裝置具有多個功能部，多個功能部能夠選擇性地取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)；該基板處理裝置能夠在運轉(zhuǎn)狀態(tài)和待機狀態(tài)之間選擇各功能部的狀態(tài)，該控制方法的特征在于，包括如下工序:讀取規(guī)定有對基板進行的處理的步驟的配方；若接收到預定執(zhí)行配方則執(zhí)行確定動作，預定執(zhí)行配方是指以后預定執(zhí)行的配方，在確定動作中，從多個功能部中確定出能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的功能部；求出使在確定動作中確定出的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
[0008]在如以上構成的發(fā)明(基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)以及基板處理裝置的控制方法)的基板處理裝置中，設置有多個能夠?qū)鍒?zhí)行各自承擔的承擔處理的多個功能部。這些功能部能夠選擇性地取能夠執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)。而且，承擔與配方對應的承擔處理的功能部在運轉(zhuǎn)狀態(tài)下執(zhí)行承擔處理，從而對基板執(zhí)行配方中規(guī)定的處理步驟。特別是，在這些發(fā)明中，若接收到預定執(zhí)行配方則執(zhí)行確定動作，預定執(zhí)行配方是指以后預定執(zhí)行的配方，在確定動作中，從多個功能部中確定出能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的功能部。而且，求出使在確定動作中確定的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。這樣，能夠根據(jù)配方的內(nèi)容來確切地求出使能夠執(zhí)行承擔處理的功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)消耗的資源的量，從而能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的管理。此外，本發(fā)明的“資源”是包含時間、電力(電能)等的能量以及藥液和空氣等物質(zhì)這樣的全部資源的概念。
[0009]這里，在本發(fā)明的基板處理裝置中，構成分別設置有能夠執(zhí)行相同的承擔處理的功能部的多個處理單元，資源消耗量獲取部按每個處理單元求出通過確定動作確定出的確定功能部的資源的消耗量，控制部基于資源消耗量獲取部按每個處理單元求出的確定功能部的資源的消耗量，從多個處理單元中決定為了執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使用的處理單元。在這樣設置有多個對基板能夠執(zhí)行相同的處理的處理單元的情況下，需要決定使哪個處理單元執(zhí)行該處理。此時，以能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部的資源的消耗量為判斷基準，能夠根據(jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的資源的消耗量的管理的觀點，來決定出恰當?shù)奶幚韱卧４藭r，資源消耗量獲取部基于確定功能部的資源的消耗量，針對每個處理單元，求出使處理單元變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的資源的消耗量作為單元消耗量，控制部能夠基于單元消耗量來決定用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方的處理單元。這樣，針對每個處理單元求出能夠使用處理單元為止所需的資源的消耗量作為單元消耗量，從而能夠容易地判斷從資源的消耗量的管理的觀點來看哪個處理單元恰當。[0010]在本基板處理裝置中，以時間作為資源的情況下，資源消耗量獲取部基于將用于使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間即功能部恢復時間作為確定功能部的資源的消耗量來求出的結(jié)果，針對每個處理單元，求出使處理單元能夠用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的時間即單元恢復時間，來作為單元消耗量。這樣，針對每個處理單元，求出能夠使用處理單元為止所需的時間來作為單元恢復時間，能夠容易地判斷從時間管理的觀點來看哪個處理單元恰當。特別是，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間來求出單元恢復時間，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容確切地求出單元恢復時間。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的時間管理。
[0011]此時，在針對各處理單元存在多個確定功能部的情況下，資源消耗量獲取部能夠針對每個處理單元求出處理單元的多個確定功能部的功能部恢復時間中最長的功能部恢復時間，來作為單元恢復時間。這樣求出的單元恢復時間，是使包含于處理單元中的全部確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間，換言之，是作為功能部的集合體的處理單元成為能夠執(zhí)行預定執(zhí)行配方的狀態(tài)為止所需的時間。由此，能夠確切地把握單元恢復時間。另外，控制部能夠決定為使單元恢復時間最短的處理單元用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方。由此，能夠有效地抑制為了開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使處理單元恢復所需的時間。
[0012]另一方面，將電力(電能)作為資源的情況下，資源消耗量獲取部基于將用于使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能即功能部恢復電能作為確定功能部的資源的消耗量求出的結(jié)果，針對每個處理單元，求出處理單元變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的電能即單元恢復電能，來作為單元消耗量。這樣，通過求出能夠使用處理單元為止所需的電能來作為單元恢復電能，能夠容易地判斷從電能管理的觀點來看哪個處理單元恰當。特別是，根據(jù)能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能求出單元恢復電能，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容確切地求出單元恢復電能。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的電能管理。
[0013]此時，在針對各處理單元存在多個確定功能部的情況下，資源消耗量獲取部能夠針對每個處理單元，求出累計處理單元的多個確定功能部的功能部恢復電能的值，來作為單元恢復電能。這樣求出的單元恢復電能是使包含于處理單元中的全部確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所消耗的電能的總和，換言之，是作為功能部的集合體的處理單元成為能夠執(zhí)行預定執(zhí)行配方的狀態(tài)為止消耗的電能。由此，能夠恰當?shù)匕盐諉卧謴碗娔堋Ａ硗?，控制部能夠決定為使單元恢復電能最小的處理單元用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方。由此，能夠有效地抑制為了開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使處理單元恢復所需的電能。
[0014]另外，在本基板處理裝置中，資源消耗量獲取部也可以從多個功能部中確定出多個能夠承擔按照預定執(zhí)行配方的承擔處理的功能部，并且針對多個確定功能部中的每一個，求出用于使被確定的多個確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間即功能部恢復時間，且基于針對多個確定功能部的每一個求出的功能部恢復時間，來決定使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的時間即裝置恢復時間，控制部基于裝置恢復時間來決定多個確定功能部向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的恢復動作的時間表，并且按照時間表使多個確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。這樣，計算出使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的裝置恢復時間，基于該裝置恢復時間來設定各確定功能部的恢復動作的時間表，從而能夠可靠地使各確定功能部在經(jīng)過裝置恢復時間之前恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。[0015]此時，資源消耗量獲取部也可以求出按照時間表使多個確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能。根據(jù)所述的結(jié)構，不僅考慮為了執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使確定功能部恢復時所需時間，還考慮恢復所需的電能，來進行伴隨基板處理的管理。因此，不僅能夠縮短執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止的時間，也能夠減少實現(xiàn)恢復為止消耗的電能。
[0016]另外，控制部也能夠基于對確定功能部求出的資源的消耗量，調(diào)整執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。在這樣的結(jié)構中，以能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部的資源的消耗量為判斷基準，調(diào)整執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。因此，能夠在與開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的資源的消耗量對應的恰當?shù)臅r機，執(zhí)行預定執(zhí)行配方。另外，優(yōu)選控制部根據(jù)預定執(zhí)行配方的執(zhí)行時機，控制使在預定執(zhí)行配方中使用的確定功能部恢復的時機。這樣，通過基于執(zhí)行時機來控制使確定功能部恢復的時機，能夠在與執(zhí)行時機對應的時機使確定功能部恢復結(jié)束，從而能夠縮短在從確定功能部恢復結(jié)束至開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止的期間，即，能夠縮短能量消耗量多的運轉(zhuǎn)狀態(tài)下的待機期間。
[0017]另外，在能夠執(zhí)行多個預定執(zhí)行配方的基板處理裝置中，控制部也能夠基于由資源消耗量獲取部求出的與預定執(zhí)行配方對應的確定功能部的資源的消耗量，從多個預定執(zhí)行配方中決定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。在這樣的結(jié)構中，能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部的資源的消耗量為判斷基準，決定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。因此，能夠根據(jù)其開始執(zhí)行所需的資源的消耗量的管理的觀點，來恰當?shù)貨Q定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。
[0018]另外，也可以基于由資源消耗量獲取部求出的使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量、為了使該確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)而實際消耗的資源的消耗量，之后由資源消耗量獲取部調(diào)整作為使該確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量而求出的值。根據(jù)這樣的結(jié)構，在通過資源消耗量獲取部求出的資源的消耗量和實際的資源的消耗量之間有差異的情況下，能夠基于這樣的差來修正以后求出的值。其結(jié)果，在用資源消耗量獲取部求出資源的消耗量時，能夠反映以前的資源的消耗量的實際值，能夠求出根據(jù)實際值的消耗量。
[0019]另外，也可以具有按每個各功能部的狀態(tài)存儲有資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫，資源消耗量獲取部基于數(shù)據(jù)庫來求出用于使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。這樣，通過使用按每個各功能部的狀態(tài)存儲有資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫，例如只累計恢復之前的各狀態(tài)下的資源的消耗量就能夠容易地求出功能部恢復為止消耗的資源的消耗量。并且，在各功能部的構成等產(chǎn)生變更的情況下，僅通過適當更新相應的部分的數(shù)據(jù)就能夠確切地求出資源的消耗量。
[0020]另外，優(yōu)選功能部能夠取能量的消耗量相互不同的多個待機狀態(tài)。通過設置多個待機狀態(tài)，能夠更細致地控制功能部的狀態(tài)。此時，進一步優(yōu)選功能部能夠從多個待機狀態(tài)中取根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容的待機狀態(tài)。例如，根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容使沒有必要成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的功能部遷移為能量消耗量更少的待機狀態(tài)，從而提高節(jié)能效果。另一方面，根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容使需要將要成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的功能部遷移為接近于運轉(zhuǎn)狀態(tài)的待機狀態(tài)，從而不會妨礙預定執(zhí)行配方的順利執(zhí)行，且能夠盡量抑制能量消耗量。
[0021]另外，還可以具備顯示通過資源消耗量獲取部求出的資源的消耗量的顯示部。通過設置這樣的顯示部，例如工作人員參照顯示于顯示部的資源的消耗量，來恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的管理。
[0022]這里，在本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)中，信息獲取裝置基于對基板處理裝置求出的確定功能部的資源的消耗量，能夠求出使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的資源的消耗量即裝置消耗量來作為參數(shù)。在這樣的結(jié)構中，能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方求出使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的資源的消耗量即裝置消耗量，有利于伴隨執(zhí)行預定執(zhí)行配方來對基板處理裝置進行恰當管理。例如，還可以具備控制裝置，其基于由信息獲取裝置獲取的裝置消耗量，從多個基板處理裝置中決定使其執(zhí)行預定執(zhí)行配方的基板處理裝置。由此，能夠?qū)⒏鶕?jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的資源的消耗量的管理的觀點來看恰當?shù)幕逄幚硌b置，決定為用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0023]在本基板處理系統(tǒng)中，在將時間作為資源的情況下，信息獲取裝置能夠基于求出使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間即功能部恢復時間來作為確定功能部的資源的消耗量的結(jié)果，針對每個基板處理裝置求出使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的時間即裝置恢復時間，來作為裝置消耗量。這樣，針對每個基板處理裝置，求出能夠使用基板處理裝置為止所需的時間作為裝置恢復時間，能夠容易地判斷從時間管理的觀點來看使用哪個基板處理裝置恰當。特別是，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間求出裝置恢復時間，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容確切地求出裝置恢復時間。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的時間管理。
[0024]另一方面，在將電力(電能)作為資源的情況下，信息獲取裝置基于求出使確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能即功能部恢復電能作為確定功能部的資源的消耗量的結(jié)果，針對每個基板處理裝置，求出使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的電能即裝置恢復電能，來作為裝置消耗量。這樣，能夠針對每個基板處理裝置求出能夠使用基板處理裝置為止所需的電能作為裝置恢復電能，從而能夠容易地判斷從電能管理的觀點來看使用哪個基板處理裝置恰當。特別是，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能求出裝置恢復電能，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來確切地求出裝置恢復電能。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的電能管理。
[0025]另外，也可以具備控制裝置，其基于信息獲取裝置獲取的裝置消耗量，調(diào)整使基板處理裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。在這樣的結(jié)構中，以裝置消耗量為判斷基準，調(diào)整執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。因此，能夠在根據(jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的資源的消耗量的恰當?shù)臅r機，執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0026]另外，也可以在能夠執(zhí)行多個預定執(zhí)行配方的基板處理系統(tǒng)中設置這樣的控制裝置，該控制裝置基于由信息獲取裝置獲取的與預定執(zhí)行配方對應的裝置消耗量，從多個預定執(zhí)行配方中決定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。在這樣的結(jié)構中，以與預定執(zhí)行配方對應的裝置消耗量為判斷基準，決定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。因此，能夠根據(jù)其開始執(zhí)行所需的資源的消耗量的管理的觀點，來決定出恰當?shù)慕酉聛硪獔?zhí)行的預定執(zhí)行配方。
[0027]另外，還可以具備顯示信息獲取裝置所獲取的參數(shù)的顯示裝置。通過設置這樣的顯示裝置，例如工作人員參照顯示于顯示裝置的參數(shù)，能夠恰當?shù)剡M行伴隨基板處理的管理?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0028]圖1是表示本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的一實施方式的圖。
[0029]圖2A，2B是表示用于圖1的基板處理系統(tǒng)的基板處理裝置的圖。
[0030]圖3是表示設置于圖2的基板處理裝置中的清洗單元、藥液供給部以及沖洗液供給部的圖。
[0031]圖4是表示圖2的基板處理裝置的電結(jié)構的框圖。
[0032]圖5A，5B是表示配方的內(nèi)容的一個例子的圖。
[0033]圖6是表示基于圖5的配方的基板處理的流程的流程圖。
[0034]圖7是表示基板處理裝置的各功能部的框圖。
[0035]圖8A，8B是表示有關資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫的一個例子的圖。
[0036]圖9是表示執(zhí)行基板處理的基板處理裝置的決定處理的圖表。
[0037]圖10是表不裝置恢復時間獲取處理的流程圖。
[0038]圖11A，IlB是表示各功能部的運轉(zhuǎn)狀態(tài)以及當前狀態(tài)的圖。
[0039]圖12是表示裝置恢復時間獲取處理的具體例的圖。
[0040]圖13是表示裝置恢復電能(電力)獲取處理的流程圖。
[0041]圖14A，14B, 14C，14D是表示功能部的恢復動作的時間表的圖。
[0042]圖15是表示裝置恢復電能獲取處理的具體例的圖。
[0043]其中，附圖標記說明如下:
[0044]I基板處理系統(tǒng)
[0045]11主控制部(控制裝置)
[0046]13顯示部(顯示裝置)
[0047]20基板處理裝置
[0048]50裝置控制部(控制部，資源消耗量獲取部，信息獲取裝置，計算機)
[0049]61 程序
[0050]62數(shù)據(jù)庫
[0051]100清洗單元(處理單元)
[0052]200藥液供給部(功能部)
[0053]300沖洗液供給部(功能部)
[0054]400藥液處理部(功能部)
[0055]500沖洗處理部(功能部)
[0056]W 基板
【具體實施方式】
[0057][第一實施方式]
[0058]以下，對可適用本發(fā)明的具備基板處理裝置的基板處理系統(tǒng)的第一實施方式進行說明。圖1是表示本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的一實施方式的圖。該實施方式的基板處理系統(tǒng)I具有主機10和3臺基板處理裝置20A、20B、20C而構成。主機10具備進行各種控制和處理的主控制部11、用于向主控制部11輸入指令的操作部12、基于來自主控制部11的指令來顯示各種信息的顯示部13。主機10和各個基板處理裝置20A、20B、20C經(jīng)由網(wǎng)絡5連接，相互可通信地構成。而且，規(guī)定對基板的處理步驟的配方(recipe)從主機10發(fā)送到各基板處理裝置20A、20B、20C，從而能夠使各基板處理裝置20A、20B、20C執(zhí)行配方中規(guī)定的處理。此外，該實施方式中，3臺基板處理裝置20A、20B、20C都具備相同的結(jié)構，在以下的說明中不特別區(qū)分各裝置的情況下僅記載為基板處理裝置20。
[0059]圖2A、2B是表示用于圖1的基板處理系統(tǒng)I的基板處理裝置的圖，更詳細而言，圖2A是基板處理裝置的俯視圖，圖2B是基板處理裝置的側(cè)視圖。該基板處理裝置20具備多個用于對半導體晶片(wafer)等的圓盤狀的基板W實施利用處理液等的清洗的單張?zhí)幚硎降那逑磫卧?。基板處理裝置20具備對基板W實施處理的基板處理部30和與該基板處理部30結(jié)合的分度器部40。
[0060]分度器部40具有用于收納基板W的多個(該實施方式中為4個)的盒41、訪問盒41而能夠?qū)錡進行交接的分度器機械手42。即，分度器機械手42能夠從盒41中取出處理前的基板W，并且將處理結(jié)束的基板W收納到盒41中。作為盒41，能夠使用將多個基板W在封閉的狀態(tài)下收納的F0UP( Front Opening Unified Pod:前開口統(tǒng)一標準盒),SMIF(Standard Mechanical Interface:標準機械接口)晶片盒，OC (Open Cassette:開放式晶圓匣)等。
[0061]在各盒41中，在上下方向隔著微小間隔而設置有多個架子(省略圖示)以便收納多張基板W，多張基板W以“批(lot)”這樣的單位被收納。按照規(guī)定的配方，成為處理對象的基板W以批為單位被搬運到分度器部40。而且，在基板處理裝置20中對于構成批的各基板W實施相同種類的處理。
[0062]分度器機械手42從基板處理裝置20的控制部所指定的盒41中取出處理前的基板W而交接到后述的基板搬運機械手31，并且從基板搬運機械手31接受處理結(jié)束的基板W而將其收納到盒41中。處理結(jié)束的基板W可以收納于該基板W在處理前的狀態(tài)時被收納的盒41中，也可以收納于與在處理前的狀態(tài)時被收納的盒41不同的盒41中。
[0063]基板處理部30具有:基板搬運機械手31，其俯視時配置于大致中央；多個(該實施方式中為4個)清洗單元100A?100D,其設置為在水平方向包圍該基板搬運機械手31 ;處理流體箱32、33，其收納并供給/排出處理液或處理氣體等的處理流體。另外，如圖2B所示，在各清洗單元100A?100D的下段分別設置有其它的清洗單元100E?100H，采用上下2段的層疊構造。此外，該實施方式中，全部的清洗單元100A?100H對基板W實施相同種類的處理，在以下的說明中不特別區(qū)分各單元的情況下僅記載為清洗單元100。
[0064]基板搬運機械手31具有可從機械手主體進退的基板保持手(省略圖示)。而且，對于分度器機械手42以及清洗單元100A?100H中的任意一個分配基板保持手，在該狀態(tài)下，使基板保持手進退，從而基板搬運機械手31在分度器機械手42以及清洗單元100A?100H之間能夠進行基板W的交接。
[0065]接下來，對搭載于基板處理裝置20上的清洗單元100、藥液供給部200以及沖洗液供給部300的結(jié)構進行說明。圖3是表示設置于圖2的基板處理裝置中的清洗單元100、藥液供給部200以及沖洗液供給部300的圖，圖4是表示圖2的基板處理裝置的電結(jié)構的框圖。該實施方式中的清洗單元100，從藥液供給部200接收氫氟酸等藥液的供給，從而能夠?qū)錡的表面實施藥液處理，并且，從沖洗液供給部300接收純凈水或DIW(去離子水:deionized water)等的沖洗液的供給,從而實施沖洗處理。
[0066]在該清洗單元100中，在容器102的頂棚部分配設有風扇過濾單元(FFU) 104。該風扇過濾單元104具有風扇104a以及過濾器104b。在該實施方式中，對風扇過濾單元104連接用于供給凈化空氣的供給配管190，在該供給配管190上插有用于切換是否向容器102導入凈化空氣的開閉閥192。因此，按照來自整體控制清洗單元100的單元控制部118 (圖4)的動作指令來打開開閉閥192，從而能夠?qū)L扇104a的旋轉(zhuǎn)速度的量的凈化空氣供給至風扇過濾單元104。另一方面，通過關閉開閉閥192，能夠限制對風扇過濾單元104的凈化空氣的供給。
[0067]在該風扇過濾單元104中，如上述那樣被送入的氣體通過風扇104a而被送至過濾器104b，在該過濾器104b被清潔后被送入容器102的中央空間。在該實施方式中，風扇104a與風扇調(diào)整機構198 (圖4)連接，根據(jù)來自單元控制部118的動作指令而風扇調(diào)整機構198驅(qū)動控制風扇104a，從而能夠控制從風扇過濾單元104向容器102的中央空間供給的氣體的供給量。
[0068]在容器102的中央空間配置有旋轉(zhuǎn)卡盤106。該旋轉(zhuǎn)卡盤106在使基板表面朝向上方的狀態(tài)下將基板W保持為大致水平姿勢而使其旋轉(zhuǎn)。另外，該旋轉(zhuǎn)卡盤106中，旋轉(zhuǎn)支承軸108與包含馬達的卡盤旋轉(zhuǎn)機構110 (圖4)的旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)，通過卡盤旋轉(zhuǎn)機構110的驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)卡盤106能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸(垂直軸)旋轉(zhuǎn)。這些旋轉(zhuǎn)支承軸108以及卡盤旋轉(zhuǎn)機構110被收納于圓筒狀的外殼114內(nèi)。另外，在旋轉(zhuǎn)支承軸108的上端部，通過螺絲等的緊固部件而一體地連結(jié)有圓盤狀的旋轉(zhuǎn)基座116。因此，根據(jù)來自單元控制部118的動作指令而使卡盤旋轉(zhuǎn)機構110驅(qū)動，從而使得旋轉(zhuǎn)基座116圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。另外，單元控制部118控制卡盤旋轉(zhuǎn)機構110而調(diào)整旋轉(zhuǎn)基座116的旋轉(zhuǎn)速度。
[0069]在旋轉(zhuǎn)基座116的周邊部附近，樹立設置有用于把持基板W的周邊部的多個的卡盤銷120。為了可靠地保持圓形的基板W，設置3個以上卡盤銷120即可，并且沿著旋轉(zhuǎn)基座116的周邊部而以等角度間隔配置。各卡盤銷120具備:基板支承部，其從下方支承基板W的周邊部；基板保持部，其按壓被支承于基板支承部上的基板W的外周端面而保持基板W。另外，各卡盤銷120構成為，能夠在基板保持部按壓基板W的外周端面的按壓狀態(tài)和基板保持部從基板W的外周端面分離的釋放狀態(tài)之間切換。
[0070]對旋轉(zhuǎn)基座116交接基板W時，使多個卡盤銷120處于釋放狀態(tài)，對基板W進行基板處理時，使多個卡盤銷120處于按壓狀態(tài)。通過像這樣設為按壓狀態(tài)，多個卡盤銷120能夠把持基板W的周邊部，從而使該基板W從旋轉(zhuǎn)基座116隔開規(guī)定間隔，并且保持該基板W為大致水平姿勢。由此，基板W在其表面朝向上方、背面朝向下方的狀態(tài)下被支承。此外，作為基板保持機構，不限于卡盤銷120，也可以使用吸附基板背面而保持基板W的真空吸盤。
[0071]在通過旋轉(zhuǎn)卡盤106保持的基板W的上方位置，噴嘴臂122被設置為可在水平面內(nèi)自由擺動。在該噴嘴臂122的前端部安裝有藥液供給噴嘴126和沖洗液供給噴嘴128。其中，藥液供給噴嘴126與設置于清洗單元100外的處理流體箱32 (圖2)的藥液供給部200連接。該藥液供給部200能夠?qū)浞岬鹊倪m于基板清洗的藥液供給至噴嘴126偵U。更詳細而言，藥液供給部200構成為具有能夠調(diào)整從貯存藥液的藥液供給源向藥液供給噴嘴126供給的藥液的供給量的流量調(diào)整閥201和調(diào)整被流量調(diào)整閥201調(diào)整了流量的藥液的溫度的溫度調(diào)整部202。另外，在連結(jié)藥液供給噴嘴126和藥液供給部200的配管134上插入開閉閥130。因此，通過按照來自單元控制部118的動作指令來打開開閉閥130，將被調(diào)整了流量以及溫度的藥液從藥液供給部200被壓送(壓力推進)至藥液供給噴嘴126，進而向基板W的表面供給藥液。另一方面，通過關閉開閉閥130，限制對基板W的藥液的供給。
[0072]另外，沖洗液供給噴嘴128與設置在清洗單元100外的處理流體箱33 (圖2)的沖洗液供給部300連接。該沖洗液供給部300能夠?qū)⒓儍羲駾IW等的沖洗液供給給噴嘴128偵彳。更詳細而言，沖洗液供給部300構成為具有能夠調(diào)整從貯存沖洗液的沖洗液供給源向沖洗液供給噴嘴128供給的沖洗液的供給量的流量調(diào)整閥301和調(diào)整通過流量調(diào)整閥301調(diào)整了流量的沖洗液的溫度的溫度調(diào)整部302。另外，在連結(jié)沖洗液供給噴嘴128和沖洗液供給部300的配管136上插入開閉閥132。因此，根據(jù)來自單元控制部118的動作指令來打開開閉閥132，將被調(diào)整了流量以及溫度的沖洗液從沖洗液供給部300壓送至沖洗液供給噴嘴128，從而向基板W的表面供給沖洗液。另一方面，通過關閉開閉閥132，限制對基板W的沖洗液的供給。
[0073]此外，藥液供給源以及沖洗液供給源雙方可以設置在基板處理裝置20內(nèi)，也可以利用設置在設置有圖1的基板處理系統(tǒng)I的工廠內(nèi)的供給源。另外，藥液供給部200和沖洗液供給部300的結(jié)構不限于上述，例如在調(diào)配多種液體而生成藥液和沖洗液的情況下，也可以再設置調(diào)配多種液體的調(diào)配部。
[0074]在安裝有藥液供給噴嘴126以及沖洗液供給噴嘴128的噴嘴臂122上，連接有馬達等的噴嘴臂移動機構138 (圖4)，根據(jù)來自單元控制部118的動作指令而使噴嘴臂移動機構138工作，從而使噴嘴126、128能夠在基板W的表面上方的排出區(qū)域和從排出區(qū)域向側(cè)方退避的待機位置之間移動。并且，在排出區(qū)域，通過噴嘴臂移動機構138，使噴嘴126、128能夠在基板表面的中央部上方和周邊部上方之間往復移動。
[0075]在外殼114的周圍固定安裝有承受部件146。在該承受部件146上樹立設置有3個圓筒狀的分隔部件。而且，通過這些分隔部件和外殼114的組合，來形成3個空間作為排液槽148a?148c。另外，在這些排液槽148a?148c的上方設置有防護板150 (splashguard)，該防護板150包圍在由旋轉(zhuǎn)卡盤106以水平姿勢保持的基板W的周圍，并且該防護板150能夠沿著旋轉(zhuǎn)卡盤106的旋轉(zhuǎn)軸而自由升降。該防護板150相對于旋轉(zhuǎn)軸具有大致旋轉(zhuǎn)對稱的形狀，具備與旋轉(zhuǎn)卡盤106呈同心圓狀配置的兩個擋板。而且，擋板升降機構152 (圖4)根據(jù)來自單元控制部118的動作指令而使防護板150階段性升降，從而能夠?qū)男D(zhuǎn)的基板W飛散的藥液和沖洗液等區(qū)分開來進行排出。
[0076]另外，在排液槽148a上連接有排氣管160的一端。該排氣管160的另一端與省略圖示的排氣裝置連接。因此，能夠經(jīng)由排氣管160對排液槽148a以及處理空間162排氣。并且，在該實施方式中，在排氣管160上插入有排氣調(diào)整機構164,排氣調(diào)整機構164能夠根據(jù)來自單元控制部118的動作指令而調(diào)整來自處理空間162的排氣量。這里，作為排氣裝置，可以使用設置圖1的基板處理系統(tǒng)I的工廠的設備，也可以在基板處理裝置20中設置真空泵或排氣泵等的排氣單元。此外，上述的處理空間162是指，在防護板150包圍保持在旋轉(zhuǎn)卡盤106上的基板W的周圍而形成的空間內(nèi)的與基板表面接觸的空間，在該處理空間162執(zhí)行藥液處理、沖洗處理以及干燥處理。
[0077]如圖4所示，在基板處理裝置20中設置有控制裝置整體的裝置控制部50，根據(jù)來自該裝置控制部50的動作指令而使各電氣部件工作，從而執(zhí)行基板處理。此時，就設置在清洗單元100中的電氣部件而言，如果來自裝置控制部50的指令先被送到單元控制部118，則單元控制部118向各部位發(fā)出動作指令從而使各部位工作。另一方面，來自裝置控制部50的動作指令直接被送至設置在藥液供給部200或沖洗液供給部300的電氣部件。
[0078]接下來，基于所提供的配方，說明如上述那樣構成的清洗單元100對基板W執(zhí)行的基板處理的流程。圖5是表示配方的內(nèi)容的一個例子的圖，圖6是表示基于圖5的配方的基板處理的流程的流程圖。在該實施方式中，如圖5所示提供規(guī)定了對基板W連續(xù)執(zhí)行藥液處理、沖洗處理以及干燥處理的配方。該配方中，規(guī)定有各處理的動作時間、旋轉(zhuǎn)基座116的轉(zhuǎn)速以及藥液和沖洗液的供給流量以及供給溫度。
[0079]執(zhí)行基板處理時，首先，單元控制部118使防護板150下降，而使旋轉(zhuǎn)卡盤106從防護板150的上端部突出。此時，噴嘴臂122退避在防護板150的外側(cè)。然后，在該狀態(tài)下通過基板搬運機械手31 (圖2)將處理前的基板W搬入至容器102 (步驟SI)。與該基板搬入動作同時或者在搬入后，開閉閥192被打開而向風扇過濾單元104送入凈化空氣，清潔后的空氣被送入容器102的中央空間。然后，防護板150上升，以便能夠在后續(xù)的藥液處理或沖洗處理中回收從旋轉(zhuǎn)的基板W飛散的處理液(藥液以及沖洗液)。
[0080]接下來，噴嘴臂移動機構138使噴嘴臂122移動，而使藥液供給噴嘴126位于基板表面的中央部上方，并且通過卡盤旋轉(zhuǎn)機構110的驅(qū)動而使保持于旋轉(zhuǎn)卡盤106的基板W旋轉(zhuǎn)(步驟S2)。此時旋轉(zhuǎn)基座116的轉(zhuǎn)速按照配方被調(diào)整為800rpm。而且，在使沖洗液用的開閉閥132保持在打開狀態(tài)下，打開藥液用的開閉閥130 (步驟S3)。其結(jié)果，按照配方，流量被調(diào)整為1.51/min并且溫度被調(diào)整為40°C的藥液被從藥液供給部200壓送至藥液供給噴嘴126，從而從該噴嘴126向基板表面供給藥液。而且，在藥液被供給的狀態(tài)下，噴嘴臂移動機構138使噴嘴臂122移動5秒鐘，以使藥液供給噴嘴126在基板表面的中央部上方和周邊部上方之間往復移動，從而執(zhí)行藥液處理(步驟S4)。
[0081]若藥液處理結(jié)束，則噴嘴臂移動機構138使噴嘴臂122移動，以使沖洗液供給噴嘴128代替藥液供給噴嘴126而位于基板表面的中央部上方，按照配方，將旋轉(zhuǎn)基座116的轉(zhuǎn)速調(diào)整為500rpm。而且，關閉藥液用的開閉閥130，并且打開沖洗液用的開閉閥132 (步驟
55)。其結(jié)果，代替藥液，流量被調(diào)整為1.01/min并且溫度被調(diào)整為60°C的沖洗液被從沖洗液供給部300壓送至沖洗液供給噴嘴128，從該噴嘴128向基板表面供給沖洗液。而且，在供給沖洗液的狀態(tài)下，噴嘴臂移動機構138使噴嘴臂122移動10秒鐘，以使沖洗液供給噴嘴128在基板表面的中央部上方和周邊部上方之間往復移動，從而執(zhí)行沖洗處理(步驟
56)。
[0082]在上述的藥液處理以及沖洗處理時，單元控制部118控制風扇調(diào)整機構198而提高風扇104a的旋轉(zhuǎn)速度，來向處理空間162送入比較大容量的凈化空氣。另外，通過排氣調(diào)整機構164，從處理空間162進行比較大容量的排氣。因此，通過從上方供給大容量的凈化空氣，能夠防止在藥液處理以及沖洗處理中產(chǎn)生的處理液的水霧向上方飛散而附著于裝置各部。另外，能夠?qū)幚硪旱乃F的環(huán)境氣高效地從處理空間162排出。
[0083]若沖洗處理結(jié)束，則關閉沖洗液用的開閉閥132而停止對基板表面供給沖洗液(步驟S7)。之后，噴嘴臂移動機構138使噴嘴臂122移動，以使藥液供給噴嘴126以及沖洗液供給噴嘴128從基板W的表面上方退避至側(cè)方的待機位置(步驟S8)。然后，按照配方，將旋轉(zhuǎn)基座116的轉(zhuǎn)速調(diào)整為1500rpm，使基板W高速旋轉(zhuǎn)10秒鐘而執(zhí)行干燥處理后，停止基板W的旋轉(zhuǎn)(步驟S9)。
[0084]這樣，結(jié)束對于I張基板W的一系列的基板處理，通過基板搬運機械手31，從容器102搬出處理完的基板W (步驟S10)。然后，對于下一個基板W也執(zhí)行與上述相同的處理。
[0085]以上，對按照圖5所示的配方在基板處理裝置20中執(zhí)行的基板處理進行了說明，但在如圖1那樣在基板處理系統(tǒng)I中設置多個基板處理裝置20A、20B、20C的情況下，需要決定使基板處理裝置20A、20B、20C中的哪一個裝置執(zhí)行配方(按照配方執(zhí)行處理)。因此，以下，對通過主機10來決定使基板處理裝置20A、20B、20C中的哪個裝置執(zhí)行所提供的配方的決定處理進行說明。
[0086]這里，基板處理裝置20按照每個被稱為“功能部”的單位來對基板W執(zhí)行規(guī)定的承擔處理，各功能部選擇性地取(選擇)能夠執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)。而且，求出各功能部從待機狀態(tài)恢復到運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止所需的資源的消耗量，基于該資源的消耗量來用主機10進行上述決定處理。此外，這里所指的“資源”是包含時間、電力等的能量以及藥液、空氣等的物質(zhì)這樣的全部的資源的概念。
[0087]圖7是表示基板處理裝置的各功能部的框圖。該實施方式中，藥液處理部400、沖洗處理部500、藥液供給部200以及沖洗液供給部300分別相當于功能部。其中藥液處理部400以及沖洗處理部500是包含于清洗單元100中的功能部。換言之，清洗單元100具備藥液處理部400以及沖洗處理部500而構成。此外，圖2所示的基板處理裝置20中搭載有8個清洗單元100，但為了簡單說明，在以后的說明中基板處理裝置20只搭載有兩個清洗單元 100A、IOOB0
[0088]這里，藥液處理部400是指，在清洗單元100所具有的多個部件中，將對基板W執(zhí)行藥液處理時基于來自單元控制部118的動作指令進行工作并且配合執(zhí)行藥液處理的電氣部件，換言之，將這些電氣部件作囊括為一個部件即藥液處理部400。在如上述那樣進行藥液處理時，通過卡盤旋轉(zhuǎn)機構110 —邊控制旋轉(zhuǎn)基座116的轉(zhuǎn)速一邊使基板W旋轉(zhuǎn)，并且，打開藥液用的開閉閥130而一邊從藥液供給噴嘴126向基板表面排出藥液，一邊控制噴嘴臂移動機構138而使藥液供給噴嘴126在基板表面的上方移動。因此，可認為藥液處理部400由在藥液處理期間從單元控制部118接收動作指令的卡盤旋轉(zhuǎn)機構110、藥液用的開閉閥130以及噴嘴臂移動機構138構成。同樣地，沖洗處理部500由卡盤旋轉(zhuǎn)機構110、沖洗液用的開閉閥132以及噴嘴臂移動機構138構成。并且，藥液供給部200由流量調(diào)整閥201以及溫度調(diào)整部202構成，沖洗液供給部300由流量調(diào)整閥301以及溫度調(diào)整部302構成。
[0089]另外，在基板處理裝置20中設置有存儲部60，在該存儲部60存儲有關于基板處理的執(zhí)行的程序61、關于資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫62。而且，裝置控制部50恰當?shù)卦L問存儲部60而讀出程序61或數(shù)據(jù)庫62，從而執(zhí)行規(guī)定的處理或動作。此外，程序61以存儲于CD(Compact Disc:光盤),DVD (Digital Versatile Disc:數(shù)字多功能光盤)，USB (UniversalSerial Bus:通用串行總線)存儲器等的各種介質(zhì)的狀態(tài)提供，或者從服務器下載，而被儲存于存儲部60。而且，裝置控制部50按照程序61來執(zhí)行以后說明的動作。
[0090]圖8A、8B是表示關于資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫的一個例子的圖，更詳細而言，圖8A是表示清洗單元100AU00B的藥液處理部400以及沖洗處理部500的資源的消耗量的圖，圖SB是表示藥液供給部200以及沖洗液供給部300的資源的消耗量的圖。這里，“遷移時間(一)”表示遷移至圖中一個右側(cè)的狀態(tài)所需的時間，“遷移時間(一)”表示遷移至圖中一個左側(cè)的狀態(tài)所需的時間。另外，“保持電力”表示使各狀態(tài)保持單位時間所需的電能。即，在數(shù)據(jù)庫62中，存儲有用于求出功能部恢復時間和功能部恢復電能所需的數(shù)據(jù)，該功能部恢復時間是指各功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間，該功能部恢復電能是指各功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能。
[0091]這里，對于藥液處理部400以及沖洗處理部500，電氣部件的活性度為100%且能夠執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)直接相當于本發(fā)明的“運轉(zhuǎn)狀態(tài)”，比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)A?C以及停止狀態(tài)相當于本發(fā)明的“待機狀態(tài)”。另一方面，對于藥液供給部200以及沖洗液供給部300，根據(jù)藥液或者沖洗液的溫度為幾攝氏度(°C)來規(guī)定狀態(tài)A?D，哪個狀態(tài)相當于本發(fā)明的“運轉(zhuǎn)狀態(tài)”以及“待機狀態(tài)”因配方而改變。例如，執(zhí)行圖5的配方的情況下，藥液供給部200的藥液的溫度為40°C的狀態(tài)C相當于本發(fā)明的“運轉(zhuǎn)狀態(tài)”，沖洗液供給部300的沖洗液的溫度為60°C的狀態(tài)A相當于本發(fā)明的“運轉(zhuǎn)狀態(tài)”。而且，針對藥液供給部200，比狀態(tài)C能量的消耗量少的狀態(tài)D以及停止狀態(tài)相當于本發(fā)明的“待機狀態(tài)”;針對沖洗液供給部300，比狀態(tài)A能量的消耗量少的狀態(tài)B?D以及停止狀態(tài)相當于本發(fā)明的“待機狀態(tài)”。
[0092]在圖8A、8B中未特別圖示，但數(shù)據(jù)庫62中還存儲有各功能部的當前狀態(tài)，裝置控制部50訪問數(shù)據(jù)庫62從而能夠獲取各功能部的當前狀態(tài)。即，裝置控制部50能夠使用存儲于數(shù)據(jù)庫62中的各功能部的當前狀態(tài)和遷移時間(一)來求出上述功能部恢復時間，之后詳細進行說明。同樣地，裝置控制部50能夠使用存儲于數(shù)據(jù)庫62中的各功能部的當前狀態(tài)和保持電力來求出上述功能部恢復電能。
[0093]接下來，對基于功能部恢復時間來進行上述決定處理的情況下的流程進行說明。圖9是表示執(zhí)行基板處理的基板處理裝置的決定處理的圖表。首先，若經(jīng)由操作部12 (圖O的操作等來決定接下來執(zhí)行的預定配方即預定執(zhí)行配方，則主機10將該預定執(zhí)行配方分別發(fā)送給基板處理裝置20A、20B、20C (步驟S100)。若從主機10接收預定執(zhí)行配方，則基板處理裝置20A、20B、20C各自的裝置控制部50執(zhí)行用于求出裝置恢復時間的裝置恢復時間獲取處理(步驟S200)，該裝置恢復時間是各基板處理裝置20A、20B、20C成為能夠執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的時間。后面詳細說明該裝置恢復時間獲取處理。
[0094]求出裝置恢復時間的各基板處理裝置20A、20B、20C，將該裝置恢復時間輸出至主機10 (步驟S300)。若從各基板處理裝置20A、20B、20C接收到裝置恢復時間，則主機10的主控制部11做出決定，從基板處理裝置20A、20B、20C使裝置恢復時間最短的裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方，向該裝置發(fā)出執(zhí)行命令。這里，設為基板處理裝置20A的裝置恢復時間最短，向基板處理裝置20A發(fā)出執(zhí)行命令(步驟S400)。其結(jié)果，按照預定執(zhí)行配方而成為處理對象的基板W以批為單位被搬運到基板處理裝置20A的分度器部40，開始基板處理的執(zhí)行(步驟S500)。另一方面，沒有收到執(zhí)行命令的基板處理裝置20B、20C的各功能部保持待機狀態(tài)(步驟 S600)。
[0095]這里，在主機10的顯示部13上，顯示步驟S300中輸出到主機10的裝置恢復時間以及表示在步驟S400中執(zhí)行預定執(zhí)行配方的裝置決定為基板處理裝置20A的信息。因此，例如工作人員參照顯示于顯示部13的信息，能夠恰當?shù)剡M行伴隨基板處理的管理。
[0096]接下來，對提供圖5A、5B的配方作為預定執(zhí)行配方的情況下執(zhí)行的裝置恢復時間獲取處理進行說明。裝置恢復時間獲取處理的內(nèi)容被記述在程序61中，基板處理裝置20的裝置控制部50讀取程序61從而執(zhí)行裝置恢復時間獲取處理。圖10是表示裝置恢復時間獲取處理的流程圖，圖1lAUlB是表示各功能部的運轉(zhuǎn)狀態(tài)以及當前狀態(tài)的圖，圖12是表示裝置恢復時間獲取處理的具體例的圖。此外，圖1lAUlB中以粗線框包圍的狀態(tài)表示能夠按照圖5A、5B的配方來執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，被點線框包圍的狀態(tài)表示當前狀態(tài)。
[0097]若從主機10接收預定執(zhí)行配方，則基板處理裝置20的裝置控制部50讀取預定執(zhí)行配方的內(nèi)容，確定出能夠承擔按照其預定執(zhí)行配方的承擔處理的功能部(步驟S201、S202)。圖5A、5B所示的配方中，規(guī)定了執(zhí)行藥液處理以及沖洗處理，所以將藥液處理部400、沖洗處理部500、藥液供給部200以及沖洗液供給部300全部確定為能夠承擔起承擔處理的功能部。以下，將這樣確定的功能部稱為“確定功能部”。
[0098]接下來，裝置控制部50訪問數(shù)據(jù)庫62，根據(jù)各確定功能部的當前狀態(tài)、“遷移時間(—)”所示的時間、由配方內(nèi)容規(guī)定的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(藥液供給部200的狀態(tài)C為本配方的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，沖洗液供給部300的狀態(tài)A為本方法的運轉(zhuǎn)狀態(tài))，通過計算來求出并預測功能部恢復時間(步驟S203)。如圖1lAUlB以及圖12所示，例如，對從待機狀態(tài)B遷移至待機狀態(tài)A所需的遷移時間30秒和從待機狀態(tài)A遷移至運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的遷移時間20秒進行累計，從而求出結(jié)果為50秒，將其作為使清洗單元100A的藥液處理部400從當前狀態(tài)的待機狀態(tài)B恢復至運轉(zhuǎn)狀態(tài)的功能部恢復時間。其它的確定功能部也相同，如圖12所示求出功能部恢復時間。
[0099]若求出各確定功能部的功能部恢復時間，則對于各清洗單元100A、100B，將各單元所包含的確定功能部的功能部恢復時間中最長的功能部恢復時間作為單元恢復時間(步驟S204)。如圖12所示，例如對于清洗單元100A，將藥液處理部400的功能部恢復時間50秒和沖洗處理部500的功能部恢復時間I分40秒進行比較，將最長的I分40秒作為單元恢復時間。同樣地，求出清洗單元100B的單元恢復時間為I分鐘。這樣求出的單元恢復時間，表示各清洗單元100AU00B所包含的全部確定功能部成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止的所需時間，即各清洗單元100AU00B成為能夠執(zhí)行所提供的預定執(zhí)行配方為止所需的恢復時間。
[0100]在一個基板處理裝置20有多個可實施相同種類的承擔處理的清洗單元100的情況下，需要從該多個清洗單元100中決定將哪個單元用于執(zhí)行基板處理。因此，若求出各清洗單元100A、100B的單元恢復時間，則基于各清洗單元100A、100B的單元恢復時間來決定預定使用單元(步驟S205)，該預定使用單元被預定用于基板處理。例如，該實施方式中，將具有最短的單元恢復時間的清洗單元100B決定為預定使用單元。這樣將單元恢復時間短的單元設為預定使用單元，從而能夠?qū)崿F(xiàn)后述的裝置恢復時間的縮短。
[0101]最后，將步驟S204中決定為預定使用單元的清洗單元100B的單元恢復時間以及在清洗單元100AU00B中未包含的各確定功能部的功能部恢復時間中的最長的恢復時間，設為裝置恢復時間(步驟S206)。S卩，如圖12所示，對清洗單元100B的單元恢復時間I分鐘、藥液供給部200的功能部恢復時間50分鐘、沖洗液供給部300的功能部恢復時間I小時進行比較，最長的I小時成為裝置恢復時間。這樣求出的裝置恢復時間意味著基板處理裝置20所包含的預定使用單元以及清洗單元100AU00B未包含的確定功能部全部成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止所需的時間，即基板處理裝置20變?yōu)槟軌驁?zhí)行所提供的預定執(zhí)行配方為止所需的恢復時間。[0102]然后，這樣求出的基板處理裝置20A、20B、20C各自的裝置恢復時間被輸出至主機10，主機10的主控制部11基于各裝置恢復時間，決定使哪個裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0103]如以上說明，該實施方式中，在基板處理裝置20中設置有能夠?qū)錡執(zhí)行各自承擔的承擔處理的多個功能部(藥液供給部200、沖洗液供給部300、藥液處理部400、沖洗處理部500)。這些功能部200、300、400、500能夠執(zhí)行相互不同的承擔處理，并且，各自能夠選擇性地取能夠執(zhí)行承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)。而且，在這些功能部200、300、400、500中，承擔按照配方的承擔處理的功能部在運轉(zhuǎn)狀態(tài)下執(zhí)行承擔處理，從而對基板W執(zhí)行由配方規(guī)定的處理步驟。特別是，在該實施方式中執(zhí)行確定動作(步驟S202)，在該確定動作中，從多個功能部200、300、400、500確定出特定的功能部(確定功能部)，該特定的功能部若接收到之后要執(zhí)行的預定配方即預定執(zhí)行配方，則能夠按照該預定執(zhí)行配方執(zhí)行承擔處理。然后，預測出使確定動作中確定的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間(功能部恢復時間)(步驟S203)。這樣，能夠根據(jù)配方的內(nèi)容確切地求出使能夠執(zhí)行承擔處理的功能部200、300、400、500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間(資源)，從而能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的管理。
[0104]另外，在該實施方式的基板處理系統(tǒng)I中，基于針對各基板處理裝置20A、20B、20C求出的確定功能部200、300、400、500的功能部恢復時間，來求出各基板處理裝置20A、20B、20C的裝置恢復時間。根據(jù)這樣的結(jié)構，能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方來求出裝置恢復時間，有利于伴隨預定執(zhí)行配方的執(zhí)行來恰當?shù)毓芾砘逄幚硌b置20A、20B、20C。并且，基于這樣獲取的裝置恢復時間，來從多個基板處理裝置20A、20B、20C中決定用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方的基板處理裝置20。由此，能夠?qū)拈_始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的時間的管理的觀點來看恰當?shù)幕逄幚硌b置20，決定為用于預定執(zhí)行配方的執(zhí)行。
[0105]特別是，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部200、300、400,500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間來求出裝置恢復時間，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來確切地求出裝置恢復時間。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的時間管理。
[0106]然而，在該實施方式的基板處理裝置20中，多個清洗單元100AU00B都具備藥液處理部400以及沖洗處理部500。換句話說，能夠執(zhí)行相同的承擔處理(藥液處理，沖洗處理)的功能部400、500分別設置于多個清洗單元100A、100B。因此，有時設置于清洗單元100AU00B的各個的功能部400、500在步驟S202中都被確定為確定功能部。在這樣的情況下，需要決定使清洗單元100AU00B中的哪一個執(zhí)行該處理。因此，在該實施方式中，將確定功能部400、500的功能部恢復時間作為判斷基準，決定使用清洗單元100AU00B中的哪一個(步驟S204，S205 )。由此，能夠根據(jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的時間的管理的觀點，來決定出恰當?shù)那逑磫卧?00。特別是,在該實施方式中，按每個清洗單元100A、100B求出能夠使用清洗單元100AU00B為止所需時間(單元恢復時間)，從而能夠容易地判處出從時間管理的觀點來看哪一個清洗單元100恰當。
[0107]并且，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間來求出單元恢復時間，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來確切地求出單元恢復時間。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的時間管理。
[0108]然而，上述的清洗單元100AU00B分別具有相互承擔不同的處理的多個功能部(藥液處理部400、沖洗處理部500)。因此，根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容，有時這些功能部400,500雙方都被確定為確定功能部。在這樣的情況下，在該實施方式中，按每個清洗單元100AU00B求出多個確定功能部400、500的功能部恢復時間中最長的功能部恢復時間，作為單元恢復時間。這樣求出的單元恢復時間是使清洗單元100AU00B所包含的確定功能部400、500全部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間，換言之，是作為功能部的集合體的清洗單元100A、100B成為能夠執(zhí)行預定執(zhí)行配方的狀態(tài)為止所需的時間。因此，能夠確切地把握單元恢復時間。并且，在該實施方式的基板處理裝置20中，單元恢復時間最短的清洗單元100B被決定為用于預定執(zhí)行配方的執(zhí)行(步驟S205)。由此，能夠有效地抑制為了開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使清洗單元100恢復(恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài))所需的時間。
[0109]另外，該實施方式中，設置有按每個功能部200、300、400、500的狀態(tài)存儲了資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫，基于該數(shù)據(jù)庫求出使確定功能部200、300、400、500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量(例如恢復所需的時間)。通過使用這樣的數(shù)據(jù)庫，例如，累計進行恢復之前的各狀態(tài)下的資源的消耗量，就能夠容易地求出功能部200、300、400、500至恢復為止消耗的資源的量。并且，在各功能部200、300、400、500的構成等上發(fā)生變更的情況下，只對相應的部分的數(shù)據(jù)進行適當更新就能夠確切地求出資源的消耗量。
[0110]另外，在該實施方式中，功能部200、300、400、500能夠選取能量消耗量互不相同的多個待機狀態(tài)。通過設置多個待機狀態(tài)，能夠更加細致地控制功能部200、300、400、500的狀態(tài)。
[0111]另外，該實施方式的數(shù)據(jù)庫存儲多種在各功能部的各狀態(tài)下消耗的資源(遷移時間以及保持電力的兩種)。因此，裝置控制部50能夠同時計算出使各功能部200、300、400、500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的所需時間和恢復所需的電能。由此，能夠更加細致地管理功能部200、300、400、500的狀態(tài)。另外，能夠根據(jù)需要來控制優(yōu)先縮短確定功能部200、300、400、500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止的時間，還是優(yōu)先減少確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止消耗的電能。因此，能夠更加恰當?shù)乜刂拼_定功能部200、300、400、500的狀態(tài)。
[0112]這樣，在第一實施方式中，基板處理系統(tǒng)I相當于本發(fā)明的“基板處理系統(tǒng)”的一個例子，基板處理裝置20相當于本發(fā)明的“基板處理裝置”的一個例子，基板處理裝置20的裝置控制部50分別相當于本發(fā)明的“控制部”，“資源消耗量獲取部”、“信息獲取裝置”以及“計算機”的一個例子，主機10的主控制部11相當于本發(fā)明的“控制裝置”的一個例子，主機10的顯示部13相當于本發(fā)明的“顯示裝置”的一個例子。另外，在第一實施方式中，求出恢復時間來作為資源的量，單元恢復時間相當于本發(fā)明的“單元消耗量”的一個例子，裝置恢復時間相當于本發(fā)明的“裝置消耗量”的一個例子。
[0113][第二實施方式]
[0114]對本發(fā)明的基板處理系統(tǒng)的第二實施方式進行說明。在第二實施方式中，代替第一實施方式的裝置恢復時間獲取處理(參照圖9)，而進行裝置恢復電能獲取處理，求出恢復電能來作為資源的消耗量。在裝置恢復電能獲取處理中，通過與第一實施方式類似的手法來求出裝置恢復時間，利用該裝置恢復時間來決定各確定功能部的恢復動作的時間表。接下來，求出各單元恢復時消耗的消耗電能，基于該消耗電能來決定預定使用單元。然后，將預定使用單元的消耗電能以及單元以外的確定功能部的消耗電能相加來計算裝置恢復電能。第二實施方式中，基于這樣求出的裝置恢復電能來決定使執(zhí)行預定執(zhí)行配方的裝置。
[0115]第二實施方式的設備結(jié)構與第一實施方式相同，所以共用的功能部使用與第一實施方式相同的附圖標記來進行說明。這里，圖13是表示裝置恢復電能獲取處理的流程圖，圖14A?14D是表示功能部的恢復動作的時間表的圖。更詳細而言，圖14A?14D是沿著時間軸對各確定功能部根據(jù)后述的時間表來執(zhí)行恢復動作時所需的電能進行說明的時序圖。圖15是表示裝置恢復電能獲取處理的具體例的圖。此外，在第二實施方式中，也與第一實施方式同樣地，所提供的預定執(zhí)行配方是圖5A、5B所示的配方，各功能部的當前狀態(tài)為圖1lAUlB的點線框所示的狀態(tài)。
[0116]基于圖13，對裝置恢復電能獲取處理進行說明。在裝置恢復電能獲取處理中，首先以與第一實施方式類似的手法來決定裝置恢復時間。若從主機10接收到預定執(zhí)行配方，則基板處理裝置20的裝置控制部50讀取預定執(zhí)行配方的內(nèi)容，確定出能夠按照該預定執(zhí)行配方執(zhí)行承擔處理的功能部(步驟S301、S302)。在圖5A、5B所示的配方中，規(guī)定有執(zhí)行藥液處理以及沖洗處理，所以藥液處理部400、沖洗處理部500、藥液供給部200以及沖洗液供給部300全部被確定為確定功能部(特定功能部)。
[0117]接下來，裝置控制部50訪問數(shù)據(jù)庫62，根據(jù)各確定功能部的當前狀態(tài)、“遷移時間(一)”所示的時間、由配方內(nèi)容規(guī)定的運轉(zhuǎn)狀態(tài)(藥液供給部200的狀態(tài)C為本配方中的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，沖洗液供給部300的狀態(tài)A為本配方中的運轉(zhuǎn)狀態(tài))通過計算來求出并預測功能部恢復時間(步驟S303)。若求出了各確定功能部的功能部恢復時間，則對于各清洗單元100AU00B，將各單元所包含的確定功能部(藥液處理部400以及沖洗處理部500)的功能部恢復時間中最長的功能部恢復時間作為單元恢復時間(步驟S304)。由此，可知使清洗單元100AU00B從當前狀態(tài)恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間(單元恢復時間)分別為I分40秒和I分鐘(參照圖12)。另一方面，可知使藥液供給部200以及沖洗液供給部300從當前狀態(tài)恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間(清洗單元以外的功能部恢復時間)分別為50分鐘和I小時(參照圖12)。接著，在單元恢復時間以及除了清洗單元以外的功能部恢復時間中，將最長的恢復時間決定為裝置恢復時間(步驟S305)。這里，沖洗液供給部300的功能部恢復時間(I小時)最長，所以將此決定為裝置恢復時間。
[0118]接下來，決定使各確定功能部在裝置恢復時間內(nèi)恢復的時間表(步驟S306)。圖14A是使清洗單元100A的藥液處理部400恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的時間表。根據(jù)在步驟S305中求出的裝置恢復時間，推測出本裝置的恢復結(jié)束時刻為I小時后，即，推測出預定執(zhí)行配方在該恢復結(jié)束的時刻執(zhí)行。因此，期望各確定功能部在I小時后恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。如圖11A、IlB所示，清洗單元100A的藥液處理部400的當前狀態(tài)為待機狀態(tài)B。從待機狀態(tài)B恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間是累計從待機狀態(tài)B遷移至待機狀態(tài)A所需時間(30秒)和從待機狀態(tài)A遷移至運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間(20秒)而成的50秒。因此，清洗單元100A的藥液處理部400的恢復動作從現(xiàn)在開始經(jīng)過59分10秒后開始即可。因此，對于清洗單元100A的藥液處理部400，決定這樣的時間表:將當前的待機狀態(tài)B持續(xù)59分10秒鐘，之后依次執(zhí)行從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移動作和從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移動作。
[0119]圖14B是使清洗單元100A的沖洗處理部500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的時間表。如圖11A、IlB所示，清洗單元100A的沖洗處理部500的當前狀態(tài)為待機狀態(tài)C。從待機狀態(tài)C恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間是累計從待機狀態(tài)C遷移到待機狀態(tài)B所需時間(40秒)、從待機狀態(tài)B遷移到待機狀態(tài)A所需時間(40秒)、從待機狀態(tài)A遷移到運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間(20秒)而成的I分40秒。因此，從現(xiàn)在開始經(jīng)過58分20秒后開始清洗單元100A的沖洗處理部500的恢復動作即可。因此，對于清洗單元IOOA的沖洗處理部500，決定這樣的時間表:將當前的待機狀態(tài)C持續(xù)58分20秒鐘，之后，依次執(zhí)行從待機狀態(tài)C向待機狀態(tài)B的遷移動作、從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移動作、從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移動作。
[0120]圖14C是使清洗單元100B的藥液處理部400恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的時間表。如圖11A、IlB所示，清洗單元100B的藥液處理部400的當前狀態(tài)為待機狀態(tài)A。從待機狀態(tài)A恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間為20秒。因此，清洗單元100B的藥液處理部400的恢復動作在從現(xiàn)在開始經(jīng)過59分40秒后開始即可。因此，對于清洗單元100B的藥液處理部400，決定這樣的時間表:將當前的待機狀態(tài)A持續(xù)59分40秒鐘，之后，執(zhí)行從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移動作。
[0121]圖14D是使清洗單元100B的沖洗處理部500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的時間表。如圖11A、IlB所示，清洗單元100B的沖洗處理部500的當前狀態(tài)為待機狀態(tài)B。從待機狀態(tài)B恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需時間是累計從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移所需時間(40秒)和從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)遷移所需時間(20秒)而成的I分鐘。因此，清洗單元100B的沖洗處理部500的恢復動作在從現(xiàn)在開始經(jīng)過59分鐘后開始即可。因此，對于清洗單元100B的沖洗處理部500，決定這樣的時間表:將當前的待機狀態(tài)B持續(xù)59分鐘，之后，依次執(zhí)行從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移動作和從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移動作。
[0122]根據(jù)相同的想法，對于藥液供給部200，決定這樣的時間表:將當前的停止狀態(tài)保持10分鐘，之后，決定依次執(zhí)行從停止狀態(tài)向狀態(tài)D的遷移動作(需要30分鐘)和從狀態(tài)D向狀態(tài)C (運轉(zhuǎn)狀態(tài))的遷移動作(需要20分鐘)。對于沖洗液供給部300，決定這樣的時間表:從當前的狀態(tài)C立即開始向狀態(tài)B的遷移，接下來執(zhí)行從狀態(tài)B向狀態(tài)A (運轉(zhuǎn)狀態(tài))的遷移。
[0123]接下來，裝置控制部50訪問數(shù)據(jù)庫62，計算出根據(jù)在步驟S306中決定的時間表來使各確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)(步驟S307)。
[0124]如圖11A、IIB所示，清洗單元100A的藥液處理部400在待機狀態(tài)B下的保持電力為lkW。根據(jù)所決定的時間表，使該藥液處理部400的待機狀態(tài)B持續(xù)59分10秒鐘。因此，該藥液處理部400在持續(xù)待機狀態(tài)B的過程中消耗的電能為0.986kWh(=lkWX59minl0sec)。接下來，清洗單元100A的藥液處理部400從待機狀態(tài)B遷移到待機狀態(tài)A。該遷移期間的該藥液處理部400的電力(遷移時電力)，根據(jù)待機狀態(tài)B下的保持電力(IkW)和待機狀態(tài)A下的保持電力(1.5kff)的平均值而被視為1.25kW。從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移期間為30秒鐘，所以在該遷移期間消耗的電能為0.0lOkffhC=L 25kWX30sec)。接下來，清洗單元100A的藥液處理部400從待機狀態(tài)A遷移到運轉(zhuǎn)狀態(tài)。該遷移期間的該藥液處理部400的電力(遷移時電力)，根據(jù)待機狀態(tài)A下的保持電力(1.5kW)和運轉(zhuǎn)狀態(tài)下的保持電力(2kW)平均值而被視為1.75kW。從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移期間為20秒鐘，所以在該遷移期間消耗的電能為0.0lOkffh (=1.75kWX20sec)。以上，根據(jù)在步驟S306中決定的時間表使清洗單元100A的藥液處理部400恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和 1.006kffh (=0.986kffh+0.010kffh+0.0IOkffh)0
[0125]對清洗單元IOOA的沖洗處理部500執(zhí)行相同的計算。根據(jù)在步驟S306中求出的時間表，該沖洗處理部500在待機狀態(tài)C待機58分20秒鐘，接下來依次執(zhí)行從待機狀態(tài)C向待機狀態(tài)B的遷移，從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移，從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移。在待機狀態(tài)C中沖洗處理部500消耗的電能為0.486kWh。另外，在各遷移期間消耗的電能分別為，0.008kffh,0.014kffh,以及0.0lOkWh。以上，根據(jù)上述時間表使該沖洗處理部500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和0.518kffh (=0.486kffh+0.008kffh+0.014kffh+0.0lOkWh)。因此，根據(jù)上述時間表而使由上述藥液處理部400和沖洗處理部500構成的清洗單元100A整體恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(單元恢復電能)為 1.524kffh (=1.006kffh+0.518kWh)。
[0126]接下來，計算使清洗單元100B的藥液處理部400恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)。根據(jù)上述時間表，該藥液處理部400在待機狀態(tài)A下待機59分40秒鐘。在該期間該藥液處理部400消耗的電能為1.492kWh。從接下來的待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移期間消耗的電能為0.0lOkWh。以上，根據(jù)上述時間表使該藥液處理部400恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和1.502kWh(=1.492kffh+0.0IOkffh)ο
[0127]同樣地，計算使清洗單元100B的沖洗處理部500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(功能部恢復電能)。根據(jù)上述時間表，該沖洗處理部500在待機狀態(tài)B下待機59分鐘。在該期間該沖洗處理部500消耗的電能，根據(jù)待機狀態(tài)B下的保持電力和待機時間的積而為0.983kffh(=IkWX 59min)。另外，在從待機狀態(tài)B向待機狀態(tài)A的遷移期間內(nèi)消耗的電能、從待機狀態(tài)A向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的遷移期間消耗的電能，根據(jù)各遷移期間中的遷移時電力和各期間的長度的積，而分別為 0.014kWh (=1.25kWX40sec)、0.0lOkWh (=1.75kWX20sec)。以上，根據(jù)上述時間表，使該沖洗處理部500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和1.007kffh(=0.983kffh+0.014kffh+0.0lOkWh)。因此，使由上述藥液處理部400和沖洗處理部500構成的清洗單元100B整體恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(單元恢復電能)為2.509kffh (=1.502kffh+l.007kffh)o
[0128]接下來，計算使藥液供給部200恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能。根據(jù)步驟S306中求出的時間表，該藥液供給部200在停止狀態(tài)下待機10分鐘。該期間的消耗電能為零。從停止狀態(tài)向待機狀態(tài)D的遷移期間消耗的電能和從待機狀態(tài)D向運轉(zhuǎn)狀態(tài)的待機狀態(tài)C的遷移期間消耗的電能，根據(jù)在各遷移期間中的遷移時電力和各期間的長度的積，分別為0.250kffh(=0.5kWX30min)、0.500kff (=1.5kWX20min)。以上，根據(jù)上述時間表，用于使該藥液供給部200恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和0.750kff(=0.250kffh+0.500kffh)o
[0129]同樣地，計算用于使沖洗液供給部300恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需電能。根據(jù)步驟S306中求出的時間表，該沖洗液供給部300花30分鐘從當前的待機狀態(tài)C遷移至待機狀態(tài)B。在該遷移期間，根據(jù)遷移時電力和遷移期間的長度的積而消耗2.0OOkffh (=4kWX30min)的電能。接下來，花30分鐘從待機狀態(tài)B遷移到運轉(zhuǎn)狀態(tài)的待機狀態(tài)A。在該遷移期間，根據(jù)遷移時電力和期間的長度的積而消耗3.750kffh (=7.5kWX30min)的電能。以上，根據(jù)上述時間表，用于使沖洗液供給部300恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)為上述各期間中的電能的和 5.750kffh (=2.000kffh+3.750kWh)。
[0130]在一個基板處理裝置20中具有多個可實施相同種類的承擔處理的清洗單元100的情況下，需要決定從該多個清洗單元100中將哪個單元使用于執(zhí)行基板處理。因此，若求出各清洗單元100A、100B的單元恢復電能，則基于各清洗單元100A，100B的單元恢復電能來決定預定使用于基板處理的預定使用單元(步驟S308)。在該實施方式中，清洗單元IOOA的單元恢復電能為1.524kWh，清洗單元100B的單元恢復電能為2.509kWh，所以將具有最小的單元恢復電能的清洗單元100A決定為預定使用單元(參照圖15)。通過這樣將單元恢復電能小的單元作為預定使用單元，能夠?qū)崿F(xiàn)后述的裝置恢復電能的減少。
[0131]最后，累計在步驟S308中決定為預定使用單元的清洗單元100A的單元恢復電能和未包含在清洗單元100AU00B中的各確定功能部的功能部恢復電能，來作為裝置恢復電能(步驟S309)。即，如圖15所示,累計清洗單元100A的單元恢復電能1.524kWh、藥液供給部200的功能部恢復電能0.750kWh、沖洗液供給部300的功能部恢復電能5.750kWh，得出
8.024kWh成為裝置恢復電能。這樣求出的裝置恢復電能意味著，包含在基板處理裝置20中的預定使用單元100A以及未包含在清洗單元100AU00B中的確定功能部全部成為運轉(zhuǎn)狀態(tài)為止消耗的電能，即，基板處理裝置20變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行所提供的預定執(zhí)行配方為止所消耗的恢復電能。
[0132]然后，將這樣求出的基板處理裝置20A、20B、20C各自的裝置恢復電能輸出至主機10，主機10的主控制部11基于各裝置恢復電能，決定使哪個裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方。例如，能夠決定為使裝置恢復電能最小的裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0133]如以上說明，在該實施方式中，執(zhí)行確定動作(步驟S302)，在該確定動作中，若接收到以后要執(zhí)行的預定配方即預定執(zhí)行配方，則從多個功能部200、300、400、500中確定出能夠按照該預定執(zhí)行配方執(zhí)行承擔處理的功能部。然后，基于使各確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的功能部恢復時間來求出裝置恢復時間(步驟S303?S305)，按照該裝置恢復時間決定使各確定功能部恢復的時間表(步驟S306)。這樣，計算出基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行預定執(zhí)行配方為止所需的裝置恢復時間，基于該裝置恢復時間來設定各確定功能部的恢復動作的時間表，從而能夠使各確定功能部在裝置恢復時間結(jié)束之前可靠地恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。另外，基于該時間表來預測使各確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能(功能部恢復電能)(步驟S307)。這樣，根據(jù)配方的內(nèi)容來確切地求出用于使能夠執(zhí)行承擔處理的功能部200、300、400、500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)的所需電能(資源)，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的管理。即，不僅考慮為了執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使確定功能部恢復時所需時間，還考慮恢復所需的電能，從而進行伴隨基板處理的管理。由此，不僅能夠縮短執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止的時間，還能夠減少到恢復為止消耗的電能。
[0134]另外，在該實施方式的基板處理系統(tǒng)I中，基于針對各基板處理裝置20A、20B、20C求出的確定功能部200、300、400、500的功能部恢復電能，求出各基板處理裝置20A、20B、20C的裝置恢復電能。根據(jù)這樣的結(jié)構，能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方來求出裝置恢復電能，有利于隨著執(zhí)行預定執(zhí)行配方而對基板處理裝置20A、20B、20C進行恰當管理。并且，基于這樣獲取的裝置恢復電能，從多個基板處理裝置20A、20B、20C中決定使其執(zhí)行預定執(zhí)行配方的基板處理裝置20。由此，能夠決定將根據(jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的電能的管理的觀點來看恰當?shù)幕逄幚硌b置20用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0135]特別是，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部200、300、400,500恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能求出裝置恢復電能，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來確切地求出裝置恢復電能。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的電能管理。
[0136]另外，在該實施方式中，在多個清洗單元100AU00B中分別設置有能夠執(zhí)行相同的承擔處理(藥液處理、沖洗處理)的功能部400、500。因此，有時，設置在清洗單元100A、IOOB的各個的功能部400、500在步驟S302中都被確定為確定功能部。在這樣的情況下，需要決定使清洗單元100A、100B中的哪個執(zhí)行該處理。因此，在該實施方式中，將確定功能部400、500的功能部恢復電能做為判斷基準，決定使用清洗單元100AU00B中的哪一個(步驟S308)。由此，能夠決定根據(jù)開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的電能的管理的觀點來看恰當?shù)那逑磫卧?00。特別是，該實施方式中，按每個清洗單元100AU00B求出能夠使用清洗單元100A、100B為止所需的電能(單元恢復電能),從而能夠容易地判斷根據(jù)電能管理的觀點來看哪個清洗單元100恰當。
[0137]并且，根據(jù)能夠執(zhí)行與預定執(zhí)行配方對應的承擔處理的確定功能部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能，求出單元恢復電能，所以能夠根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來確切地求出單元恢復電能。其結(jié)果，能夠恰當?shù)貓?zhí)行伴隨基板處理的電能管理。
[0138]另外，在本實施方式中，計算能夠執(zhí)行所接收的預定執(zhí)行配方的裝置恢復時間，基于該裝置恢復時間來設定各確定功能部的恢復動作的時間表。因此，能夠使各確定功能部在裝置恢復時間結(jié)束之前可靠地恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)。并且，在本實施方式中，以如下方式設定恢復時間表，即，使得藥液處理部400或沖洗處理部500等的恢復時間比較短的單元，較晚地開始恢復動作。因此，能夠減少恢復所需的消耗電能。另外，根據(jù)本實施方式，不僅考慮為了執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使確定功能部恢復時所需的時間，還考慮恢復時所需的電能，從而進行伴隨基板處理的管理。因此，不僅能夠縮短執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止的時間，也能夠減少到變?yōu)榛謴蜑橹顾牡碾娔堋?br> [0139]此外，在本實施方式中，各確定功能部的恢復動作只進行了從保持電力少的待機狀態(tài)向保持電力多的待機狀態(tài)依次遷移的動作。例如，如圖14A所示，清洗單元100A的藥液處理部400從當前的待機狀態(tài)B (保持電力IkW)向待機狀態(tài)A (保持電力1.5kW)遷移，接下來從待機狀態(tài)向運轉(zhuǎn)狀態(tài)(保持電力2kW)遷移，這樣從保持電力小的狀態(tài)向保持電力更多的狀態(tài)依次遷移。然而，在待機狀態(tài)B中保持電力也比較大，所以在裝置恢復時間比較長的情況下，也可以設定這樣的時間表:從待機狀態(tài)B向保持電力更少的待機狀態(tài)C或停止狀態(tài)暫時遷移后，使開始恢復動作趕得上裝置恢復的時間。這樣，功能部能夠從多個待機狀態(tài)中根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容來選擇待機狀態(tài)，從而能夠更加積極地減少消耗電能。
[0140]然而，上述的清洗單元100A、100B各自具有相互承擔不同處理的多個功能部(藥液處理部400、沖洗處理部500)。因此，根據(jù)預定執(zhí)行配方的內(nèi)容，有時這些功能部400、500雙方都被確定為確定功能部。在這樣的情況下，在該實施方式中，按每個清洗單元100A、100B求出多個確定功能部400、500的功能部恢復電能的累計值，來作為單元恢復電能。這樣求出的單元恢復電能是使包含在清洗單元100AU00B中的確定功能部400、500全部恢復為運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能，換言之，是作為功能部的集合體的清洗單元100AU00B成為能夠執(zhí)行預定執(zhí)行配方的狀態(tài)為止所需的電能。因此，能夠確切地把握單元恢復時間。并且，在該實施方式的基板處理裝置20中，單元恢復電能最小的清洗單元100A被決定為用于執(zhí)行預定執(zhí)行配方(步驟S308)。由此，能夠有效地抑制為了開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方而使清洗單元100恢復時所需的電能。
[0141]此外，在第二實施方式中，采用了這樣的步驟:首先將單元恢復時間以及清洗單元以外的功能部恢復時間中最長的恢復時間作為裝置恢復時間(步驟S305)，根據(jù)基于該裝置恢復時間決定的時間表，來計算各確定功能部的消耗電能(步驟S306 )，基于該消耗電能來決定預定使用單元(步驟S307)。然而，也可以首先基于單元恢復時間來決定預定使用單元，然后，根據(jù)該預定使用單元的單元恢復時間以及清洗單元以外的功能部恢復時間來求出裝置恢復時間，基于該裝置恢復時間來決定時間表。
[0142]另外，在第二實施方式中，參照各待機狀態(tài)的保持電力的平均值，來計算從某個待機狀態(tài)向其它待機狀態(tài)遷移時的消耗電能。然而，也可以實際測量從某個待機狀態(tài)向其它待機狀態(tài)遷移時的消耗電能之后，將該消耗電能作為狀態(tài)遷移時消耗的遷移電能而預先存儲于數(shù)據(jù)庫62中。
[0143]這樣，在第二實施方式中，求出恢復電能作為資源的量，單元恢復電能相當于本發(fā)明的“單元消耗量”的一個例子，裝置恢復電能相當于本發(fā)明的“裝置消耗量”的一個例子。
[0144][其它實施方式]
[0145]本發(fā)明不限于上述的實施方式，在不脫離其主旨的情況下能夠進行上述以外的各種變更。例如，在上述實施方式中，在確定動作(步驟S202、302)中確定的確定功能部200、300、400、500的資源的消耗量，用作從多個基板處理裝置20或多個清洗單元100中選擇要使用部件的基準。然而，使用確定功能部進行恢復所需的資源的消耗量的獲取結(jié)果的用途不限于這些，還能夠用于伴隨基板處理的各種管理。關于該點，舉出具體的變形例進行說明。
[0146]第一變形例
[0147]在該第一變形例中，說明基于在預定執(zhí)行配方中預定使用的確定功能部的恢復所需的資源的消耗量，來調(diào)整使基板處理裝置20執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。換句話說，在該第一變形例中，在上述的步驟S500 (圖9)中，在執(zhí)行預定執(zhí)行配方時，主機10調(diào)整預定執(zhí)行配方的開始時刻。此時的具體的調(diào)整方式可以考慮各種的變更。
[0148]例如，在求出裝置恢復時間來作為裝置消耗量的情況下，能夠預測出能夠用相應的基板處理裝置20執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時刻在開始恢復后至少經(jīng)過了裝置恢復時間的恢復結(jié)束時刻以后。因此，主機10將預定執(zhí)行配方的預定執(zhí)行時刻設定為恢復結(jié)束時刻以后。
[0149]或者，在存儲于主機10中的生產(chǎn)計劃等中規(guī)定了預定執(zhí)行配方的預定執(zhí)行時刻的情況下，主機10也可以按照裝置恢復時間來調(diào)整該預定執(zhí)行時刻。換句話說，根據(jù)針對基板處理裝置20求出的裝置恢復時間，能夠預測出在預定執(zhí)行時刻之前基板處理裝置20的恢復(恢復成運轉(zhuǎn)狀態(tài))結(jié)束的情況下，使預定執(zhí)行時刻提前。另一方面，在能夠預測出在預定執(zhí)行時刻之后基板處理裝置20的恢復(恢復成運轉(zhuǎn)狀態(tài))結(jié)束的情況下，使預定執(zhí)行時刻延遲。
[0150]在這樣的結(jié)構中，以裝置消耗量(裝置恢復時間)為判斷基準，調(diào)整執(zhí)行預定執(zhí)行配方的時機。因此，能夠在與開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方所需的資源(時間)的消耗量對應的恰當?shù)臅r機，執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0151]并且，主機10也可以根據(jù)調(diào)整后的預定執(zhí)行配方的執(zhí)行時機，控制用于使要在預定執(zhí)行配方中使用的確定功能部200、300、400、500恢復的時機。此時的具體的控制方式也
可以考慮各種變更。
[0152]例如，在要提前開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方的情況下，使確定功能部200、300、400、500的恢復(用于恢復成運轉(zhuǎn)狀態(tài)的過程)的開始時刻提前；在要延遲開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方的情況下，使確定功能部200、300、400、500的恢復(用于恢復成運轉(zhuǎn)狀態(tài)的過程)的開始時刻延遲即可。這樣，基于執(zhí)行時機來控制使確定功能部200、300、400、500恢復的時機，從而能夠在與執(zhí)行時機對應的時機使確定功能部200、300、400、500的恢復結(jié)束，能夠縮短確定功能部200、300、400、500的恢復(過程)結(jié)束至開始執(zhí)行預定執(zhí)行配方為止的期間，即，縮短在能量消耗量多的運轉(zhuǎn)狀態(tài)下的待機期間。
[0153]此外，也可以使基板處理裝置20的裝置控制部50執(zhí)行上述的時機的控制，也可以使主機10、基板處理裝置20之外的裝置執(zhí)行上述的時機的控制。
[0154]第二變形例
[0155]或者，對于特定的基板處理裝置20，確立了使執(zhí)行多個預定執(zhí)行配方的計劃的情況等時，也可以基于預定執(zhí)行配方中預定使用的確定功能部的恢復所需資源的消耗量的預測結(jié)果，來從多個預定執(zhí)行配方中決定下一個預定執(zhí)行配方。具體而言，主機10也可以基于與上述實施方式同樣地求出的裝置消耗量(裝置恢復時間、裝置恢復電能)，從多個預定執(zhí)行配方中決定使成為對象的基板處理裝置20下一個執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。此時的具體的選擇基準可以考慮各種變更。
[0156]例如，能夠進行這樣的控制:若其開始所需的資源(時間、電力等)的消耗量比較小(例如最小)，則接下來執(zhí)行能夠根據(jù)裝置消耗量而預測出的預定執(zhí)行配方?；蛘哌M行這樣的控制:在接下來能夠開始執(zhí)行配方的時機因其它事項而已決定的情況下，接下來執(zhí)行在多個預定執(zhí)行配方中的特定的預定執(zhí)行配方，該特定的預定執(zhí)行配方是指，若在該時機之前能夠結(jié)束恢復，則能夠根據(jù)裝置恢復時間預測出的預定執(zhí)行配方。在這樣的結(jié)構中，將與預定執(zhí)行配方對應的裝置消耗量作為判斷基準，決定接下來執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。因此，能夠決定接下來執(zhí)行根據(jù)其開始所需的資源的消耗量的管理的觀點來看恰當?shù)念A定執(zhí)行配方。
[0157]此外，也可以使基板處理裝置20的裝置控制部50執(zhí)行用于決定上述的預定執(zhí)行配方的處理，也可以使主機10或基板處理裝置20之外的裝置執(zhí)行用于決定上述的預定執(zhí)行配方的處理。
[0158]其它
[0159]對于上述的實施方式，可以進一步進行如下的變更。例如，也可以在基板處理裝置20的裝置控制部50中預測的功能部恢復時間和實際上其功能部的恢復所需的恢復時間之間存在差異的情況下，基于這些恢復時間之差，來修正之后求出的功能部恢復時間。具體而言，裝置控制部50針對每個功能部，實際測量從任意狀態(tài)恢復到運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間，在與功能部恢復時間的預測值相比，功能部的恢復中實際所需的實際時間長的情況下，將之后預測的功能部恢復時間修正為較長即可。由此，能夠根據(jù)之前的實際時間來求出功能部恢復時間。此外，進行這樣的修正的對象不限于功能部恢復時間，也可以是單元恢復時間或裝置恢復時間，也可以是功能部恢復電能、單元恢復電能、裝置恢復電能等其它的資源的消耗量。
[0160]另外，如上述實施方式中例示，有時為了執(zhí)行預定執(zhí)行配方而需要使多個功能部200、300、400、500中的多個功能部作為確定功能部來進行恢復。在這樣的情況下，能夠恰當?shù)卦O定使這些多個確定功能部開始恢復的時機。因此，例如，也可以控制為不像在第二實施方式中說明那樣使全部確定功能部同時開始恢復，而是使全部確定功能部的恢復結(jié)束時刻相同。由此，能夠使確定功能部盡量長地保持在待機狀態(tài)而減少能量的消耗量。此時，如上述，也可以是暫時使從能量消耗量多的待機狀態(tài)向能量消耗量少的待機狀態(tài)遷移后，開始從該能量消耗量少的待機狀態(tài)向運轉(zhuǎn)狀態(tài)恢復。
[0161]另外，也可以不是用基板處理裝置20的裝置控制部50計算恢復時間或恢復電能這樣的資源的消耗量，而是用主機10的主控制部11來計算恢復時間或恢復電能這樣的資源的消耗量。即，也可以使主控制部11作為本發(fā)明的“信息獲取裝置”發(fā)揮功能。另外，在基板處理裝置20A、20B、20C中的任意一個裝置控制部50中，也可以進行決定處理，來決定使哪個裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方。此時，進行決定處理的基板處理裝置20的裝置控制部50作為本發(fā)明的“控制裝置”發(fā)揮功能。并且，也可以將起到本發(fā)明的“信息獲取裝置”以及“控制裝置”中至少任意一方的功能的裝置，設置為主機10或基板處理裝置20之外的獨立的裝置。
[0162]另外，在上述實施方式中，從多個處理單元選擇一個使其執(zhí)行基板處理的單元。然而，使其執(zhí)行基板處理的處理單元也可以是兩個以上，在選擇兩個以上的單元時，也能夠從單元恢復時間或單元恢復電能小的單元開始優(yōu)先選擇。同樣地，在上述實施方式中，從多個基板處理裝置只選擇一個使其執(zhí)行基板處理的裝置，但使其執(zhí)行基板處理的基板處理裝置也可以是兩個以上，選擇兩個以上的裝置時，也能夠從裝置恢復時間或裝置恢復電能小的單元開始優(yōu)先選擇。
[0163]另外，在上述實施方式中，基于存儲在數(shù)據(jù)庫62的資源的消耗量來求出功能部恢復時間或功能部恢復電能，但數(shù)據(jù)庫62不是必需的構成要件。例如，也可以在存儲部60中保存用于計算功能部恢復時間或功能部恢復電能的計算式，使用該計算式來求出功能部恢復時間或功能部恢復電能。
[0164]另外，上述實施方式中，在主機10的顯示部13上顯示裝置恢復時間、執(zhí)行預定執(zhí)行配方的基板處理裝置，但也可以在顯示部13上顯示除此以外的信息。例如，也可以顯示圖8所示的數(shù)據(jù)庫62的內(nèi)容，也可以顯示各功能部的當前狀態(tài)等的信息。而且也可以是代替主機10的顯示部13或者在此基礎之上，在基板處理裝置20上設置顯示部。
[0165]另外，上述實施方式中，說明了求出恢復時間或恢復電能來作為資源的消耗量的情況，但除此以外，例如還可以求出藥液或沖洗液的消耗量來作為資源的消耗量。并且，也可以求出多個資源的消耗量，基于多個資源的消耗量來進行決定處理。例如，也可以針對各基板處理裝置20A、20B、20C求出裝置恢復時間以及裝置恢復電能的雙方，在裝置恢復時間相同的情況下使裝置恢復電能更小的裝置執(zhí)行預定執(zhí)行配方。
[0166]另外，在上述實施方式中，例示具備多個基板處理裝置20的基板處理系統(tǒng)I進行了說明。然而，也可以對具備一個基板處理裝置20的基板處理系統(tǒng)I應用本發(fā)明。并且，在上述實施方式中，例示具備多個清洗單元100的基板處理裝置20進行了說明。然而，也可以對于具備一個清洗單元100的基板處理裝置20應用本發(fā)明。
[0167]本發(fā)明適用于對包含半導體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶顯示用玻璃基板、等離子體顯示用玻璃基板、FED用基板、光盤用基板、磁盤用基板、光磁盤用基板等的基板全體實施處理的基板處理裝置、基板處理系統(tǒng)以及基板處理裝置的控制方法。
【權利要求】
1.一種基板處理裝置，其特征在于，具備: 多個功能部，能夠選擇性地選取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)的能量的消耗量少的待機狀態(tài)， 控制部，在上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)和上述待機狀態(tài)之間控制各上述功能部的狀態(tài)，并且在執(zhí)行規(guī)定有對上述基板進行處理的步驟的配方時，使承擔與上述配方對應的上述承擔處理的上述功能部選取上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)來執(zhí)行上述承擔處理， 資源消耗量獲取部，若接收到預定執(zhí)行配方，則執(zhí)行確定動作并且求出資源消耗量，上述預定執(zhí)行配方是指以后要執(zhí)行的預定的上述配方，在上述確定動作中，從上述多個功能部中確定出能夠承擔與上述預定執(zhí)行配方對應的上述承擔處理的上述功能部，來作為確定功能部，并且，上述資源消耗量獲取部求出使在上述確定動作中確定的上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
2.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 分別設置有能夠執(zhí)行相同的承擔處理的上述功能部的多個處理單元， 上述資源消耗量獲取部，按每個上述處理單元求出通過上述確定動作確定出的上述確定功能部的上述資源的消耗量， 上述控制部，基于由上述資源消耗量獲取部按每個上述處理單元求出的上述確定功能部的上述資源的消耗量，從上述多個處理單元中決定為了執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方而使用的上述處理單元。
3.根據(jù)權利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，基于上述確定功能部的上述資源的消耗量，按每個上述處理單元，求出上述處理單元恢復到能夠用于執(zhí)行上述預定執(zhí)行為止所需的上述資源的消耗量，來作為單元消耗量， 上述控制部，基于上述單元消耗量來決定為了執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方而使用的上述處理單元。
4.根據(jù)權利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，基于在求出功能部恢復時間來作為上述確定功能部的上述資源的消耗量時求出的結(jié)果，按每個上述處理單元求出單元恢復時間來作為上述單元消耗量， 上述功能部恢復時間是指，使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間， 上述單元恢復時間是指，使上述處理單元變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的時間。
5.根據(jù)權利要求4所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，在針對上述各處理單元而存在多個上述確定功能部的情況下，按每個上述處理單元，在上述處理單元的上述多個確定功能部的上述功能部恢復時間中，求出最長的上述功能部恢復時間，來作為上述單元恢復時間。
6.根據(jù)權利要求4或5所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述控制部，決定為將上述單元恢復時間最短的上述處理單元用于執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方。
7.根據(jù)權利要求3所述的基板處理裝置，其特征在于，上述資源消耗量獲取部，基于在求出功能部恢復電能來作為上述確定功能部的上述資源的消耗量時求出的結(jié)果，按每個上述處理單元求出單元恢復電能來作為上述單元消耗量， 上述功能部恢復電能是指，使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能， 單元恢復電能是指，使上述處理單元變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的電能。
8.根據(jù)權利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，在針對上述各處理單元而存在多個上述確定功能部的情況下，按每個上述處理單元，求出累計上述處理單元的上述多個確定功能部的上述功能部恢復電能的值，來作為上述單元恢復電能。
9.根據(jù)權利要求7或8所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述控制部，決定為將上述單元恢復電能最小的上述處理單元用于執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方。
10.根據(jù)權利要求1~3中任意一項所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，從上述多個功能部中確定出多個能夠承擔與上述預定執(zhí)行配方對應的上述承擔處理的上述功能部，來作為多個確定功能部，并且針對上述多個確定功能部中的每一個來求出功能部恢復時間，基于針對上述多個確定功能部中的每一個而求出的上述功能部恢復時間來決定裝置恢復時間，上述功能部恢復時間是使被確定的上述多個確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間，上述裝置恢復時間是指使基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的時間， 上述控制部，基于上述裝置`恢復時間來決定使上述多個確定功能部的向上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)進行恢復動作的時間表，并且按照上述時間表使上述多個確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
11.根據(jù)權利要求10所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述資源消耗量獲取部，求出按照上述時間表來使上述多個確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能。
12.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述控制部，基于對上述確定功能部求出的上述資源的消耗量，調(diào)整執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方的時機。
13.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述控制部，根據(jù)上述預定執(zhí)行配方的執(zhí)行時機，控制使在上述預定執(zhí)行配方中要使用的上述確定功能部恢復的時機。
14.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 該基板處理裝置能夠執(zhí)行多個上述預定執(zhí)行配方， 上述控制部，基于由上述資源消耗量獲取部求出的與上述預定執(zhí)行配方對應的上述確定功能部的上述資源的消耗量，從上述多個預定執(zhí)行配方中決定接下來要執(zhí)行的上述預定執(zhí)行配方。
15.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 基于由上述資源消耗量獲取部求出的使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的上述資源的消耗量、為了使該確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)而實際消耗的上述資源的消耗量，之后由上述資源消耗量獲取部調(diào)整作為使該確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的上述資源的消耗量而求出的值。
16.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 還具有按每個上述功能部的狀態(tài)而存儲有上述資源的消耗量的數(shù)據(jù)庫， 上述資源消耗量獲取部，基于上述數(shù)據(jù)庫來求出使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的上述資源的消耗量。
17.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述功能部能夠取上述能量的消耗量各異的多個上述待機狀態(tài)。
18.根據(jù)權利要求17所述的基板處理裝置，其特征在于， 上述功能部能夠從上述多個待機狀態(tài)中選取與上述預定執(zhí)行配方的內(nèi)容對應的上述待機狀態(tài)。
19.根據(jù)權利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 還具備顯示部，其用于顯示由上述資源消耗量獲取部求出的上述資源的消耗量。
20.—種基板處理系 統(tǒng)，具備多個基板處理裝置，其特征在于， 具備信息獲取裝置，該信息獲取裝置求出用于上述多個基板處理裝置的控制的參數(shù)； 上述基板處理裝置分別具有: 多個功能部，能夠選擇性地選取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)的能量的消耗量少的待機狀態(tài)， 控制部，在上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)和上述待機狀態(tài)之間控制各上述功能部的狀態(tài)，并且在執(zhí)行規(guī)定有對上述基板進行處理的步驟的配方時，使承擔與上述配方對應的上述承擔處理的上述功能部選取上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)來執(zhí)行上述承擔處理； 上述信息獲取裝置，針對每個上述基板處理裝置，執(zhí)行確定動作， 在上述確定動作中，從上述多個功能部中確定出能夠承擔與預定執(zhí)行配方對應的上述承擔處理的上述功能部，來作為確定功能部， 上述預定執(zhí)行配方是指以后要執(zhí)行的預定的上述配方， 上述信息獲取裝置，針對每個上述基板處理裝置，求出使在上述確定動作中確定的上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
21.根據(jù)權利要求20所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 上述信息獲取裝置，基于對各上述基板處理裝置求出的上述確定功能部的上述資源的消耗量，來求出裝置消耗量作為上述參數(shù)， 上述裝置消耗量是指，使上述基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的上述資源的消耗量。
22.根據(jù)權利要求21所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 還具備控制裝置， 該控制裝置，基于由上述信息獲取裝置獲取的上述裝置消耗量，從上述多個基板處理裝置中，決定要執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方的上述基板處理裝置。
23.根據(jù)權利要求21或22所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 上述信息獲取裝置，針對每個上述基板處理裝置，基于在求出功能部恢復時間作為上述確定功能部的上述資源的消耗量時求出的結(jié)果，來求出裝置恢復時間作為上述裝置消耗量， 上述功能部恢復時間是指，使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的時間， 上述裝置恢復時間是指，使上述基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的時間。
24.根據(jù)權利要求21或22所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 上述信息獲取裝置，針對每個上述基板處理裝置，基于在求出功能部恢復電能作為上述確定功能部的上述資源的消耗量時求出的結(jié)果，來求出裝置恢復電能作為上述裝置消耗量， 上述功能部恢復電能是指，使上述確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的電能， 上述裝置恢復電能是指，使上述基板處理裝置變?yōu)槟軌蛴糜趫?zhí)行上述預定執(zhí)行配方為止所需的電能。
25.根據(jù)權利要求21所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 還具備控制裝置， 該控制裝置，基于由上述信息獲取裝置獲取的上述裝置消耗量，調(diào)整使上述基板處理裝置執(zhí)行上述預定執(zhí)行配方的時機。
26.根據(jù)權利要求21所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 該基板處理系統(tǒng)能夠執(zhí)行多個預定執(zhí)行配方， 還具備控制裝置， 該控制裝置，基于由上述信息獲取裝置獲取的與上述預定執(zhí)行配方對應的上述裝置消耗量，從上述多個預定執(zhí)行配方中，決定接下來要執(zhí)行的預定執(zhí)行配方。
27.根據(jù)權利要求20所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于， 還具備顯示裝置，其用于顯示由上述信息獲取裝置獲取的上述參數(shù)。
28.—種基板處理裝置的控制方法， 該基板處理裝置具有多個功能部，上述多個功能部能夠選擇性地取對基板能夠執(zhí)行各自承擔的承擔處理的運轉(zhuǎn)狀態(tài)和比上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)能量的消耗量少的待機狀態(tài)， 該基板處理裝置能夠在上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)和上述待機狀態(tài)之間選擇各上述功能部的狀態(tài)， 該控制方法的特征在于，包括如下工序: 讀取規(guī)定有對上述基板進行的處理的步驟的配方， 若接收到預定執(zhí)行配方則執(zhí)行確定動作，上述預定執(zhí)行配方是指以后預定執(zhí)行的上述配方，在上述確定 動作中，從上述多個功能部中確定出能夠承擔與上述預定執(zhí)行配方對應的上述承擔處理的上述功能部， 求出使在上述確定動作中確定出的確定功能部恢復為上述運轉(zhuǎn)狀態(tài)所需的資源的消耗量。
【文檔編號】H01L21/67GK103779254SQ201310506626
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年10月24日 優(yōu)先權日:2012年10月24日
【發(fā)明者】中村康則, 中川信彥, 川嶋尚彥 申請人:大日本網(wǎng)屏制造株式會社