一種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，它包括工作臺(tái)、圓形工件、控制器、編碼器、傳感器a、傳感器b和傳感器c,所述工作臺(tái)用來(lái)傳送所述圓形工件，所述控制器接收所述編碼器通過(guò)傳感器采集到的編碼信息，通過(guò)運(yùn)算定位出所述圓形工件的圓心，定位圓心的檢驗(yàn)，所述控制器根據(jù)圓心來(lái)控制和調(diào)節(jié)所述工作臺(tái)取送所述圓形工件的方向和距離。本方法可以模擬出一個(gè)立體模型，快速準(zhǔn)確地計(jì)算出圓形工件的圓心位置，以及傳輸目標(biāo)點(diǎn)的方向和距離，并且不會(huì)影響整個(gè)傳輸系統(tǒng)的傳輸效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】—種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造控制定位系統(tǒng)，具體涉及ー種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體器件加工時(shí)，需要在晶體內(nèi)引入?yún)㈦s物，從而改變半導(dǎo)體的傳導(dǎo)率，而在引入?yún)㈦s物的過(guò)程中，圓形半導(dǎo)體エ件需要進(jìn)行精準(zhǔn)的定位，這樣才能做到均勻準(zhǔn)確的參雜，因此ー套行之有效的控制定位工作臺(tái)就至關(guān)重要，如果要提高工作臺(tái)傳送圓形半導(dǎo)體エ件的穩(wěn)定性和精準(zhǔn)度，就要準(zhǔn)確定位圓形エ件的圓心位置，進(jìn)而計(jì)算出工作臺(tái)上圓形エ件的偏移量，再通過(guò)調(diào)節(jié)工作臺(tái)的方向和位置來(lái)抵消這些誤差。
[0003]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
ー種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，它包括工作臺(tái)、圓形エ件、控制器、編碼器、傳感器
a、傳感器b和傳感器C，所述工作臺(tái)用來(lái)傳送所述圓形エ件，所述控制器接收所述編碼器通過(guò)傳感器采集到的編碼信息，通過(guò)運(yùn)算定位出所述圓形エ件的圓心，定位圓心的檢驗(yàn)，所述控制器根據(jù)圓心來(lái)控制和調(diào)節(jié)所述工作臺(tái)取送所述圓形エ件的方向和距離。
[0004]進(jìn)ー步的 ，所述的工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟I)編碼
在所述圓形エ件的圓弧上任意設(shè)置三個(gè)不重疊的編碼點(diǎn)，分別為A、B和C點(diǎn)，且上述圓弧位于ー個(gè)同心圓上；
步驟2)采集編碼信息
在所述工作臺(tái)上設(shè)置三個(gè)傳感器，分別為傳感器a、傳感器b和傳感器C，所述傳感器a、傳感器b和傳感器c分別采集所述編碼點(diǎn)A、B和C點(diǎn)的位置編碼信息；
步驟3)信息的傳遞
將所述傳感器a、傳感器b和傳感器c采集到的編碼點(diǎn)信息傳遞到所述編碼器中，所述編碼器將信息處理轉(zhuǎn)換成所述控制器可識(shí)別的信號(hào)，并且傳輸?shù)剿隹刂破髦校?br> 步驟4)運(yùn)算定位圓心
所述控制器根據(jù)編碼信號(hào)，再通過(guò)一系列運(yùn)算，最終定位出所述圓形エ件的圓心。
[0005]步驟5 )定位圓心的檢驗(yàn)
在步驟4計(jì)算出的圓心位置上設(shè)置ー個(gè)徑向力矩傳感器，在圓形エ件旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述徑向力矩傳感器檢測(cè)是否有徑向力，如果有則執(zhí)行所述步驟1，如果沒(méi)有則定位成功結(jié)束步驟。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:
采用本發(fā)明技術(shù)方案，可以模擬出ー個(gè)立體模型，快速準(zhǔn)確地計(jì)算出圓形エ件的圓心位置，以及傳輸目標(biāo)點(diǎn)的方向和距離，大幅度提高了工作臺(tái)傳送圓形エ件的穩(wěn)定性和精準(zhǔn)度，并且不會(huì)影響整個(gè)傳輸系統(tǒng)的傳輸效率。
[0007]上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)ー步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
圖1為本發(fā)明的控制流程圖；
圖2為本發(fā)明的實(shí)施方式圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
[0010]參照?qǐng)D2所示，ー種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，它包括工作臺(tái)(I)、圓形エ件(2)、控制器(3)、編碼器(4)、傳感器a (5)、傳感器b (6)和傳感器c (7)，所述工作臺(tái)(I)用來(lái)傳送所述圓形エ件(2)，所述控制器(3)接收所述編碼器(4)通過(guò)傳感器采集到的編碼信息，通過(guò)運(yùn)算定位出所述圓形エ件(2)的圓心，定位圓心的檢驗(yàn)，所述控制器(3)根據(jù)圓心來(lái)控制和調(diào)節(jié)所述工作臺(tái)(I)取送所述圓形エ件(2)的方向和距離。
[0011]進(jìn)ー步的，參照?qǐng)D1和圖2所示，所述的工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，其特征在于，包括以下步驟:
步驟I)編碼
在所述圓形エ件的圓弧上任意設(shè)置三個(gè)不重疊的編碼點(diǎn)，分別為A、B和C點(diǎn)，且上述圓弧位于ー個(gè)同心圓上；
步驟2)采集編碼信息
在所述工作臺(tái)上設(shè)置三個(gè)傳感器，分別為傳感器a、傳感器b和傳感器C，所述傳感器a、傳感器b和傳感器c分別采集所述編碼點(diǎn)A、B和C點(diǎn)的位置編碼信息；
步驟3)信息的傳遞
將所述傳感器a、傳感器b和傳感器c采集到的編碼點(diǎn)信息傳遞到所述編碼器中，所述編碼器將信息處理轉(zhuǎn)換成所述控制器可識(shí)別的信號(hào)，并且傳輸?shù)剿隹刂破髦校?br> 步驟4)運(yùn)算定位圓心
參照?qǐng)D2所示，運(yùn)用數(shù)學(xué)方法即連接AB和BC，然后分別作AB和BC的垂直平分線(xiàn)，其交點(diǎn)即為圓心，將此段方法編成程序輸入到所述控制器中，所述控制器根據(jù)編碼信號(hào)，再通過(guò)程序中一系列運(yùn)算，最終定位出所述圓形エ件的圓心。
[0012]步驟5)定位圓心的檢驗(yàn)
在步驟4計(jì)算出的圓心位置上設(shè)置ー個(gè)徑向力矩傳感器8，在圓形エ件2旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述徑向カ矩傳感器8檢測(cè)是否有徑向力，如果有則執(zhí)行所述步驟1，如果沒(méi)有則定位成功結(jié)束步驟。
[0013]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.ー種工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，它包括工作臺(tái)(I)、圓形エ件(2)、控制器(3)、編碼器(4)、傳感器a (5)、傳感器b (6)和傳感器c (7)，其特征在于，所述工作臺(tái)(I)用來(lái)傳送所述圓形エ件(2 )，所述控制器(3 )接收所述編碼器(4 )通過(guò)傳感器采集到的編碼信息，通過(guò)運(yùn)算定位出所述圓形エ件(2)的圓心,定位圓心的檢驗(yàn),所述控制器(3)根據(jù)圓心來(lái)控制和調(diào)節(jié)所述工作臺(tái)(I)取送所述圓形エ件(2)的方向和距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工作臺(tái)上精確定位圓心的方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟I)編碼 在所述圓形エ件的圓弧上任意設(shè)置三個(gè)不重疊的編碼點(diǎn)，分別為A、B和C點(diǎn)，且上述圓弧位于ー個(gè)同心圓上； 步驟2)采集編碼信息 在所述工作臺(tái)上設(shè)置三個(gè)傳感器，分別為傳感器a、傳感器b和傳感器C，所述傳感器a、傳感器b和傳感器c分別采集所述編碼點(diǎn)A、B和C點(diǎn)的位置編碼信息； 步驟3)信息的傳遞 將所述傳感器a、傳感器b和傳感器c采集到的編碼點(diǎn)信息傳遞到所述編碼器中，所述編碼器將信息處理轉(zhuǎn)換成所述控制器可識(shí)別的信號(hào)，并且傳輸?shù)剿隹刂破髦校? 步驟4)運(yùn)算定位圓心 所述控制器根據(jù)編碼信號(hào)，再通過(guò)一系列運(yùn)算，最終定位出所述圓形エ件的圓心，步驟5)定位圓心的檢驗(yàn) 在步驟4計(jì)算出的圓心位置上設(shè)置ー個(gè)徑向力矩傳感器(8)，在圓形エ件(2)旋轉(zhuǎn)吋，所述徑向力矩傳感器(8)檢測(cè)是否有徑向力，如果有則執(zhí)行所述步驟1，如果沒(méi)有則定位成功結(jié)束步驟。
【文檔編號(hào)】H01L21/68GK103531509SQ201310442252
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】楊大蓉 申請(qǐng)人:蘇州經(jīng)貿(mào)職業(yè)技術(shù)學(xué)院