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一種混合使用制絨添加劑的方法

文檔序號:7264885閱讀:810來源:國知局
一種混合使用制絨添加劑的方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種混合使用制絨添加劑的方法,用于改善單晶制絨效果的方法,屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該方法通過使用混合制絨優(yōu)化劑來優(yōu)化制絨效果。說明書對該方法進(jìn)行了詳細(xì)的說明,并給出了具體的實(shí)用方案。
【專利說明】一種混合使用制絨添加劑的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能電池工藝技術(shù)【技術(shù)領(lǐng)域】,主要用來改善單晶制絨效果,
[0002]降低電池片單耗。

【背景技術(shù)】
[0003]目前,晶體硅太陽能電池的發(fā)展方向依然是降低成本和提高效率。為了達(dá)到這兩個目標(biāo),單晶堿制絨的效果表現(xiàn)的尤為重要。然而,在現(xiàn)在是市場上的堿制絨優(yōu)化劑主要分為兩種:1、對堿硅反應(yīng)控制不足,造成絨面隨著溶液的老化而逐漸增大。2、對堿硅反應(yīng)的控制太強(qiáng),造成絨面極小,在顯微鏡下金字塔結(jié)構(gòu)十分微小,外觀與未制絨相似。
[0004]本次使用的優(yōu)化劑為時創(chuàng)S-929B,長優(yōu)C-300
[0005]時創(chuàng)S-929B是使用范圍比較廣泛的一種添加劑,制絨速度較快,絨面較大。但是在制絨過程中需要添加大量的IPA,而且制絨后硅片的外觀容易出現(xiàn)較多如白斑、手指印之類的缺陷。
[0006]昆山長優(yōu)生產(chǎn)的C-300制絨添加劑單獨(dú)使用時,不需要添加IPA,外觀一般不會產(chǎn)生缺陷,反應(yīng)容易控制。但是單獨(dú)使用該添加劑制絨硅片表面發(fā)白,金字塔尺寸太小,反射率較差,而且添加劑用量較大。成本較高.


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本方法通過對兩種類型的優(yōu)化劑的混合使用,凸顯了兩種優(yōu)化劑的優(yōu)勢,使絨面金字塔結(jié)構(gòu)始終保持在2-8微米的范圍,均勻致密的分布在硅片表面。同時還減少了化學(xué)品的用量,減少硅片制絨后外觀上的缺陷,降低制絨工段產(chǎn)生的B片率
[0008]通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0009]一種運(yùn)用于單晶堿制絨的方法,通過將兩種不同類型的制絨后優(yōu)化劑以一定的比例混合使用,來改善制絨效果,降低使用成本。
[0010]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點(diǎn):
[0011]1.通過將兩種優(yōu)化劑混合使用,是其優(yōu)勢互補(bǔ),改善單晶絨面,減少化學(xué)品用量。
[0012]2.通過優(yōu)化劑的混合使用,基本消除了了單晶制絨后除油污和花籃印以外的所有外觀缺陷。
[0013]3.降低操作難度,對減重的控制只需調(diào)節(jié)時間即可,不必考慮化學(xué)品的補(bǔ)加量、夕卜觀等方面的問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步介紹,但不作為對本發(fā)明專利的限定。
[0015]圖1是混合優(yōu)化劑制絨后絨面情況
[0016]圖2是時創(chuàng)S-929B10批次以后制絨情況。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合實(shí)例對本發(fā)明作進(jìn)一步的介紹,但是不作為對本發(fā)明的限定。制絨槽槽體為180L,單獨(dú)使用時創(chuàng)S-929B時溶液初配為:
[0018]NaOH:1000g, IPA:14L, Na2Si03:300g 時創(chuàng) S-929B:300ml ID:165L 制絨溫度為80-82°C,制絨時間為 1300-1500S,減重為:0.38-0.42g,
[0019]每批制絨200片,補(bǔ)加化學(xué)品量為
[0020]NaOH:200_220g/ 批,IPA:600ml/ 批,S-929B:50ml/ 批[0021 ] 溶液使用壽命為25批次.
[0022]單獨(dú)使用C-300時,溶液初配:
[0023]NaOH:1000g, Na2Si03:300g,長優(yōu) C-300:500ml, ID:165L
[0024]制絨溫度為80_82°C,制絨時間為1300S,減重為:0.38-0.42g,
[0025]每批制絨200片,補(bǔ)加化學(xué)品量為
[0026]NaOH:200_220g/ 批,S-929B:30ml/ 批
[0027]溶液使用壽命為60批次
[0028]使用混合添加劑時,溶液初配:
[0029]NaOH:1000g, IPA:14L, Na2Si03:300g 時創(chuàng) S-929B:300ml ID:165L 將 C-300 與S-929B按體積比為1:200-1:175的比例混合,補(bǔ)加化學(xué)品時:Na0H: 180_200g/批,IPA:300ml/批,混合添加劑:30ml/2批,制絨時間穩(wěn)定保持在1300S,減重為0.38-0.42g
[0030]溶液使用壽命為50批次,而且制絨后硅片的少子壽命隨著制絨液的使用次數(shù)逐漸上升.[0031 ] 本發(fā)明專利的特定實(shí)施例已對本發(fā)明專利的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言,在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動,都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯,將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
【權(quán)利要求】
1.一種通過混合使用制絨添加劑的方法。
2.如權(quán)利要求1所述一種改善單晶制絨效果的方法其特征在于:采用了兩種堿制絨優(yōu)化劑時創(chuàng)3-9298和昆山長優(yōu)的0300的混合使用,使其優(yōu)勢互補(bǔ),達(dá)到更為理想的制絨效果0
【文檔編號】H01L21/306GK104465361SQ201310415507
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年9月12日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月12日
【發(fā)明者】馬志強(qiáng) 申請人:北京中科信電子裝備有限公司
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