軟磁性粉末,其制造方法,使用所述軟磁性粉末的噪聲抑制板,以及其制造方法本申請基于并且要求在2012年2月21日提交的日本專利申請?zhí)?012-035265的優(yōu)先權(quán),其公開內(nèi)容通過引用以其全部內(nèi)容結(jié)合在此。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及軟磁性粉末,其制造方法以及使用所述軟磁性粉末的噪聲抑制板,并且更具體地,涉及可以抑制電磁干擾的噪聲抑制板,所述電磁干擾由不希望的電磁波從電子器件向外部的泄漏引起,由那些不希望的電磁波在其內(nèi)部電路中的干擾引起,或者由來自外部的不希望的電磁波的干擾引起,涉及在噪聲抑制板中使用的軟磁性粉末,并且涉及制造軟磁性粉末的方法。
背景技術(shù):近年來,電子器件,如移動電話和個人計算機,顯著地普及,并且這些電子器件的可用頻帶增加。例如,已經(jīng)使用數(shù)GHz至數(shù)十GHz波段上的頻率用于移動電話、無線LAN等。除了頻率增加,隨著電子器件的尺寸和厚度的減少并且隨著其性能上的增加,歸因于電子器件中的電磁干擾和對器件外部的輻射噪聲干擾的功能劣化成為問題??紤]到這點,國際無線電干擾特別委員會(InternationalSpecialCommitteeonRadioInterference)(CISPR)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了1至6GHz噪聲。作為現(xiàn)有技術(shù),已知的是由含有軟磁性粉末的復(fù)合磁性體形成的電磁波吸收體,其使用了結(jié)晶材料如森達斯特鋁硅鐵合金(Sendust)(注冊商標(biāo))或硅鋼,以及樹脂。例如,JP-A-2005-123531(在下文中稱為專利文獻1)公開了用于在電磁波吸收體中使用的扁平狀粉末。傳統(tǒng)的電磁波吸收體通過利用歸因于復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率的虛部磁導(dǎo)率μ″的磁損耗來吸收電磁波。因此,當(dāng)對應(yīng)于所使用的頻帶的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率的虛部磁導(dǎo)率μ″顯示較大值時,電磁波吸收體的噪聲抑制效果就更好。然而,存在這樣的問題:傳統(tǒng)的電磁波吸收體在GHz波段頻率具有小的虛部磁導(dǎo)率μ″,并且因此不能獲得足夠的噪聲抑制效果。
技術(shù)實現(xiàn)要素:因此,本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種噪聲抑制板,所述噪聲抑制板的表示磁損耗部分的虛部磁導(dǎo)率μ″在GHz波段頻率大,因此具有優(yōu)異的噪聲抑制效果。本發(fā)明的另一個目標(biāo)是提供一種制造上述噪聲抑制板的方法。本發(fā)明的再另一個目標(biāo)是提供一種軟磁性粉末,所述軟磁性粉末用于在具有優(yōu)異的噪聲抑制效果的噪聲抑制板中使用。此外,本發(fā)明的另一個目標(biāo)是提供一種制造上述軟磁性粉末的方法。為了實現(xiàn)上述目標(biāo),根據(jù)本發(fā)明的一個方面,提供了一種由復(fù)合磁性體形成的噪聲抑制板,所述復(fù)合磁性體包含具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀磁性粉末和有機粘合劑,所述扁平狀磁性粉末在所述扁平狀磁性粉末的至少一部分具有非晶相,并且除α-Fe結(jié)晶相之外不具有在所述扁平狀磁性粉末中沉淀的復(fù)合結(jié)晶相。根據(jù)本發(fā)明的另一個方面,提供一種制造噪聲抑制板的方法,所述方法包括將復(fù)合磁性體形成為板形狀,所述復(fù)合磁性體的具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀磁性粉末中混合有有機粘合劑,所述扁平狀磁性粉末在所述扁平狀磁性粉末的至少一部分具有非晶相,并且除α-Fe結(jié)晶相之外不具有在所述扁平狀磁性粉末中沉淀的復(fù)合結(jié)晶相。根據(jù)本發(fā)明的再另一個方面,提供一種磁性粉末,所述磁性粉末具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮,并且具有扁平形狀,所述扁平狀磁性粉末在所述扁平狀磁性粉末的至少一部分具有非晶相,并且除α-Fe結(jié)晶相之外不具有在所述扁平狀磁性粉末中沉淀的復(fù)合結(jié)晶相。根據(jù)本發(fā)明的再另一個方面,提供一種制造磁性粉末的方法,所述磁性粉末為由軟磁性材料制成的軟磁性金屬粉末并且具有扁平形狀,所述方法包括:通過粉化方法由所述軟磁性金屬粉末形成非晶態(tài)金屬粉末;將所述非晶態(tài)金屬粉末研磨以形成為扁平形狀;和將所述扁平形狀的非晶態(tài)金屬粉末熱處理,以獲得具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀軟磁性金屬粉末。在本發(fā)明的一個方面中,扁平狀磁性粉末在扁平狀磁性粉末的至少一部分具有非晶相,并且在除α-Fe結(jié)晶相之外不具有在扁平狀磁性粉末中沉淀的復(fù)合結(jié)晶相。發(fā)明效果:根據(jù)本發(fā)明,可以提供一種噪聲抑制板,所述噪聲抑制板的表示磁損耗部分的虛部磁導(dǎo)率μ″在GHz波段頻率大,因此具有優(yōu)異的噪聲抑制效果。附圖說明圖1是顯示每個磁性材料的飽和磁致伸縮λs與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。圖2是顯示各自僅具有非晶相的Fe基非晶態(tài)合金或Fe的非晶和結(jié)晶兩相的虛部磁導(dǎo)率μ″的圖。圖3是顯示熱處理溫度與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。圖4是顯示平均粒徑(D50)與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。具體實施方式首先,將描述本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)。(第一基本結(jié)構(gòu))首先,根據(jù)本發(fā)明的第一基本結(jié)構(gòu)的噪聲抑制板包含具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮λs的扁平狀磁性粉末和有機粘合劑,其中所述噪聲抑制板作為整體在2.45GHz具有8.3以上且15.4以下的虛部磁導(dǎo)率μ″。為了提高虛部磁導(dǎo)率μ″,磁性粉末的粒徑可以變得更大。因此,為了在2.45GHz獲得8.3以上且15.4以下的虛部磁導(dǎo)率μ″,磁性粉末優(yōu)選具有50μm以上且127μm以下的平均粒徑(D50)。該噪聲抑制板的制造包括:將有機粘合劑混合到磁性粉末中,所述磁性粉末為具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀軟磁性金屬粉末;并且將它們形成為板形狀。在根據(jù)本發(fā)明的包含磁性粉末的軟磁性金屬粉末中,DC磁場H0與AC磁場H之間的關(guān)系由下式1給出。在放置在AC磁場H中的磁性體的情況下,磁化反轉(zhuǎn)受到歸因于疇壁運動和磁化旋轉(zhuǎn)的相延遲或慣性影響,以使得磁化I由式2給出。因此,軟磁性金屬粉末的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率μ由式3給出。在本文中,j表示虛數(shù)單位。[式1]H=H0eiωt[式2]I=I0ej(ωt-δ)[式3]μ=I0ej(ωt-δ)H0eiωt]]>=I0H0·e-jω]]>=I0H0cosδ-jI0H0sinδ]]>=μ′-jμ′′]]>噪聲抑制效果的大小依賴于虛部磁導(dǎo)率μ″和吸收體的體積。因此,為了獲得小體積或薄外形的噪聲抑制板,μ″優(yōu)選盡可能大。當(dāng)將含有扁平狀磁性粉末和作為粘合劑的樹脂的復(fù)合磁性體放置在AC磁場中時,關(guān)于頻率在數(shù)十MHz至數(shù)百MHz出現(xiàn)磁共振,并且歸因于這些磁共振,μ″的分散在低頻和高頻出現(xiàn)。在這兩種μ″分散中,在1GHz以上的頻率范圍內(nèi)取最大值的高頻側(cè)的μ″分散密切與由磁性體的彈性應(yīng)變σ和磁性體的飽和磁致伸縮λs給出的磁致彈性效果σ·λs密切相關(guān)。當(dāng)磁性材料的飽和磁致伸縮λs大時,從磁性體周圍的粘合劑施加很多壓力,以使得將彈性應(yīng)變σ稍微賦予磁性體。如果該彈性應(yīng)變σ增加,磁致彈性效果σ·λs也增加,以使得在低于磁共振頻率的頻率范圍內(nèi)不能獲得超過μ′(=μ(當(dāng)δ=0時))的μ″,并且因此,當(dāng)磁性材料的飽和磁致伸縮λs過大時μ″變小。因此,當(dāng)飽和磁致伸縮λs在12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的范圍內(nèi)時,虛部磁導(dǎo)率μ″變大。為了在2.45GHz波段內(nèi)獲得較高的虛部磁導(dǎo)率μ″,軟磁性金屬粉末的飽和磁致伸縮λs優(yōu)選為12.1×10-6以上且30.6×10-6以下。此外,在本發(fā)明中,使用軟磁金屬粉末作為下表1中所示的磁性粉末。軟磁性金屬粉末可以包含軟磁性合金粉末。作為將在本發(fā)明的第一基本結(jié)構(gòu)中使用的磁性粉末加工為扁平形狀的方法的一個實例,可以提出在溶劑中進行研磨的方法。詳細(xì)地,可以使用介質(zhì)攪拌型磨如球磨、磨碎機(Attritor)(注冊商標(biāo)),或針式磨。下表1顯示構(gòu)成根據(jù)本發(fā)明以及比較例的磁性粉末的軟磁性合金的實例。表1將關(guān)于表1中所示的軟磁性合金做出更詳細(xì)的說明。首先,如表1中的比較例所示的“森達斯特鋁硅鐵合金(Sendust)”(注冊商標(biāo))是具有在6質(zhì)量%≤Si≤11質(zhì)量%,4質(zhì)量%≤Al≤6質(zhì)量%,以及余量的Fe的組成范圍的Fe基合金。作為具體的實例,森達斯特鋁硅鐵合金(Sendust)具有由質(zhì)量比9.5Si-5.5Al-Fe表示的組成。該合金具有在-3.1×10-6≤λs≤5.0×10-6的范圍內(nèi)的飽和磁致伸縮λs。在表1中,給出了具有不同的平面度的兩種類型的森達斯特鋁硅鐵合金(Sendust)。作為軟磁性金屬材料的一個實例,F(xiàn)e-Si-Cr合金具有3.5質(zhì)量%≤Si≤14.0質(zhì)量%,1.5質(zhì)量%≤Cr≤4.5質(zhì)量%,以及余量Fe的組成范圍。作為具體的實例,F(xiàn)e-Si-Cr合金由以質(zhì)量比計的式6.5Si-3.5Cr-Fe表示。作為另一個比較例,表1中所示的“坡莫合金(Permalloy)”是以質(zhì)量比計由80Ni-Fe表示的合金。作為再另一個比較例,表1中所示的“阿爾帕姆高導(dǎo)磁合金(Alperm)”是以質(zhì)量比計由14Al-Fe表示的合金。作為根據(jù)本發(fā)明的另一個實例,F(xiàn)e-P-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金具有75-80原子%Fe,4-12原子%P,8-16原子%B,1-3原子%Nb,以及1-2原子%Cr的組成范圍。Fe-P-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金具有以原子比例計由式Fe77P10B10Nb2Cr1表示的組成。作為根據(jù)本發(fā)明的軟磁性金屬材料的另一個實例,F(xiàn)e-Si-B-P-Cr非晶態(tài)合金具有76-80原子%Fe,4-10原子%Si,8-10原子%B,5-10原子%P,以及0.5-2原子%Cr的組成范圍。作為具體的實例,F(xiàn)e-Si-B-P-Cr非晶態(tài)合金具有以原子比例計由式Fe77Si6B9P7Cr1表示的組成。圖1是顯示每個磁性材料的飽和磁致伸縮λs與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。詳細(xì)地,該圖顯示表1中所示的磁性材料的飽和磁致伸縮λs與含有那些磁性材料的復(fù)合磁性體在2.45GHz的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率的虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系。如從圖1清楚地可以看出,在磁性粉末的飽和磁致伸縮λs為大約不大于22.5×10-6的同時,虛部磁導(dǎo)率μ″隨著飽和磁致伸縮λs增加而增加。然而,在飽和磁致伸縮λs增加為超過約22.5×10-6之后,虛部磁導(dǎo)率μ″逐漸地降低,并且因此,可以看出在飽和磁致伸縮在特定范圍內(nèi)的同時虛部磁導(dǎo)率μ″的值增加。作為在本發(fā)明中使用的有機粘合劑的材料,可以使用熱塑性樹脂如丙烯酸類橡膠、氯化聚乙烯橡膠、聚丁二烯橡膠、聚亞異丙基橡膠、乙烯丙烯橡膠、乙烯丙烯二烯烴橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、丁腈橡膠、表氯醇橡膠、氯丁二烯橡膠、丁基橡膠、聚硫化物,彈性體橡膠如聚氨酯橡膠、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、丙烯酸類、聚氯乙烯、聚碳酸酯、尼龍、氨基甲酸酯(urethane)、聚對苯二甲酸丁二醇酯·聚對苯二甲酸乙二醇酯或丙烯腈·丁二烯·苯乙烯(ABS),熱固性樹脂如三聚氰胺、酚、環(huán)氧、氨基甲酸酯、聚酰亞胺、鄰苯二甲酸二烯丙酯、不飽和聚酯或呋喃等。優(yōu)選地,有機粘合劑的比例為25至45體積%。然而,有機粘合劑的材料不限于上述材料并且最合適的材料可以根據(jù)所要制造的噪聲抑制板的用途,制造裝置等選擇。為了賦予由復(fù)合磁性體形成的噪聲抑制板耐燃性或提高其耐燃性,有機粘合劑可以含有在200℃以上展現(xiàn)吸熱作用的非磁性細(xì)粒如氫氧化鎂或三聚氰胺氰尿酸酯,或在200℃以上的溫度形成不燃膜的非磁性細(xì)粒如紅磷。(第二基本結(jié)構(gòu))接下來,將描述本發(fā)明的第二基本結(jié)構(gòu)。首先,根據(jù)本發(fā)明的第二基本結(jié)構(gòu)的噪聲抑制板包含具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀磁性粉末和有機粘合劑的軟磁性金屬粉末,其中噪聲抑制板作為整體在2.45GHz具有8.3以上且15.4以下的虛部磁導(dǎo)率μ″。為了在2.45GHz獲得8.3以上且15.4以下的虛部磁導(dǎo)率μ″,磁性粉末優(yōu)選具有50μm以上且127μm以下的平均粒徑(D50)。在根據(jù)第二基本結(jié)構(gòu)的噪聲抑制板中,優(yōu)選的是使用具有12.1×10-6以上且30.6×10-6以下的飽和磁致伸縮并且含有軟磁性金屬材料的軟磁性金屬粉末,并且更優(yōu)選的是磁性粉末包含F(xiàn)e基非晶態(tài)合金粉末并且具有Fe的非晶和結(jié)晶兩相。噪聲抑制板的制造包括將有機粘合劑混合到具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀軟磁性金屬粉末中,并且將它們形成為板的形狀。在本文中,軟磁性金屬粉末優(yōu)選具有12.1×10-6以上且30.6×10-6以下的飽和磁致伸縮,并且更優(yōu)選含有軟磁性金屬材料。作為軟磁性金屬粉末,使用具有Fe的非晶和結(jié)晶兩相的Fe基非晶態(tài)合金粉末。該軟磁性金屬粉末的制造包括:通過粉化方法制造非晶態(tài)金屬粉末的工序,將非晶態(tài)金屬粉末通過研磨形成為扁平形狀從而獲得扁平狀金屬粉末的研磨工序,以及將獲得扁平狀金屬粉末熱處理從而獲得具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮的扁平狀金屬粉末的熱處理工序。優(yōu)選的是使用軟磁性金屬材料作為本文使用的磁性粉末的材料,并且使用其中Fe結(jié)晶相通過上述熱處理工序沉淀在Fe非晶相中的Fe基非晶態(tài)合金粉末作為磁性粉末。作為將在本發(fā)明的第二基本結(jié)構(gòu)中使用的磁性粉末加工為扁平形狀的方法的一個實例,可以引用與本發(fā)明的第一基本結(jié)構(gòu)中相同的在溶劑中進行研磨的方法。詳細(xì)地,可以使用介質(zhì)攪拌型磨如球磨、磨碎機(注冊商標(biāo))或針式磨。優(yōu)選地,熱處理溫度低于JP4849542B2(其在下文中將稱為專利文獻2)中所示的Fe1-αTMαPwBxLySiz非晶態(tài)軟磁性合金(其中α=0至0.98,w=3至16原子%,x=2至16原子%,y=10原子%以下,并且z=0至8原子%)的結(jié)晶溫度Tx(℃)。詳細(xì)地,在Fe-Si-B-P非晶態(tài)合金的情況下,結(jié)晶溫度Tx為350至450℃。在Fe-Si-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金的情況下,結(jié)晶溫度Tx是300至400℃。因此,熱處理溫度在300至450℃的范圍內(nèi)。作為在本發(fā)明中使用的有機粘合劑的材料,可以使用熱塑性樹脂如丙烯酸類橡膠、氯化聚乙烯橡膠、聚丁二烯橡膠、聚亞異丙基橡膠、乙烯丙烯橡膠、乙烯丙烯二烯烴橡膠、苯乙烯-丁二烯橡膠、丁腈橡膠、表氯醇橡膠、氯丁二烯橡膠、丁基橡膠、聚硫化物,彈性體橡膠如聚氨酯橡膠、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、丙烯酸類、聚氯乙烯、聚碳酸酯、尼龍、氨基甲酸酯(urethane)、聚對苯二甲酸丁二醇酯·聚對苯二甲酸乙二醇酯或丙烯腈·丁二烯·苯乙烯(ABS),熱固性樹脂如三聚氰胺、酚、環(huán)氧、氨基甲酸酯、聚酰亞胺、鄰苯二甲酸二烯丙酯、不飽和聚酯或呋喃等。然而,有機粘合劑的材料不限于上述材料并且最合適的材料可以根據(jù)所要制造的噪聲抑制板的用途,制造裝置等選擇。為了賦予由復(fù)合磁性體形成的噪聲抑制板耐燃性或提高其耐燃性,有機粘合劑可以含有在200℃以上展現(xiàn)吸熱作用的非磁性細(xì)粒如氫氧化鎂或三聚氰胺氰尿酸酯,或在200℃以上的溫度形成不燃膜的非磁性細(xì)粒如紅磷。根據(jù)本發(fā)明的第二基本結(jié)構(gòu)的磁性粉末是Fe基非晶態(tài)合金粉末,其被熱處理以具有Fe的非晶和結(jié)晶兩相并且其具有12.0×10-6以上且38.0×10-6以下的飽和磁致伸縮λs。在本發(fā)明中,對磁性粉末的熱處理方法沒有特別地限定并且可以在惰性氣氛、還原性氣氛等中根據(jù)已知技術(shù)進行。然而,如果在氮氛中進行熱處理,則可以在扁平狀粉末的表面上形成高品質(zhì)的氧化物膜,并且通過該氧化物膜,可以增加復(fù)合磁性體的電阻。作為結(jié)果,噪聲可以容易地由復(fù)合磁性體吸收,以使得在復(fù)合磁性體中可以使更多噪聲消失。通過將具有非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的軟磁性合金熱處理以使組成部分地結(jié)晶化而沉淀細(xì)的α-Fe結(jié)晶相,獲得具有α-Fe相和Fe基非晶相的金屬軟磁性粉末。因此,使用具有12.1×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-Si-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金粉末,具有17.0×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-P-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金粉末以及具有28.1×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-Si-B-P-Cr非晶態(tài)合金粉末,將熱處理施加至它們的每一個以沉淀出Fe的非晶和結(jié)晶兩相。圖2顯示以下復(fù)合磁性體在2.45GHz的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率的虛部磁導(dǎo)率μ″:所述復(fù)合磁性體分別含有在不施加熱處理的情況下的具有上述組成式的Fe基非晶態(tài)合金粉末的形式的非晶態(tài)單相的粉末,以及通過對具有上述組成式的Fe基非晶態(tài)合金粉末施加熱處理所獲得的Fe的非晶和結(jié)晶兩相的粉末。如從圖2清楚的,可以看出,在本發(fā)明中,通過對Fe基非晶態(tài)合金粉末施加熱處理以沉淀Fe的非晶和結(jié)晶兩相,虛部磁導(dǎo)率μ″增加。為了獲得更大的虛部磁導(dǎo)率μ″,磁性粉末的平均粒徑(D50)優(yōu)選為50μm以上且127μm以下。實施例在下文中,將參考表1和2描述本發(fā)明的實施例。表1和2中所示的全部磁性粉末是軟磁性金屬粉末。(實施例1至8)作為實施例1至8的軟磁性金屬粉末,使用具有28.1×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-Si-B-P非晶態(tài)合金粉末。該Fe基非晶態(tài)合金粉末通過粉化方法制造并且通過X射線衍射(XRD)確認(rèn)是非晶相。之后,通過使用漿液循環(huán)型介質(zhì)攪拌磨研磨獲得表2的實施例1至8中所示的具有26μm、50μm、86μm和127μm的平均粒徑(D50)的扁平狀粉末。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶相。將這些扁平狀Fe基非晶態(tài)合金粉末在氮氛中在表2的實施例1至8中所示的350℃和450℃的溫度熱處理2小時,并且之后爐內(nèi)冷卻。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶和α-Fe兩相。給出相變發(fā)生,即通過熱處理細(xì)結(jié)晶析出的溫度作為結(jié)晶起始溫度,并且實施例1至8的結(jié)晶起始溫度為528℃。之后,將這些扁平狀粉末的每一種和丙烯酸類橡膠粘合劑以90重量%和10重量%的混合比混合,從而制備磁性涂布液。其后,通過刮刀法將磁性涂布液形成為片狀形狀,從而獲得具有20μm的厚度的生板(greensheet)。將所獲得的六個生板層疊在一起并且之后在270℃和30kgf/cm2進行熱成形,以使得將不大于用于扁平狀粉末的熱處理溫度的熱施加至層疊的生板,從而獲得具有約200μm的厚度和2.4g/cm3的密度的噪聲抑制板。(實施例9至18)作為實施例9至18的軟磁性金屬粉末,使用具有17.0×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-P-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金粉末。該Fe基非晶態(tài)合金粉末通過粉化方法制造并且通過X射線衍射(XRD)確認(rèn)是非晶相。之后,通過使用漿液循環(huán)型介質(zhì)攪拌磨研磨獲得表2的實施例9至18中所示的具有28μm、59μm、68μm、110μm和129μm的平均粒徑(D50)的扁平狀粉末。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶相。將這些扁平狀Fe基非晶態(tài)合金粉末在氮氛中在表2的實施例9至18在所示的350℃和450℃的溫度熱處理2小時,并且之后爐內(nèi)冷卻。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶和α-Fe兩相。實施例9至18的結(jié)晶起始溫度為497℃。之后,將這些扁平狀粉末的每一種和丙烯酸類橡膠粘合劑以90重量%和10重量%的混合比混合,從而制備磁性涂布液。其后,通過刮刀法將磁性涂布液形成為片狀形狀,從而獲得具有20μm的厚度的生板。將所獲得的六個生板層疊在一起并且之后在270℃和30kgf/cm2進行熱成形,以使得將不大于用于扁平狀粉末的熱處理溫度的熱施加至層疊的生板,從而獲得具有約200μm的厚度和2.4g/cm3的密度的噪聲抑制板。(比較例1至3)作為比較例1至3的軟磁性金屬粉末,使用具有28.1×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-Si-B-P非晶態(tài)合金粉末。該Fe基非晶態(tài)合金粉末通過粉化方法制造并且通過X射線衍射(XRD)確認(rèn)是非晶相。之后,通過使用漿液循環(huán)型介質(zhì)攪拌磨研磨獲得表2的比較例1至3中所示的具有50μm、86μm和127μm的平均粒徑(D50)的扁平狀粉末。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶相。將這些扁平狀Fe基非晶態(tài)合金粉末在氮氛中500℃的溫度熱處理2小時,并且之后爐內(nèi)冷卻。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自除α-Fe相之外包含復(fù)合結(jié)晶相。比較例1至3的結(jié)晶起始溫度為528℃。之后,將這些扁平狀粉末的每一種和丙烯酸類橡膠粘合劑以90重量%和10重量%的混合比混合,從而制備磁性涂布液。其后,通過刮刀法將磁性涂布液形成為片狀形狀,從而獲得具有20μm的厚度的生板。將所獲得的六個生板層疊在一起并且之后在270℃和30kgf/cm2進行熱成形,以使得將不大于用于扁平狀粉末的熱處理溫度的熱施加至層疊的生板,從而獲得具有約200μm的厚度和2.4g/cm3的密度的噪聲抑制板。(比較例4至7)作為比較例4至7的磁性粉末,使用具有17.0×10-6的飽和磁致伸縮λs的Fe-P-B-Nb-Cr非晶態(tài)合金粉末。該Fe基非晶態(tài)合金粉末通過粉化方法制造并且通過X射線衍射(XRD)確認(rèn)是非晶相。之后,通過使用漿液循環(huán)型介質(zhì)攪拌磨研磨獲得表2的比較例4至7中所示的具有28μm、59μm、68μm和110μm的平均粒徑(D50)的扁平狀粉末。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自僅具有非晶相。將這些扁平狀Fe基非晶態(tài)合金粉末在氮氛中500℃的溫度熱處理2小時,并且之后爐內(nèi)冷卻。之后,再一次,通過XRD檢查扁平狀粉末的結(jié)構(gòu)。作為結(jié)果,所確認(rèn)的是扁平狀粉末各自除α-Fe相之外包含復(fù)合結(jié)晶相。比較例4至7的結(jié)晶起始溫度為497℃。之后,將這些扁平狀粉末的每一種和丙烯酸類橡膠粘合劑以90重量%和10重量%的混合比混合,從而制備磁性涂布液。其后,通過刮刀法將磁性涂布液形成為片狀形狀,從而獲得具有20μm的厚度的生板。將所獲得的六個生板層疊在一起并且之后在270℃和30kgf/cm2進行熱成形,以使得將不大于用于扁平狀粉末的熱處理溫度的熱施加至層疊的生板,從而獲得具有約200μm的厚度和2.4g/cm3的密度的噪聲抑制板。使用由AgilentTechnologies,Inc.制造的阻抗/材料分析儀E4991A測量實施例1至18和比較例1至7中獲得的噪聲抑制板在2.45GHz的復(fù)數(shù)磁導(dǎo)率的虛部磁導(dǎo)率μ″,并且測量值在表2中給出。表2圖3是顯示熱處理溫度與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。在圖3中,給出了表2的實施例2至4、6至12和14至17以及比較例1至7中熱處理溫度與在2.45GHz的虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系。如從圖3清楚的,在其中除α-Fe相之外的復(fù)合晶體通過熱處理沉淀的比較例1至7中,虛部磁導(dǎo)率μ″顯著地低于其中僅存在非晶和α-Fe兩相的實施例2至4、6至12,以及14至17中的那些。因此,優(yōu)選的是在沒有除α-Fe相之外的復(fù)合晶體沉淀的溫度進行熱處理。圖4是顯示平均粒徑(D50)與虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系的圖。在圖4中,給出了表2的實施例1至8和比較例1至3中平均粒徑(D50)與在2.45GHz的虛部磁導(dǎo)率μ″之間的關(guān)系。如從圖4清楚的,跨越了86μm的平均粒徑(D50)的虛部磁導(dǎo)率μ″降低。因此,軟磁性金屬粉末的平均粒徑(D50)優(yōu)選為50μm以上且127μm以下。以這種方式,獲得了一種噪聲抑制板,所述噪聲抑制板的表示磁損耗部分的虛部磁導(dǎo)率μ″在GHz波段頻率大,因此具有優(yōu)異的噪聲抑制效果。雖然在上面描述了本發(fā)明的實例,但本發(fā)明不限于此,并且在不脫離本發(fā)明的要旨的情況下可以對該范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)進行改變和變更。例如,F(xiàn)e基非晶態(tài)合金的組成式不限于上面描述的那些??梢愿鶕?jù)所要制造的噪聲抑制體的用途、制造裝置等選擇最合適的材料。換言之,不用說本領(lǐng)域技術(shù)人員可以進行的多種改變和變更也被包括在本發(fā)明中。