工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備。該方法包括：根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)；根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑；根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導(dǎo)體設(shè)備根據(jù)所述任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片。本發(fā)明的技術(shù)方案使得半導(dǎo)體設(shè)備可根據(jù)該任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動(dòng)Job的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片，從而提高了設(shè)備的利用率；并且用戶無(wú)需隨時(shí)關(guān)注自動(dòng)Job的完成情況，從而提高了用戶的工作效率。
【專利說(shuō)明】工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微電子【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在刻蝕、太陽(yáng)能、LED等領(lǐng)域中，設(shè)備端軟件包括設(shè)備控制軟件，例如:設(shè)備控制軟件可以為先進(jìn)過(guò)程控制(Advanced Process Control,簡(jiǎn)稱:APC)軟件或者集簇設(shè)備控制(Cluster Tool Controller，簡(jiǎn)稱:CTC)軟件等。其中，CTC軟件是設(shè)備端的上層控制軟件，屬于上位機(jī)軟件，該CTC軟件不直接控制物理設(shè)備，而是通過(guò)下層的設(shè)備控制軟件去控制物理設(shè)備，CTC軟件是下層設(shè)備控制軟件操作的邏輯組合。CTC軟件提供的功能主要包括:1、向用戶提供友好的人際操作界面；2、對(duì)下位機(jī)軟件的控制；3、運(yùn)行Job ;4、設(shè)備手動(dòng)操作；5、智能晶片調(diào)度和控制設(shè)備的產(chǎn)率；6、報(bào)警處理；7、權(quán)限管理；8、與工廠主機(jī)(FabHost)的通信接口。其中，Job指的是物料在機(jī)臺(tái)中根據(jù)設(shè)定的路徑進(jìn)行傳輸，并且在傳輸過(guò)程中指定的位置完成工藝的一個(gè)過(guò)程，Job具體包括:將物料從外界環(huán)境放入到機(jī)臺(tái)，將物料從機(jī)臺(tái)中的某個(gè)位置傳送到另一個(gè)位置，物料在工藝模塊(Process Module，簡(jiǎn)稱:PM)中進(jìn)行工藝過(guò)程，將物料從機(jī)臺(tái)中放入到外界環(huán)境中。其中，設(shè)備手動(dòng)操作包括:手動(dòng)傳片、手動(dòng)工藝和手動(dòng)轉(zhuǎn)載/卸載物料，手動(dòng)傳片指的是用戶指定要傳輸?shù)膯纹锪虾驮撐锪弦獋鬏數(shù)竭_(dá)的目的位置，再由系統(tǒng)完成對(duì)物料的傳輸。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，自動(dòng)任務(wù)(Job)與手動(dòng)傳片是不能同時(shí)進(jìn)行的。也就是說(shuō)如果用戶想將一片不屬于正在運(yùn)行的自動(dòng)Job的物料傳輸?shù)侥硞€(gè)位置(這個(gè)位置所屬的設(shè)備也沒(méi)有參加正在運(yùn)行的自動(dòng)Job)，而此時(shí)又正在進(jìn)行一個(gè)自動(dòng)Job，那么必須等待Job結(jié)束后，才能進(jìn)行手動(dòng)傳片。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中集簇設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，下面以圖1中的集簇設(shè)備為例對(duì)自動(dòng)Job與手動(dòng)傳片是不能同時(shí)進(jìn)行的情況進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，該集簇設(shè)備包括:PMU PM2、PM3、PM4、機(jī)械手(Robot)、裝載器(Load Block，簡(jiǎn)稱:L)A 和 LB。自動(dòng) Job 定義為將LA中的第I片物料至第15片物料傳輸?shù)絇Ml中進(jìn)行工藝加工，每次加工時(shí)間為5分鐘。而手動(dòng)傳片則要把LB中的第I片物料傳輸?shù)絇M2中，那么當(dāng)機(jī)械手把物料傳輸?shù)絇Ml中開始加工時(shí)機(jī)械手是空閑的，此時(shí)將LB中的第I片物料傳輸?shù)絇M2中完全不會(huì)影響自動(dòng)Job的效率，并且還能提高設(shè)備的利用率。但是現(xiàn)有技術(shù)中必須要自動(dòng)Job完成后才能將LB中的第I片物料傳輸?shù)絇M2中，造成了設(shè)備的浪費(fèi)。在現(xiàn)有技術(shù)中自動(dòng)Job與手動(dòng)傳片不能同時(shí)進(jìn)行的原因主要是出于Job效率的考慮。在集簇設(shè)備中，機(jī)械手是一個(gè)瓶頸資源，自動(dòng)job開始后，系統(tǒng)按照J(rèn)ob的定義，根據(jù)設(shè)備最大利用率的原則，將傳輸任務(wù)依次分配給機(jī)械手，機(jī)械手依次完成。手動(dòng)傳片也需要通過(guò)機(jī)械手完成，而現(xiàn)有技術(shù)認(rèn)為手動(dòng)傳片占用了瓶頸資源機(jī)械手，會(huì)降低Job的效率。并且由于Job正在運(yùn)行，而加入手動(dòng)傳片的時(shí)機(jī)又是不一定的，因此現(xiàn)有技術(shù)不能確定手動(dòng)傳片開始時(shí)集簇設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)(例如:是否正在使用機(jī)械手等)，且出于安全的考慮也不允許自動(dòng)Job過(guò)程中進(jìn)行手動(dòng)傳片。
[0004]綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)存在如下技術(shù)問(wèn)題:
[0005]1、手動(dòng)傳片的目的有時(shí)是為了將物料傳輸?shù)侥硞€(gè)工藝模塊中進(jìn)行手動(dòng)的工藝加工?，F(xiàn)有技術(shù)中，用戶必須在當(dāng)前進(jìn)行的自動(dòng)Job結(jié)束后才能進(jìn)行手動(dòng)傳片。通常自動(dòng)Job的時(shí)間都較長(zhǎng)，那么用戶需要等待較長(zhǎng)的時(shí)間才能進(jìn)行手動(dòng)傳片。在等待的過(guò)程中，集簇設(shè)備中要傳輸?shù)奈锪弦约拔锪系哪康牡囟际情e置狀態(tài)，并且此時(shí)的機(jī)械手已經(jīng)不是瓶頸資源，在自動(dòng)Job進(jìn)行工藝的過(guò)程中，機(jī)械手是空閑的，但現(xiàn)有技術(shù)依然需要等待自動(dòng)Job的完成才能使用機(jī)械手進(jìn)行手動(dòng)傳片，從而降低了設(shè)備的利用率。
[0006]2、用戶要隨時(shí)關(guān)注自動(dòng)Job的完成情況，就只能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備，也不能開展其他工作，從而降低了用戶的工作效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明提供一種工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備，通過(guò)在自動(dòng)Job的進(jìn)行過(guò)程中加入手動(dòng)傳片任務(wù)，提高設(shè)備的利用率以及提高用戶的工作效率。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種工藝控制方法，包括:
[0009]根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)；
[0010]根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑；
[0011]根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導(dǎo)體設(shè)備根據(jù)所述任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片。
[0012]可選地，所述根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的步驟，包括:
[0013]根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，建立半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)；
[0014]根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要配置執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)過(guò)程中允許進(jìn)行手動(dòng)傳片；
[0015]更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
[0016]可選地，所述更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的步驟，包括:
[0017]根據(jù)所述半導(dǎo)體設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)，對(duì)建立的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行更新處理。
[0018]可選地，所述根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息的步驟，包括:
[0019]根據(jù)設(shè)備利用率最大原則，對(duì)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息進(jìn)行計(jì)算處理生成所述任務(wù)分配信息。
[0020]可選地，所述根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑的步驟，包括:
[0021]根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，采用最短路徑算法計(jì)算出手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑。
[0022]可選地，所述最短路徑算法為單源最短路徑算法。
[0023]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種工藝控制系統(tǒng)，包括:拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊、傳輸路徑生成模塊和調(diào)度任務(wù)模塊，其中，
[0024]所述拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊，用于根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)；
[0025]所述傳輸路徑生成模塊，用于根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑；[0026]所述任務(wù)調(diào)度模塊，用于根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導(dǎo)體設(shè)備在執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片。
[0027]可選地，所述拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊，包括:
[0028]拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)獲取模塊，用于根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，建立半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)；
[0029]配置模塊，用于根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要配置執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)過(guò)程中允許進(jìn)行手動(dòng)傳片；
[0030]更新模塊，用于更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
[0031]可選地，所述更新模塊具體用于根據(jù)所述半導(dǎo)體設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)，對(duì)建立的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行更新處理。
[0032]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備，包括:上述工藝控制系統(tǒng)。
[0033]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0034]本發(fā)明提供的工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)方案包括:根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑，根據(jù)手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)Job的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，使得半導(dǎo)體設(shè)備可根據(jù)該任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動(dòng)Job的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片，從而提高了設(shè)備的利用率。并且用戶無(wú)需隨時(shí)關(guān)注自動(dòng)Job的完成情況，從而提高了用戶的工作效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中集簇設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的一種工藝控制方法的流程圖；
[0037]圖3為表2中的二位數(shù)組描述的有向圖的示意圖；
[0038]圖4為本發(fā)明實(shí)施例二提供的一種工藝控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的工藝控制方法、系統(tǒng)和半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0040]圖2為本發(fā)明實(shí)施例一提供的一種工藝控制方法的流程圖，如圖2所示，該方法包括:
[0041]步驟101、根據(jù)半導(dǎo)體的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
[0042]本實(shí)施例中，步驟101具體可包括:
[0043]步驟1011、根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，建立半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
[0044]其中，半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)為半導(dǎo)體設(shè)備中各模塊之間的連接關(guān)系。本實(shí)施例中的半導(dǎo)體設(shè)備為集簇設(shè)備，則半導(dǎo)體設(shè)備以圖1為例，該半導(dǎo)體設(shè)備包括:PM1、PM2、PM3、PM4、機(jī)械手、LA和LB，則拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)為上述PM1、PM2、PM3、PM4、機(jī)械手、LA和LB之間的連接關(guān)系。半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可以為二位數(shù)組，即:半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)可通過(guò)二維數(shù)組表示。表I所示為二維數(shù)組，其中，相鄰模塊之間的值設(shè)置為1，不相鄰模塊之間的值設(shè)置為MAX。二維數(shù)組如下表I所示:
[0045]表I
[0046]
【權(quán)利要求】
1.一種工藝控制方法，其特征在于，包括: 根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)； 根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑； 根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導(dǎo)體設(shè)備根據(jù)所述任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝控制方法，其特征在于，所述根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的步驟，包括: 根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，建立半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)； 根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要配置執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)過(guò)程中允許進(jìn)行手動(dòng)傳片； 更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝控制方法，其特征在于，所述更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的步驟，包括: 根據(jù)所述半導(dǎo)體設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)，對(duì)建立的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行更新處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝控制方法，其特征在于，所述根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息的步驟，包括: 根據(jù)設(shè)備利用率最大原則，對(duì)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息進(jìn)行計(jì)算處理生成所述任務(wù)分配信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝控制方法，其特征在于，所述根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑的步驟，包括: 根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，采用最短路徑算法計(jì)算出手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工藝控制方法，其特征在于，所述最短路徑算法為單源最短路徑算法。
7.—種工藝控制系統(tǒng)，其特征在于，包括:拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊、傳輸路徑生成模塊和調(diào)度任務(wù)模塊，其中， 所述拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊，用于根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)； 所述傳輸路徑生成模塊，用于根據(jù)設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，生成手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑； 所述任務(wù)調(diào)度模塊，用于根據(jù)所述手動(dòng)傳片的物料的傳輸路徑和自動(dòng)任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導(dǎo)體設(shè)備在執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)的過(guò)程中執(zhí)行手動(dòng)傳片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的工藝控制系統(tǒng)，其特征在于，所述拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)設(shè)置模塊，包括: 拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)獲取模塊，用于根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的配置情況，建立半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)； 配置模塊，用于根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要配置執(zhí)行自動(dòng)任務(wù)過(guò)程中允許進(jìn)行手動(dòng)傳片； 更新模塊，用于更新半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工藝控制系統(tǒng)，其特征在于， 所述更新模塊具體用于根據(jù)所述半導(dǎo)體設(shè)備的實(shí)時(shí)狀態(tài)，對(duì)建立的半導(dǎo)體設(shè)備的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行更新處理。
10.一種半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，包括:權(quán)利要求7至9任一項(xiàng)所述的工藝控制系統(tǒng)。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103972129SQ201310045990
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月5日
【發(fā)明者】崔琳 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司