技術(shù)編號：7255752
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種工藝控制方法、系統(tǒng)和半導體設(shè)備。該方法包括根據(jù)半導體設(shè)備的配置情況，設(shè)置半導體設(shè)備的拓撲結(jié)構(gòu)；根據(jù)設(shè)置的半導體設(shè)備的拓撲結(jié)構(gòu)，生成手動傳片的物料的傳輸路徑；根據(jù)所述手動傳片的物料的傳輸路徑和自動任務(wù)的任務(wù)信息生成任務(wù)分配信息，以供半導體設(shè)備根據(jù)所述任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動任務(wù)的過程中執(zhí)行手動傳片。本發(fā)明的技術(shù)方案使得半導體設(shè)備可根據(jù)該任務(wù)分配信息在執(zhí)行自動Job的過程中執(zhí)行手動傳片，從而提高了設(shè)備的利用率；并且用戶無需隨時關(guān)注自動Job的完成...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。