工件搬運(yùn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N工件搬運(yùn)系統(tǒng)，該工件搬運(yùn)系統(tǒng)能夠改善所使用的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。例如，工件搬運(yùn)系統(tǒng)(1)具有：機(jī)器人(11、12)，其配置在對(duì)工件(W)進(jìn)行規(guī)定處理的處理模組(4、6)的前方，且向處理模組(4、6)搬入工件(W)以及從處理模組(4、6)搬出工件(W)；工件收納部(13)，其收納向處理模組(4、6)搬入的工件(W)以及從處理模組(4、6)搬出的工件(W)；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)(14)，其使工件收納部(13)朝向與相對(duì)于處理模組(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移動(dòng)。
【專利說(shuō)明】工件搬運(yùn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在生產(chǎn)線中搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓、液晶面板或者太陽(yáng)能電池面板等工件的工件搬運(yùn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在具有對(duì)工件進(jìn)行規(guī)定處理的多個(gè)處理模組的生產(chǎn)線中，廣泛應(yīng)用在多個(gè)處理模組之間搬運(yùn)工件的工業(yè)用機(jī)器人。例如圖6、圖7所示，在半導(dǎo)體的生產(chǎn)線101中使用了工業(yè)用機(jī)器人102 (機(jī)器人102)。生產(chǎn)線101具有省略圖示的前端模組(Equipment FrontEnd Module(EFEM))和例如四個(gè)處理模組103、104、105、106。處理模組103與處理模組104在上下方向上重疊配置，處理模組105與處理模組106在上下方向上重疊配置。并且，處理模組103、104與處理模組105、106在作為水平方向的一個(gè)方向的圖6、圖7的X方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。在處理模組103、104與EFEM之間設(shè)置有用于將作為工件的半導(dǎo)體晶圓W(晶圓W)在提供給處理模組103至106之前臨時(shí)收納的緩存區(qū)108。另外，收納在EFEM內(nèi)的晶圓W通過(guò)省略圖示的機(jī)器人提供給緩存區(qū)108。
[0003]機(jī)器人102具有用于抓握晶圓W的末端效應(yīng)器111。具體地說(shuō)，機(jī)器人102具有兩個(gè)末端效應(yīng)器111，即:用于從緩存區(qū)108接收晶圓W的末端效應(yīng)器111和用于向緩存區(qū)108放置晶圓W的末端效應(yīng)器111。并且，機(jī)器人102具有:臂112，其與能夠旋轉(zhuǎn)的末端效應(yīng)器111連接；臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使臂112伸縮并使末端效應(yīng)器111朝向水平方向移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其使臂112以上下方向?yàn)檩S向并以臂112的基端側(cè)附近為中心旋轉(zhuǎn)；升降機(jī)構(gòu)113，其使末端效應(yīng)器111升降；以及搬運(yùn)機(jī)構(gòu)114，其向X方向搬運(yùn)末端效應(yīng)器111。該機(jī)器人102在緩存區(qū)108與處理模組103至106之間搬運(yùn)晶圓W。
[0004]在生產(chǎn)線101中，為了完成預(yù)先設(shè)定的流程，由處理模組103至106中的某一個(gè)進(jìn)行處理后的晶圓W有時(shí)會(huì)在之后被提供給處理模組103至106中的其他處理模組，但通常會(huì)返回到緩存區(qū)108。并且，在該處理模組103至106中對(duì)晶圓W進(jìn)行規(guī)定的處理。在該生產(chǎn)線101中，首先，機(jī)器人102從緩存區(qū)108接收從EFEM提供并被收納在緩存區(qū)108內(nèi)的晶圓W，例如向處理模組103搬運(yùn)。并且，機(jī)器人I從處理模組103取出處理結(jié)束的晶圓W，并將處理結(jié)束的晶圓W再次搬運(yùn)到緩存區(qū)108。而且，機(jī)器人102從緩存區(qū)108接收晶圓W，例如向處理模組105搬運(yùn)。反復(fù)進(jìn)行這些動(dòng)作，從而在生產(chǎn)線101中對(duì)晶圓W執(zhí)行規(guī)定的流程。也就是說(shuō)，在生產(chǎn)線101中，機(jī)器人102在對(duì)晶圓W進(jìn)行處理的處理模組103至106與緩存區(qū)108之間往返移動(dòng)數(shù)次，來(lái)對(duì)晶圓W執(zhí)行規(guī)定的流程。
[0005]假設(shè)在處理模組103至106中存在處理結(jié)束的晶圓W，則在例如向處理模組103搬運(yùn)晶圓W時(shí)，機(jī)器人102在處理模組103中使用兩個(gè)末端效應(yīng)器111中的一個(gè)從處理模組103中取出由處理模組103處理過(guò)的處理結(jié)束的晶圓W，且將從緩存區(qū)108中取出并被另一末端效應(yīng)器111抓握的晶圓W放置在處理模組103內(nèi)。然后，機(jī)器人102向緩存區(qū)108搬運(yùn)從處理模組103中取出并被一個(gè)末端效應(yīng)器111抓握的處理結(jié)束的晶圓W。并且，機(jī)器人102在緩存區(qū)108中使用另一末端效應(yīng)器111從緩存區(qū)108中取出例如應(yīng)該由處理模組105處理的晶圓W，且將從處理模組103中取出并被一個(gè)末端效應(yīng)器111抓握的晶圓W放置到緩存區(qū)108內(nèi)。
[0006]發(fā)明的概要
[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]在生產(chǎn)線101中，為了實(shí)現(xiàn)高效的生產(chǎn)線101，將由處理模組103至106處理晶圓W的能力、通過(guò)機(jī)器人102搬運(yùn)晶圓W的能力以及處理模組103至106的布局的平衡合理化較為重要。尤其，如圖6、圖7所示，在處理模組103、104與處理模組105、106在X方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置的生產(chǎn)線101中，為了實(shí)現(xiàn)高效的生產(chǎn)線101，提高晶圓W的搬運(yùn)效率較為重要。也就是說(shuō)，在生產(chǎn)線101中，為了實(shí)現(xiàn)高效的生產(chǎn)線101，提高機(jī)器人102朝向X方向移動(dòng)的速度較為重要。
[0009]然而，在半導(dǎo)體等的生產(chǎn)線中通常所使用的機(jī)器人的重量根據(jù)該機(jī)器人所涉及的功能而達(dá)到大致50kg至100kg。因此，在生產(chǎn)線101中，如果要使機(jī)器人102安全地動(dòng)作，則難以將機(jī)器人102朝向X方向移動(dòng)的速度提高到現(xiàn)有的速度以上。因此，例如在生產(chǎn)線101中難以將生產(chǎn)效率改善至以往以上。
[0010]因此，本發(fā)明的課題在于提供一種能夠改善所使用的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率的工件搬運(yùn)系統(tǒng)，尤其提供一種在搬運(yùn)半導(dǎo)體等工件較長(zhǎng)距離的生產(chǎn)線中使用時(shí)，能夠改善所述生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率的工件搬運(yùn)系統(tǒng)。
[0011]用于解決課題的手段
[0012]為了解決上述課題，本發(fā)明的工件搬運(yùn)系統(tǒng)的特征在于，該工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有:機(jī)器人，其配置在對(duì)工件進(jìn)行規(guī)定處理的處理模組的前方，且所述機(jī)器人向處理模組搬入工件以及從處理模組搬出工件；工件收納部，其收納向處理模組搬入的工件以及從處理模組搬出的工件；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使工件收納部朝向與相對(duì)于處理模組搬入搬出工件的方向大致正交的方向移動(dòng)。
[0013]本發(fā)明的工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有:工件收納部，其收納工件；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使工件收納部朝向與相對(duì)于處理模組搬入搬出工件的方向大致正交的方向移動(dòng)。因此，在本發(fā)明中，只要使與機(jī)器人相比能夠減輕重量的工件收納部代替機(jī)器人朝向與相對(duì)于處理模組搬入搬出工件的方向大致正交的方向移動(dòng)即可。因此，在本發(fā)明中，即使將工件收納部的移動(dòng)速度設(shè)置得比機(jī)器人的移動(dòng)速度快，也能夠安全地使工件收納部移動(dòng)。也就是說(shuō)，在本發(fā)明中，能夠加快工件收納部的移動(dòng)速度來(lái)提高工件的搬運(yùn)效率。其結(jié)果是，在本發(fā)明中，能夠改善使用工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。并且，在本發(fā)明中，由于能夠加快工件收納部的移動(dòng)速度，因此如果在搬運(yùn)工件較長(zhǎng)距離的生產(chǎn)線中使用本發(fā)明的工件搬運(yùn)系統(tǒng)的話，則能夠進(jìn)一步提聞所述生廣線的生廣效率。
[0014]在本發(fā)明中，優(yōu)選工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有排列在工件收納部的移動(dòng)方向上的多個(gè)機(jī)器人，且在工件收納部能夠收納多個(gè)工件。如果像這樣構(gòu)成，則例如在圖6、圖7所說(shuō)明的緩存區(qū)108的配置位置能夠?qū)⒍鄠€(gè)晶圓收納在工件收納部?jī)?nèi)。因此，當(dāng)在設(shè)置了排列在工件收納部的移動(dòng)方向上的多個(gè)處理模組的生產(chǎn)線中使用該工件搬運(yùn)系統(tǒng)的情況下，即使由多個(gè)機(jī)器人中的一臺(tái)機(jī)器人取出工件之后的工件收納部暫時(shí)不返回到緩存區(qū)的配置位置，而是直接移動(dòng)到其他機(jī)器人的配置位置，該其他機(jī)器人也能夠取出被收納在工件收納部?jī)?nèi)的工件。因此，能夠有效地改善使用工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。[0015]在本發(fā)明中，優(yōu)選工件收納部在相對(duì)于處理模組搬入搬出工件的方向上配置在處理模組與機(jī)器人之間。如果像這樣構(gòu)成，則只要使從規(guī)定的待機(jī)位置朝向工件收納部移動(dòng)并在工件收納部接收工件之后的機(jī)器人的末端效應(yīng)器直接朝向相同的方向移動(dòng)，并向處理模組搬入工件即可。并且，只要使從處理模組朝向工件收納部移動(dòng)并將工件收納在工件收納部之后的末端效應(yīng)器直接向相同的方向移動(dòng)到待機(jī)位置即可。因此，能夠簡(jiǎn)化機(jī)器人的控制。
[0016]在本發(fā)明中，優(yōu)選工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有:在上下方向上重疊配置的多個(gè)工件收納部；分別使多個(gè)工件收納部移動(dòng)的多個(gè)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)；以及與多個(gè)工件收納部相同的個(gè)數(shù)以上的多個(gè)機(jī)器人，機(jī)器人具有裝載工件的末端效應(yīng)器和使末端效應(yīng)器升降的升降機(jī)構(gòu)，多個(gè)機(jī)器人排列在工件收納部的移動(dòng)方向上，多個(gè)工件收納部配置在多個(gè)機(jī)器人的下側(cè)，分別設(shè)置于多個(gè)機(jī)器人的末端效應(yīng)器各自的移動(dòng)范圍的下限位置在工件收納部的移動(dòng)方向上逐漸降低,且根據(jù)多個(gè)工件收納部各自的高度來(lái)設(shè)定。如果像這樣構(gòu)成,則能夠使多個(gè)工件收納部中的一個(gè)工件收納部與多個(gè)機(jī)器人中的一臺(tái)機(jī)器人一對(duì)一地對(duì)應(yīng)。因此，工件搬運(yùn)系統(tǒng)的控制變得容易。并且，如果像這樣構(gòu)成，則由于分別設(shè)置于多個(gè)機(jī)器人的末端效應(yīng)器各自的移動(dòng)范圍的下限位置在工件收納部的移動(dòng)方向上逐漸降低，且根據(jù)多個(gè)工件收納部各自的高度來(lái)設(shè)定，因此通過(guò)調(diào)整多個(gè)工件收納部的移動(dòng)范圍，能夠防止與某個(gè)工件收納部對(duì)應(yīng)的機(jī)器人同除了與該機(jī)器人對(duì)應(yīng)的工件收納部之外的工件收納部之間的干涉。因此，能夠同時(shí)且自由地進(jìn)行多個(gè)機(jī)器人的動(dòng)作和多個(gè)工件收納部的移動(dòng)，其結(jié)果是，能夠有效地改善使用工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。
[0017]在本發(fā)明中，優(yōu)選工件收納部配置在機(jī)器人的下側(cè)，且在偏離機(jī)器人的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。如果像這樣構(gòu)成，則能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人與移動(dòng)中的工件收納部之間的干涉。因此，能夠同時(shí)且自由地進(jìn)行機(jī)器人的動(dòng)作和工件收納部的移動(dòng)，其結(jié)果是能夠有效地改善使用工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。并且，如果像這樣構(gòu)成，則能夠在機(jī)器人的工件搬入搬出方向上的兩側(cè)配置處理模組。
[0018]發(fā)明效果
[0019]如上文所述，在本發(fā)明中能夠改善使用工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為用于說(shuō)明使用了本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0021]圖2為用于說(shuō)明圖1所示的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0022]圖3為用于說(shuō)明使用了本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的工件搬運(yùn)系統(tǒng)的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0023]圖4為用于說(shuō)明圖3所示的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0024]圖5為用于從圖4的E-E方向說(shuō)明生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的圖。
[0025]圖6為用于說(shuō)明現(xiàn)有技術(shù)所涉及的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0026]圖7為用于說(shuō)明圖6所示的生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】[0027]以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0028]實(shí)施方式I
[0029]工件搬運(yùn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
[0030]圖1為用于說(shuō)明使用了本發(fā)明的實(shí)施方式I所涉及的工件搬運(yùn)系統(tǒng)I的生產(chǎn)線2的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2為用于說(shuō)明圖1所示的生產(chǎn)線2的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0031]本方式的工件搬運(yùn)系統(tǒng)I為用于在半導(dǎo)體的生產(chǎn)線2中搬運(yùn)作為工件的半導(dǎo)體晶圓W(晶圓W)的系統(tǒng)。在生產(chǎn)線2中，對(duì)晶圓W依次進(jìn)行幾個(gè)處理。該生產(chǎn)線2具有省略圖示的EFEM和對(duì)晶圓W進(jìn)行規(guī)定處理的處理模組4至7。本方式的生產(chǎn)線2具有四個(gè)處理模組4至7。處理模組4至7—般具有用于存入取出晶圓W的門(省略圖示)。
[0032]處理模組4與處理模組5在上下方向上重疊配置，處理模組6與處理模組7在上下方向上重疊配置。并且，處理模組4、5與處理模組6、7在作為水平方向的一個(gè)方向的X方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。在本方式中，處理模組4、5配置在比處理模組6、7靠EFEM側(cè)的位置。而且，處理模組4、5與處理模組6、7在作為與X方向正交的水平方向的一個(gè)方向的Y方向上配置在相同的位置。并且，處理模組4與處理模組6被配置在相同的高度，處理模組5與處理模組7被配置在相同的高度。
[0033]工件搬運(yùn)系統(tǒng)I具有:機(jī)器人11，其向處理模組4、5搬入晶圓W以及從處理模組
4、5搬出晶圓W ;機(jī)器人12，其向處理模組6、7搬入晶圓W以及從處理模組6、7搬出晶圓W ;晶圓收納部13，其作為工件收納部收納向處理模組4至7搬入的晶圓W以及從處理模組4至7搬出的晶圓W ;以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)14，其使晶圓收納部13朝向X方向移動(dòng)。
[0034]機(jī)器人11、12為所謂的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。該機(jī)器人11、12具有抓握晶圓W(或者裝載晶圓W)的兩個(gè)末端效應(yīng)器(手)16。并且，機(jī)器人11、12具有:臂17，其與能夠旋轉(zhuǎn)的末端效應(yīng)器16連接；臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使臂17伸縮并使末端效應(yīng)器16移動(dòng)；以及升降機(jī)構(gòu)18，其使末端效應(yīng)器16以及臂17升降。機(jī)器人11配置在處理模組4、5的前方，機(jī)器人12配置在處理模組6、7的前方。在本方式中，機(jī)器人11固定在處理模組4、5的前方，機(jī)器人12固定在處理模組6、7的前方。并且，機(jī)器人11、12在Y方向上配置在相同的位置。
[0035]在機(jī)器人11、12中，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)18以處理模組4至7的門的高度與末端效應(yīng)器16的高度一致的方式升降末端效應(yīng)器16。并且，在機(jī)器人11、12中，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以末端效應(yīng)器16朝向Y方向呈直線狀移動(dòng)的方式伸縮臂17，從而朝向處理模組4至7搬入晶圓W以及從處理模組4至7搬出晶圓W。
[0036]晶圓收納部13例如形成為箱狀，且能夠收納晶圓W。在晶圓收納部13中能夠收納多張晶圓W。在本方式中，在晶圓收納部13中能夠收納兩張晶圓W。晶圓收納部13在Y方向上配置在處理模組4至7與機(jī)器人11、12之間。并且，晶圓收納部13能夠在由EFEM提供晶圓W的原點(diǎn)位置(圖1、圖2所示的位置)、處理模組4、5以及處理模組6、7之間朝向X方向移動(dòng)，晶圓收納部13在原點(diǎn)位置、處理模組4、5以及處理模組6、7之間向X方向搬運(yùn)晶圓W。另外，被收納在EFEM內(nèi)的晶圓W通過(guò)省略圖示的機(jī)器人提供給位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部13。
[0037]移動(dòng)機(jī)構(gòu)14例如具有:旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)；與旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)連接并以X方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向配置的導(dǎo)螺桿；固定于晶圓收納部13并與導(dǎo)螺桿卡合的螺母部件；以X方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向配置的導(dǎo)軌；以及固定于晶圓收納部13并與導(dǎo)軌卡合的導(dǎo)向塊?；蛘?，移動(dòng)機(jī)構(gòu)14例如具有線性馬達(dá)和同步帶來(lái)代替上述的旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)、導(dǎo)螺桿以及螺母部件。
[0038]在生產(chǎn)線2中，為了完成預(yù)先設(shè)定的流程，由處理模組4至7中的某一個(gè)進(jìn)行處理之后的晶圓W有時(shí)會(huì)在之后被提供給處理模組4至7中的其他處理模組，但是一般情況下會(huì)返回至EFEM。并且，在這些處理模組4至7中對(duì)晶圓W進(jìn)行規(guī)定的處理。在本方式中，例如在將晶圓W搬入至處理模組4、6的情況下，在生產(chǎn)線2中，首先從EFEM向位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部13提供并收納應(yīng)該由處理模組4處理的晶圓W和應(yīng)該由處理模組6處理的晶圓W這兩張晶圓W。另外，以下假設(shè)在處理模組4、6中存在處理結(jié)束的晶圓W。
[0039]之后，晶圓收納部13向機(jī)器人11的設(shè)置位置(即，處理模組4、5的設(shè)置位置)搬運(yùn)所收納的晶圓W。如果晶圓W被搬運(yùn)到機(jī)器人11的設(shè)置位置，則機(jī)器人11使用兩個(gè)末端效應(yīng)器16中的一個(gè)從處理模組4搬出由處理模組4處理過(guò)的晶圓W，并使用另一個(gè)末端效應(yīng)器16從晶圓收納部13取出晶圓W并向處理模組4搬入。并且，機(jī)器人11將從處理模組4搬出并被一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W放置到晶圓收納部13。
[0040]之后，晶圓收納部13向機(jī)器人12的設(shè)置位置(即，處理模組6、7的設(shè)置位置)移動(dòng)。也就是說(shuō)，晶圓收納部13向機(jī)器人12的設(shè)置位置搬運(yùn)由處理模組4處理過(guò)的晶圓W以及收納在原點(diǎn)位置的晶圓W。機(jī)器人12使用兩個(gè)末端效應(yīng)器16中的一個(gè)從處理模組6搬出由處理模組6處理過(guò)的晶圓W，且使用另一個(gè)末端效應(yīng)器16從晶圓收納部13取出收納在原點(diǎn)位置的晶圓W，并向處理模組6搬入。并且，機(jī)器人12將從處理模組6搬出并被一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W放置到晶圓收納部13。
[0041]之后，晶圓收納部13向原點(diǎn)位置移動(dòng)。如果晶圓收納部13移動(dòng)到原點(diǎn)位置，則被收納在晶圓收納部13內(nèi)的兩張晶圓W( S卩，由處理模組4處理過(guò)的晶圓W以及由處理模組6處理過(guò)的晶圓W)通過(guò)省略圖示的機(jī)器人例如返回到EFEM。反復(fù)進(jìn)行這些動(dòng)作，從而在生產(chǎn)線2中對(duì)晶圓W執(zhí)行規(guī)定的流程。
[0042]另外，只要是將從處理模組4搬出并被一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W放置在晶圓收納部13，且使用另一個(gè)末端效應(yīng)器16從晶圓收納部13取出晶圓W之后，則晶圓收納部13也可在機(jī)器人11開(kāi)始向處理模組4搬入被另一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W的同時(shí)，從機(jī)器人11的設(shè)置位置向機(jī)器人12的設(shè)置位置移動(dòng)。并且，只要是將從處理模組6搬出并被一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W放置在晶圓收納部13，且使用另一個(gè)末端效應(yīng)器16從晶圓收納部13取出晶圓W之后，則晶圓收納部13也可在機(jī)器人12開(kāi)始向處理模組6搬入被另一個(gè)末端效應(yīng)器16抓握的晶圓W的同時(shí)，從機(jī)器人12的設(shè)置位置向原點(diǎn)位置移動(dòng)。
[0043]本方式的主要效果
[0044]如上述說(shuō)明，在本方式中，形成為箱狀等的晶圓收納部13能夠在原點(diǎn)位置、處理模組4、5以及處理模組6、7之間朝向X方向移動(dòng)。因此，在本方式中，在向X方向搬運(yùn)晶圓W時(shí)，只要使與移動(dòng)機(jī)器人11、12相比能夠減輕重量的晶圓收納部13朝向X方向移動(dòng)即可。因此，在本方式中，即使將晶圓收納部13的移動(dòng)速度設(shè)定得較快，也能夠使晶圓收納部13安全地移動(dòng)。也就是說(shuō)，在本方式中，能夠加快晶圓收納部13的移動(dòng)速度，從而提高晶圓W的搬運(yùn)效率。其結(jié)果是，在本方式中，能夠改善生產(chǎn)線2的生產(chǎn)效率。并且，在本方式中，由于能夠加快晶圓收納部13的移動(dòng)速度，因此當(dāng)生產(chǎn)線2中的晶圓W的搬運(yùn)距離較長(zhǎng)時(shí)(即，原點(diǎn)位置與機(jī)器人11的設(shè)置位置之間的距離或者機(jī)器人11的設(shè)置位置與機(jī)器人12的設(shè)置位置之間的距離較長(zhǎng)時(shí))，能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)線2的生產(chǎn)效率。[0045]在本方式中，工件搬運(yùn)系統(tǒng)I具有兩臺(tái)機(jī)器人11、12，且能夠在晶圓收納部13收納兩張晶圓W。因此，在本方式中，如上文所述，只要在位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部13收納例如應(yīng)該由處理模組4處理的晶圓W和應(yīng)該由處理模組6處理的晶圓W這兩張晶圓W，則即使在機(jī)器人11對(duì)處理模組4進(jìn)行晶圓W的搬出動(dòng)作和搬入動(dòng)作之后，晶圓收納部13暫時(shí)不返回到原點(diǎn)位置，而是直接移動(dòng)到機(jī)器人12的設(shè)置位置，機(jī)器人12也能夠?qū)μ幚砟＝M6進(jìn)行晶圓W的搬出動(dòng)作以及搬入動(dòng)作。
[0046]因此，如圖1所示，在將X方向上的晶圓收納部13的原點(diǎn)位置與機(jī)器人11之間的距離(即，晶圓收納部13的原點(diǎn)位置與處理模組4、5之間的距離)設(shè)為A，將X方向上的機(jī)器人11與機(jī)器人12之間的距離(即，處理模組4、5與處理模組6、7之間的距離)設(shè)為B時(shí)，在本方式的生產(chǎn)線2中，晶圓收納部13在從原點(diǎn)位置出發(fā)將晶圓W搬入至處理模組4、6后再返回到原點(diǎn)位置的過(guò)程中移動(dòng)的距離成為(2A+2B)。
[0047]與此相對(duì)，在以往的生產(chǎn)線101中，如上文所述，在將晶圓W搬入處理模組103、105的情況下，機(jī)器人102在向處理模組103搬入晶圓W之后，暫且返回到緩存區(qū)108，然后再向處理模組105移動(dòng)并向處理模組105搬入晶圓W。因此，如圖6所示，在將X方向上的緩存區(qū)108與處理模組103、104之間的距離同樣設(shè)為A，將X方向上的處理模組103、104與處理模組105、106之間的距離同樣設(shè)為B時(shí)，在以往的生產(chǎn)線101中，機(jī)器人102在從緩存區(qū)108出發(fā)將晶圓W搬入至處理模組103、105之后返回到緩存區(qū)108的過(guò)程中移動(dòng)的距離成為(4A+2B)。
[0048]也就是說(shuō)，當(dāng)在X方向上緩存區(qū)108與處理模組103、104之間的距離同晶圓收納部13的原點(diǎn)位置與處理模組4、5之間的距離相等，且處理模組103、104與處理模組105、106之間的距離同處理模組4、5與處理模組6、7之間的距離相等時(shí)，晶圓收納部13在將晶圓W搬入至處理模組4、6時(shí)移動(dòng)的距離與在將晶圓W搬入至處理模組103、105時(shí)移動(dòng)的距離相比，縮短了距離2A。因此，與以往的生產(chǎn)線101相比，在本方式的生產(chǎn)線2中，能夠有效地改善生產(chǎn)線2的生產(chǎn)效率。
[0049]在本方式中，晶圓收納部13在作為末端效應(yīng)器16的移動(dòng)方向的Y方向上，配置在處理模組4至7與機(jī)器人11、12之間。因此，在本方式中，只要使從規(guī)定的待機(jī)位置朝向晶圓收納部13移動(dòng)并在晶圓收納部13接收晶圓W后的末端效應(yīng)器16直接朝向相同的方向移動(dòng)，并向處理模組4至7搬入晶圓W即可。并且，只要使從處理模組4至7朝向晶圓收納部13移動(dòng)并將晶圓W收納在晶圓收納部13之后的末端效應(yīng)器16直接朝向相同的方向移動(dòng)到待機(jī)位置即可。因此，在本方式中，不必設(shè)置使末端效應(yīng)器16以及臂17以上下方向?yàn)檩S向且以臂17的基端側(cè)附近為中心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。其結(jié)果是，在本方式中能夠簡(jiǎn)化機(jī)器人11、12的結(jié)構(gòu)。并且，能夠簡(jiǎn)化機(jī)器人11、12的控制。
[0050]在本方式中，晶圓收納部13能夠在原點(diǎn)位置、處理模組4、5以及處理模組6、7之間朝向X方向移動(dòng)。因此，在本方式中，不必在機(jī)器人11、12中設(shè)置用于使末端效應(yīng)器16以及臂17朝向X方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。因此，在本方式中能夠簡(jiǎn)化機(jī)器人11、12的結(jié)構(gòu)。
[0051]實(shí)施方式I的變形例
[0052]在實(shí)施方式I中，工件搬運(yùn)系統(tǒng)I具有一個(gè)晶圓收納部13和使該晶圓收納部13朝向X方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)14。除此之外，工件搬運(yùn)系統(tǒng)I例如還可以具有:專門用于向處理模組4至7的配置位置搬運(yùn)從EFEM提供的晶圓W的晶圓收納部和專門用于從處理模組4至7的配置位置向EFEM搬運(yùn)由處理模組4至7處理過(guò)的晶圓W的晶圓收納部這兩個(gè)晶圓收納部；以及使這兩個(gè)晶圓收納部分別朝向X方向移動(dòng)的兩個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。并且，工件搬運(yùn)系統(tǒng)I也可具有:專門用于在EFEM與處理模組4、5的配置位置之間搬運(yùn)晶圓W的晶圓收納部和專門用于在EFEM與處理模組6、7的配置位置之間搬運(yùn)晶圓W的晶圓收納部這兩個(gè)晶圓收納部；以及使這兩個(gè)晶圓收納部分別朝向X方向移動(dòng)的兩個(gè)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。并且，工件搬運(yùn)系統(tǒng)I也可具有三個(gè)以上的晶圓收納部和使三個(gè)以上的晶圓收納部分別朝向X方向移動(dòng)的三個(gè)以上的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在這種情況下，能夠進(jìn)一步提高生產(chǎn)線2的生產(chǎn)效率。
[0053]在實(shí)施方式I中，在生產(chǎn)線2中設(shè)置有兩臺(tái)機(jī)器人11、12。除此之外，例如在生產(chǎn)線2只具有處理模組4、5的情況下，只要在生產(chǎn)線2中設(shè)置一臺(tái)機(jī)器人11即可。在這種情況下，能夠收納在晶圓收納部13內(nèi)的晶圓W的張數(shù)也可以是一張。并且，設(shè)置在生產(chǎn)線2中的機(jī)器人的個(gè)數(shù)可根據(jù)處理模組的布局設(shè)置三臺(tái)以上。
[0054]在實(shí)施方式I中，機(jī)器人12從晶圓收納部13中取出收納在原點(diǎn)位置的晶圓W并向處理模組6搬入。除此之外，機(jī)器人12例如還可以從晶圓收納部13取出由處理模組4處理過(guò)的晶圓W，并向處理模組6搬入。并且，在實(shí)施方式I中，在晶圓收納部13能夠收納兩張晶圓W，但也可在晶圓收納部13能夠收納三張以上的晶圓W。在這種情況下，為了進(jìn)一步提高生產(chǎn)線2的生產(chǎn)效率，優(yōu)選在晶圓收納部13能夠收納五張以上的晶圓W。
[0055]在實(shí)施方式I中，晶圓收納部13在Y方向上配置在處理模組4至7與機(jī)器人11、12之間，但晶圓收納部13的配置位置不限定于該位置。例如，晶圓收納部13也可在Y方向上以機(jī)器人11、12被夾持在處理模組4至7與晶圓收納部13之間的方式配置。并且，在實(shí)施方式I中，在生產(chǎn)線2中設(shè)置有一個(gè)工件搬運(yùn)系統(tǒng)1，但也可在生產(chǎn)線2中設(shè)置兩個(gè)以上的工件搬運(yùn)系統(tǒng)I。
[0056]實(shí)施方式2
[0057]工件搬運(yùn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
[0058]圖3為用于說(shuō)明使用了本發(fā)明的實(shí)施方式2所涉及的工件搬運(yùn)系統(tǒng)31的生產(chǎn)線32的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖4為用于說(shuō)明圖3所示的生產(chǎn)線32的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖5為用于從圖4的E-E方向說(shuō)明生產(chǎn)線32的結(jié)構(gòu)的圖。
[0059]本方式的工件搬運(yùn)系統(tǒng)31與實(shí)施方式I的工件搬運(yùn)系統(tǒng)I相同，為用于在半導(dǎo)體的生產(chǎn)線32中搬運(yùn)晶圓W的系統(tǒng)。生產(chǎn)線32具有EFEM33以及對(duì)晶圓W進(jìn)行規(guī)定處理的十六個(gè)處理模組34至49。處理模組34至49具有用于存入取出晶圓W的門(省略圖示)。
[0060]處理模組34與處理模組35在上下方向上重疊配置，處理模組36與處理模組37在上下方向上重疊配置，處理模組38與處理模組39在上下方向上重疊配置，處理模組40與處理模組41在上下方向上重疊配置，處理模組42與處理模組43在上下方向上重疊配置，處理模組44與處理模組45在上下方向上重疊配置，處理模組46與處理模組47在上下方向上重疊配置，處理模組48與處理模組49在上下方向上重疊配置。
[0061]并且,處理模組34、35與處理模組36、37在作為水平方向的一個(gè)方向的X方向上配置在相同的位置，且在作為與X方向正交的水平方向的一個(gè)方向的Y方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。處理模組38、39與處理模組40、41在X方向上配置在相同的位置，且在Y方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。處理模組42、43與處理模組44、45在X方向上配置在相同的位置，且在Y方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。處理模組46、47與處理模組48、49在X方向上配置在相同的位置，且在Y方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)配置。
[0062]而且，處理模組34至37、處理模組38至41、處理模組42至45以及處理模組46至49在X方向上以隔著一定間隔的狀態(tài)配置。在本方式中，處理模組34至37、處理模組38至41、處理模組42至45以及處理模組46至49從EFEM33側(cè)依次排列。
[0063]并且，處理模組34、35、處理模組38、39、處理模組42、43以及處理模組46、47在Y方向上配置在相同的位置，處理模組36、37、處理模組40、41、處理模組44、45以及處理模組48、49在Y方向上配置在相同的位置。而且，處理模組34、處理模組36、處理模組38、處理模組40、處理模組42、處理模組44、處理模組46以及處理模組48配置在相同的高度，處理模組35、處理模組37、處理模組39、處理模組41、處理模組43、處理模組45、處理模組47以及處理模組49配置在相同的高度。
[0064]工件搬運(yùn)系統(tǒng)31具有:相對(duì)于處理模組34至37搬入以及搬出晶圓W的機(jī)器人51 ;相對(duì)于處理模組38至41搬入以及搬出晶圓W的機(jī)器人52 ;相對(duì)于處理模組42至45搬入以及搬出晶圓W的機(jī)器人53 ;相對(duì)于處理模組46至49搬入以及搬出晶圓W的機(jī)器人54 ;收納相對(duì)于處理模組38至41搬入、搬出的晶圓W的作為工件收納部的晶圓收納部55 ；收納相對(duì)于處理模組42至45搬入、搬出的晶圓W的作為工件收納部的晶圓收納部56 ;收納相對(duì)于處理模組46至49搬入、搬出的晶圓W的作為工件收納部的晶圓收納部57 ;使晶圓收納部55朝向X方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)58 ;使晶圓收納部56朝向X方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)59 ;以及使晶圓收納部57朝向X方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)60。另外，在圖5中，省略了機(jī)器人51至54等的圖示。
[0065]機(jī)器人51至54為所謂的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。該機(jī)器人51至54具有:抓握晶圓w(或者裝載晶圓W)的兩個(gè)末端效應(yīng)器(手)66 ;與能夠旋轉(zhuǎn)的末端效應(yīng)器66連接的兩根臂67 ;使臂67伸縮并使末端效應(yīng)器66移動(dòng)的臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；使臂67以上下方向?yàn)檩S向且以臂67的基端側(cè)附近為中心旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；以及使末端效應(yīng)器66、臂67以及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)升降的升降機(jī)構(gòu)68。
[0066]在Y方向上,機(jī)器人51配置在處理模組34、35與處理模組36、37之間,機(jī)器人52配置在處理模組38、39與處理模組40、41之間，機(jī)器人53配置在處理模組42、43與處理模組44、45之間，機(jī)器人54配置在處理模組46、47與處理模組48、49之間。并且，機(jī)器人51配置在處理模組34至37的前方，機(jī)器人52配置在處理模組38至41的前方，機(jī)器人53配置在處理模組42至45的前方，機(jī)器人54配置在處理模組46至49的前方。也就是說(shuō)，機(jī)器人51至54在X方向上以隔著規(guī)定間隔的狀態(tài)排列。在本方式中，機(jī)器人51固定在處理模組34至37的前方，機(jī)器人52固定在處理模組38至41的前方，機(jī)器人53固定在處理模組42至45的前方，機(jī)器人54固定在處理模組46至49的前方。并且，機(jī)器人51至54在Y方向上配置在相同的位置。
[0067]晶圓收納部55至57例如形成為箱狀，且能夠收納晶圓W。在晶圓收納部55至57中能夠收納多張晶圓W。并且，兩張晶圓W以在Y方向上相鄰的方式被收納在晶圓收納部55至57中。晶圓收納部55至57在上下方向上重疊配置。具體地說(shuō)，晶圓收納部55至57從上側(cè)依次重疊配置。并且，晶圓收納部55至57在上下方向上配置在機(jī)器人51至54的下側(cè)。而且，晶圓收納部55至57在Y方向上配置在與機(jī)器人51至54相同的位置。
[0068]晶圓收納部55能夠從由EFEM33提供晶圓W的原點(diǎn)位置(圖4的實(shí)線所示的位置)向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組38至41的前方(圖3、圖4的雙點(diǎn)劃線所示的位置)，并能夠穿過(guò)機(jī)器人51的下方。也就是說(shuō)，晶圓收納部55在偏離機(jī)器人51、53、54的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。該晶圓收納部55在X方向上的處理模組38至41的前方與原點(diǎn)位置之間朝向X方向搬運(yùn)晶圓W。
[0069]晶圓收納部56能夠從由EFEM33提供晶圓W的原點(diǎn)位置(圖4的實(shí)線所示的位置)向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組42至45的前方(圖3、圖4的雙點(diǎn)劃線所示的位置)，且配置在能夠穿過(guò)機(jī)器人51、52的下方的位置。也就是說(shuō)，晶圓收納部56在偏離機(jī)器人51、52、54的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。該晶圓收納部56在X方向上的處理模組42至45的前方與原點(diǎn)位置之間向X方向搬運(yùn)晶圓W。
[0070]晶圓收納部57能夠從由EFEM33提供晶圓W的原點(diǎn)位置(圖4的實(shí)線所示的位置)向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組46至49的前方(圖3、圖4的雙點(diǎn)劃線所示的位置)，且配置在能夠穿過(guò)機(jī)器人51至53的下方的位置。也就是說(shuō)，晶圓收納部57在偏離機(jī)器人51至53的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。該晶圓收納部57在X方向上的處理模組46至49的前方與原點(diǎn)位置之間向X方向搬運(yùn)晶圓W。
[0071]在X方向上，在處理模組34至37與EFEM33之間設(shè)有緩存區(qū)70。緩存區(qū)70例如形成為箱狀，且能夠收納晶圓W。在緩存區(qū)70中能夠收納多張晶圓W。并且，兩張晶圓W以在Y方向上相鄰的方式被收納在緩存區(qū)70中。緩存區(qū)70固定在位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部55的上方。并且，位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部55至57在上下方向上重疊。被收納在EFEM33內(nèi)的晶圓W通過(guò)省略圖示的機(jī)器人而提供給位于原點(diǎn)位置的晶圓收納部55至57以及緩存區(qū)70。
[0072]移動(dòng)機(jī)構(gòu)58至60與實(shí)施方式I的移動(dòng)機(jī)構(gòu)14相同，例如具有:旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)；與旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)連接并以X方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向配置的導(dǎo)螺桿；固定于晶圓收納部55至57并與導(dǎo)螺桿卡合的螺母部件；以X方向?yàn)殚L(zhǎng)邊方向配置的導(dǎo)軌；以及固定于晶圓收納部55至57并與導(dǎo)軌卡合的導(dǎo)向塊。
[0073]在生產(chǎn)線32中，機(jī)器人51從緩存區(qū)70中取出預(yù)處理后的晶圓W，并向處理模組34至37搬入，且搬出由處理模組34至37處理過(guò)的處理結(jié)束的晶圓W，并放置到緩存區(qū)70。機(jī)器人52從停止在X方向上的處理模組38至41的前方的晶圓收納部55取出預(yù)處理后的晶圓W，并向處理模組38至41搬入，且搬出由處理模組38至41處理過(guò)的處理結(jié)束的晶圓W，并放置到停止在X方向上的處理模組38至41的前方的晶圓收納部55。機(jī)器人53從停止在X方向上的處理模組42至45的前方的晶圓收納部56取出預(yù)處理后的晶圓W，并向處理模組42至45搬入，且搬出由處理模組42至45處理過(guò)的處理結(jié)束的晶圓W，并放置到停止在X方向上的處理模組42至45的前方的晶圓收納部56。機(jī)器人54從停止在X方向上的處理模組46至49的前方的晶圓收納部57取出預(yù)處理后的晶圓W，并向處理模組46至49搬入，且搬出由處理模組46至49處理過(guò)的處理結(jié)束的晶圓W，并放置到停止在X方向上的處理模組46至49的前方的晶圓收納部57。
[0074]在機(jī)器人51中，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)68以處理模組34至37的門的高度與末端效應(yīng)器66的高度一致的方式升降末端效應(yīng)器66。并且，在機(jī)器人51中，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以末端效應(yīng)器66呈直線狀移動(dòng)的方式伸縮臂67，且使臂67以其基端側(cè)為中心旋轉(zhuǎn)，從而從緩存區(qū)70向處理模組34至37搬入晶圓W以及從處理模組34至37向緩存區(qū)70搬出晶圓W。在機(jī)器人51中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)緩存區(qū)70的高度來(lái)設(shè)定。也就是說(shuō)，在機(jī)器人51中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置與緩存區(qū)70的高度大致相等。因此，如上文所述，晶圓收納部55至57能夠穿過(guò)機(jī)器人51的下側(cè)。
[0075]在機(jī)器人52中，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)68以處理模組38至41的門的高度與末端效應(yīng)器66的高度一致的方式升降末端效應(yīng)器66。并且，在機(jī)器人52中，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以末端效應(yīng)器66呈直線狀移動(dòng)的方式伸縮臂67，且使臂67以其基端側(cè)為中心旋轉(zhuǎn)，從而從晶圓收納部55向處理模組38至41搬入晶圓W以及從處理模組38至41向晶圓收納部55搬出晶圓W。在機(jī)器人52中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部55的高度來(lái)設(shè)定，其與晶圓收納部55的高度大致相等。因此，如上文所述，晶圓收納部56、57能夠穿過(guò)機(jī)器人52的下側(cè)。
[0076]在機(jī)器人53中，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)68以處理模組42至45的門的高度與末端效應(yīng)器66的高度一致的方式升降末端效應(yīng)器66。并且，在機(jī)器人53中，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以末端效應(yīng)器66呈直線狀移動(dòng)的方式伸縮臂67，且使臂67以其基端側(cè)為中心旋轉(zhuǎn)，從而從晶圓收納部56向處理模組42至45搬入晶圓W以及從處理模組42至45向晶圓收納部56搬出晶圓W。在機(jī)器人53中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部56的高度來(lái)設(shè)定，其與晶圓收納部56的高度大致相等。因此，如上文所述，晶圓收納部57能夠穿過(guò)機(jī)器人53的下側(cè)。
[0077]在機(jī)器人54中，通過(guò)升降機(jī)構(gòu)68以處理模組46至49的門的高度與末端效應(yīng)器66的高度一致的方式升降末端效應(yīng)器66。并且，在機(jī)器人54中，通過(guò)臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以末端效應(yīng)器66呈直線狀移動(dòng)的方式伸縮臂67，且使臂67以其基端側(cè)為中心旋轉(zhuǎn)，從而從晶圓收納部57向處理模組46至49搬入晶圓W以及從處理模組46至49向晶圓收納部57搬出晶圓W。在機(jī)器人54中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部57的高度來(lái)設(shè)定，其與晶圓收納部57的高度大致相等。
[0078]本方式的主要效果
[0079]如上文說(shuō)明，在本方式中，由于形成為箱狀等的晶圓收納部55至57能夠朝向X方向移動(dòng)，因此與實(shí)施方式I相同，能夠改善生產(chǎn)線32的生產(chǎn)效率。
[0080]并且，在本方式中，晶圓收納部55能夠從原點(diǎn)位置朝向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組38至41的前方，晶圓收納部56能夠從原點(diǎn)位置朝向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組42至45的前方，晶圓收納部57能夠從原點(diǎn)位置朝向X方向移動(dòng)到X方向上的處理模組46至49的前方。并且，在機(jī)器人51中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)緩存區(qū)70的高度來(lái)設(shè)定，在機(jī)器人52中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部55的高度來(lái)設(shè)定，在機(jī)器人53中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部56的高度來(lái)設(shè)定，在機(jī)器人54中，末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置根據(jù)晶圓收納部57的高度來(lái)設(shè)定。
[0081]因此，在本方式中，能夠使機(jī)器人51與緩存區(qū)70—對(duì)一地對(duì)應(yīng)，使機(jī)器人52與晶圓收納部55 —對(duì)一地對(duì)應(yīng)，使機(jī)器人53與晶圓收納部56 —對(duì)一地對(duì)應(yīng)，使機(jī)器人54與晶圓收納部57 —對(duì)一地對(duì)應(yīng)。因此，在本方式中，工件搬運(yùn)系統(tǒng)31的控制變得容易。
[0082]并且，在本方式中，晶圓收納部55至57在上下方向上配置在機(jī)器人51至54的下偵牝晶圓收納部55在偏離機(jī)器人51、53、54的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)，晶圓收納部56在偏離機(jī)器人51、52、54的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)，晶圓收納部57在偏離機(jī)器人51至53的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。因此，在本方式中，能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人51與移動(dòng)中的晶圓收納部55至57之間的干涉，能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人52與移動(dòng)中的晶圓收納部56、57之間的干涉，能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人53與移動(dòng)中的晶圓收納部55、57之間的干涉，以及能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人54與移動(dòng)中的晶圓收納部55、56之間的干涉。因此，在本方式中，能夠同時(shí)且自由地進(jìn)行機(jī)器人51至54的動(dòng)作和晶圓收納部55至57的移動(dòng)，其結(jié)果是能夠有效地改善生產(chǎn)線32的生產(chǎn)效率。
[0083]實(shí)施方式2的變形例
[0084]在實(shí)施方式2中，機(jī)器人51的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置、機(jī)器人52的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置、機(jī)器人53的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置以及機(jī)器人54的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置不同。除此之外，例如還可以使機(jī)器人52的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置、機(jī)器人53的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置以及機(jī)器人54的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置與機(jī)器人51的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限位置相同。在這種情況下，只要在機(jī)器人51與機(jī)器人52之間設(shè)置使晶圓收納部55上升到機(jī)器人52的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限的升降機(jī)構(gòu)，在機(jī)器人52與機(jī)器人53之間設(shè)置使晶圓收納部56上升到機(jī)器人53的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限的升降機(jī)構(gòu)，在機(jī)器人53與機(jī)器人54之間設(shè)置使晶圓收納部57上升到機(jī)器人54的末端效應(yīng)器66的移動(dòng)范圍的下限的升降機(jī)構(gòu)即可。在這種情況下，由于能夠防止動(dòng)作中的機(jī)器人51至54與移動(dòng)中的晶圓收納部55至57之間的干涉，因此能夠同時(shí)且自由地進(jìn)行機(jī)器人51至54的動(dòng)作和晶圓收納部55至57的移動(dòng)，其結(jié)果是能夠有效地改善生產(chǎn)線32的生產(chǎn)效率。
[0085]在實(shí)施方式2中，晶圓收納部55至57在Y方向上配置在與機(jī)器人51至54相同的位置。除此之外，晶圓收納部55至57例如還可以在Y方向上配置在偏離機(jī)器人51至54的位置。并且，在實(shí)施方式2中，晶圓收納部55至57在上下方向上重疊配置，但晶圓收納部55至57也可在Y方向上配置在彼此錯(cuò)開(kāi)的位置。并且，也可在Y方向上在夾持機(jī)器人51至54的兩側(cè)配置晶圓收納部。
[0086]在實(shí)施方式2中，在處理模組34至37與EFEM33之間設(shè)有緩存區(qū)70。除此之外，例如在X方向上的處理模組34至37與EFEM33之間的距離較長(zhǎng)的情況下，還可設(shè)置能夠朝向X方向移動(dòng)的晶圓收納部來(lái)代替緩存區(qū)70。
[0087]其他實(shí)施方式
[0088]上述的方式為本發(fā)明優(yōu)選方式的一個(gè)例子，但本發(fā)明并不限定于，在不變更本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，可以實(shí)施各種變形。
[0089]在上述的方式中，由工件搬運(yùn)系統(tǒng)1、31搬運(yùn)的工件為晶圓W。除此之外，由工件搬運(yùn)系統(tǒng)1、31搬運(yùn)的例如還可以是液晶面板或者太陽(yáng)能電池面板等除了晶圓W之外的工件。
[0090]符號(hào)說(shuō)明
[0091]1、31 工件搬運(yùn)系統(tǒng)；
[0092]4-7、34-49 處理t旲組；
[0093]11、12、51-54 機(jī)器人；
[0094]13,55-57 晶圓收納部(工件收納部)；[0095]14、58-60 移動(dòng)機(jī)構(gòu)；
[0096]66 末端效應(yīng)器；
[0097]68 升降機(jī)構(gòu)；
[0098]W 晶圓(半導(dǎo)體晶圓、工件)。
【權(quán)利要求】
1.一種工件搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，該工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有: 機(jī)器人，其配置在對(duì)工件進(jìn)行規(guī)定處理的處理模組的前方，且所述機(jī)器人向所述處理模組搬入所述工件以及從所述處理模組搬出所述工件； 工件收納部，其收納向所述處理模組搬入的所述工件以及從所述處理模組搬出的所述工件；以及 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使所述工件收納部朝向與相對(duì)于所述處理模組搬入搬出所述工件的方向大致正交的方向移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有排列在所述工件收納部的移動(dòng)方向上的多個(gè)所述機(jī)器人， 在所述工件收納部能夠收納多個(gè)所述工件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工件搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述工件收納部在相對(duì)于所述處理模組搬入搬出所述工件的方向上配置在所述處理模組與所述機(jī)器人之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的工件搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于，所述工件搬運(yùn)系統(tǒng)具有: 多個(gè)所述工件收納部，多個(gè)所述工件收納部在上下方向上重疊配置； 多個(gè)所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，多個(gè)所述搬運(yùn)機(jī)構(gòu)分別使多個(gè)所述工件收納部移動(dòng)；以及 多個(gè)所述機(jī)器人，多個(gè)所述機(jī)器人為與多個(gè)所述工件收納部相同的個(gè)數(shù)以上， 所述機(jī)器人具有裝載所述工件的末端效應(yīng)器和使所述末端效應(yīng)器升降的升降機(jī)構(gòu)， 多個(gè)所述機(jī)器人排列在所述工件收納部的移動(dòng)方向上， 多個(gè)所述工件收納部配置在多個(gè)所述機(jī)器人的下側(cè)， 分別設(shè)置于多個(gè)所述機(jī)器人的所述末端效應(yīng)器各自的移動(dòng)范圍的下限位置在所述工件收納部的移動(dòng)方向上逐漸降低，且根據(jù)多個(gè)所述工件收納部各自的高度來(lái)設(shè)定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的工件搬運(yùn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述工件收納部配置在所述機(jī)器人的下側(cè)，且在偏離所述機(jī)器人的動(dòng)作范圍的位置移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】H01L21/677GK103930984SQ201280055914
【公開(kāi)日】2014年7月16日 申請(qǐng)日期:2012年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月23日
【發(fā)明者】改野重幸 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)三協(xié)株式會(huì)社