專利名稱：電子元件生產用密封容器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種電子元件生產用密封容器。
背景技術：
電子元件生產過程中，需要經過多種處理工藝。有些處理工藝中，需要在密封裝置中進行，處理時需要形成密封空間，以便形成負壓或增壓。如晶圓潤濕是在潤濕槽內進行，潤濕時需要將槽內抽真空形成負壓。但現有技術中的生產用容器，密封結構復雜，使用不方便，密封性能差。

實用新型內容本實用新型的第一個目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種可快速實現密封的電子元件生產用密封容器。為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現:電子元件生產用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設置于槽體上端；所述槽體內壁設置有臺階；所述 密封蓋包括:壓蓋本體，所述壓蓋本體設置有容腔；旋轉機構，所述旋轉機構與容腔形狀像適應，所述旋轉機構可旋轉地設置在容腔內；按壓機構，所述按壓機構可朝向槽體內壁往復移動地設置；傳動機構,所述旋轉機構與按壓機構通過傳動機構連接；所述旋轉機構旋轉時通過傳動機構驅動按壓機構往復移動；所述壓蓋本體與所述臺階之間設置有密封圈，所述按壓機構朝槽體內壁移動時受槽體內壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。優(yōu)選地是，所述旋轉機構均為圓形，所述按壓機構可沿所述壓蓋本體徑向移動地設置。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體的側壁設置有通孔，所述按壓機構可沿通孔移動地設置。優(yōu)選地是，所述的旋轉機構旋轉時，驅動按壓機構沿壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，所述旋轉機構沿一方向旋轉時，驅動所述按壓機構沿壓蓋本體徑向移動至突出于壓蓋本體側壁；所述的旋轉機構反向旋轉時，驅動按壓機構返回原位。優(yōu)選地是，所述傳動機構為連桿，所述連桿一端與按壓機構連接，另一端與旋轉機構可轉動地連接；所述旋轉機構旋轉時，通過所述連桿驅動所述按壓機構沿壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，所述旋轉機構的側面設置有第一凹槽，所述連桿一端通過銷軸可轉動地設置在所述第一凹槽內。[0019]優(yōu)選地是，所述旋轉機構側壁設置有凸塊，所述第一凹槽設置于所述凸塊上。優(yōu)選地是，所述連桿另一端與所述按壓機構可轉動地連接。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體的側壁設置有通孔，所述通孔沿所述壓蓋本體外周面延伸至與容腔連通；所述按壓機構設置于所述通孔內并可沿通孔移動地設置；所述按壓機構沿所述通孔移動時受所述通孔導向而沿所述壓蓋本體徑向移動。優(yōu)選地是，還包括第一彈性復位裝置，所述第一彈性復位裝置在所述旋轉機構旋轉后產生彈性變形力，所述第一彈性變形力具有使旋轉機構復位的趨勢。優(yōu)選地是，所述第一彈性復位裝置為第一彈簧，所述第一彈簧一端連接在壓蓋本體上；另一端連接在旋轉機構上。優(yōu)選地是，還包括限制旋轉機構旋轉的限位裝置，所述限位裝置與壓蓋本體配合限制旋轉機構旋轉。優(yōu)選地是，所述旋轉機構設置有第一把手，所述第一把手突出于旋轉機構設置；所述壓蓋本體上設置有兩個以上容置槽，所述兩個以上容置槽沿圓周方向分布；所述限位裝置為限位銷；所述限位銷設置于所述第一把手上，所述限位銷可上下移動地設置于所述容置槽上方，所述限位銷一端插入所述容置槽內并可自所述容置槽內退出地設置。優(yōu)選地是，還包括手柄，所述手柄一端可轉動地安裝于第一把手上，所述手柄與限位銷固定連接。優(yōu)選地是，還包括第二彈性復位裝置，所述限位銷一端自所述容置槽內退出時，所述第二彈性復位裝置產生彈性變形力，該彈性變形力具有使所述限位銷一端插入所述容置槽的趨勢。
優(yōu)選地是，所述第二彈性復位裝置為第二彈簧，所述第二彈簧，所述第二彈簧套裝于所述限位銷上；還包括手柄，所述手柄一端可轉動地安裝于第一把手上，所述手限位銷穿過所述手柄并與所述手柄固定連接；所述第二彈簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。優(yōu)選地是，所述密封圈為0型圈。優(yōu)選地是，所述壓蓋本體設置有上蓋，所述上蓋設置有穿孔；所述旋轉機構設置有第一把手，所述第一把手穿過所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔內沿壓蓋本體圓周方向移動。優(yōu)選地是，所述槽體內壁設置有導向裝置；所述按壓機構朝槽體內壁移動時，受到導向裝置壓迫而向下移動。優(yōu)選地是，所述導向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為水平面；所述的按壓機構為楔形塊；所述楔形塊沿壓蓋本體徑向的厚度漸小，所述楔形塊靠近壓蓋本體圓心一端的厚度大于遠離壓蓋本體圓心一端的厚度。優(yōu)選地是，所述導向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為斜面，所述斜面自槽體內壁起向下延伸；所述的按壓機構為上表面為水平面。本實用新型中的電子元件生產用密封容器，槽體內壁設置臺階支撐密封圈。旋轉機構轉動時驅動按壓機構運動，按壓機構插入第二凹槽內并在插入第二凹槽內時受第二凹槽的槽壁壓迫，驅動壓蓋本體向下移動，進而壓縮密封圈。密封圈受壓變形，可以達到更好的密封效果。[0035]本實用新型結構簡單，可提高密封性能。而且本實用新型可通過限位裝置保持良好的密封效果。而且本實用新型使用方便，可以快速實現密封。

圖1為本實用新型實施例1結構正視圖。圖2為圖1的俯視圖。圖3為圖2中的A-A剖視圖。圖4為本實用新型實施例1俯視圖，即第一狀態(tài)示意圖。圖5為圖4的側視圖。圖6為本實用新型實施例1中的把手與手柄結構剖視圖。圖7為本實用新型實施例1第二狀態(tài)俯視圖。圖8為本實用新型實施例1工作原理示意圖，即第一狀態(tài)示意圖。
圖9為本實用新型實施例1工作原理示意圖，即第二狀態(tài)示意圖。圖10為圖9的側視圖。圖11為本實用新型實施例2的A-A剖視圖。圖12本實用新型實施例3中的把手與手柄結構剖視圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型進行詳細的描述:實施例1如圖1、圖2和圖3所示，電子元件生產用密封容器，包括密封蓋100和槽體200。密封蓋100設置在槽體200上端。槽體200設置有腔體201。槽體200內壁設置有臺階202。0型圈20支撐在臺階202上。槽體200內壁設置有第二凹槽203。第二凹槽203的上壁204為水平面。如圖4至圖10所示，密封蓋包括壓蓋本體10和上蓋15。壓蓋本體10設置有容腔
11(圖1所示)，上蓋設15設置在壓蓋本體10上并封住容腔11。上蓋15設置有穿孔16。上蓋15設置有五個容置槽17。五個容置槽17沿圓周方向分布。壓蓋本體10的側壁12設置有通孔13，通孔13自壓蓋本體10外周面延伸至與容腔11連通。壓蓋本體10下表面設置有0型圈20。0型圈20突出于所述壓蓋本體10下表面14。上蓋15上固定安裝有第二把手18。旋轉機構30為圓形，旋轉機構30與容腔11形狀像適應。旋轉機構30側壁設置有六個凸塊31。六個凸塊31沿圓周方向均勻分布。每個凸塊31側面設置有一個第一凹槽32。銷軸33貫穿設置在第一凹槽32處。旋轉機構30設置有第一把手33。旋轉機構30可旋轉地設置在容腔11內，且第一把手33穿過穿孔16伸出容腔11之外。第一把手33上設置有手柄34。手柄34 —端通過第一銷子332可轉動地設置在第一把手33的第一孔331內。限位銷35穿過手柄34的第二孔333，且其中部與手柄34通過第二銷子342可轉動地連接。限位銷35 —端穿過第二孔333，另一端插置在容置槽17內；且限位銷35可上下移動地設置。限位銷35上套裝有第二彈簧36。第二彈簧36—端抵靠在第一把手33上，另一端抵罪在手柄34上。[0053]連桿60 —端設置在第一凹槽32內，并可轉動地通過銷軸37與旋轉機構30連接，另一端與楔形塊40通過銷釘41可轉動地連接。楔形塊40沿壓蓋本體10徑向靠近壓蓋本體10圓心的一端的厚度大于遠離壓蓋本體10圓心的一端的厚度。楔形塊40設置于通孔13內并可沿通孔13移動。第一彈簧18設置在容腔11內，一端固定在壓蓋本體10上，另一端與旋轉機構30連接。旋轉機構30旋轉時，拉伸第一彈簧18使第一彈簧18產生彈性變形力，該彈性變形力可使旋轉機構30復位。如圖1至圖9所示，當限位銷35插置在容置槽17內時，容置槽17限制限位銷35沿壓蓋本體10圓周方向移動，進而通過第一把手33限制旋轉機構30沿圓周方向轉動。當需要旋轉機構30轉動時，向上提手柄34，使限位銷35端部從容置槽17內退出。手柄34向上提時壓迫第二彈簧36使其變形。限位銷35從容置槽17內退出時，旋轉機構30可以轉動。順時針轉動第一把手33，帶動旋轉機構30順時針轉動。旋轉機構30順時針轉動時，連桿60受旋轉機構30驅動而轉動。由于連桿60另一端與楔形塊40連接，楔形塊40受壓蓋本體10的通孔13限制而不能沿圓周方向移動。由于連桿60與旋轉機構30可轉動地連接，因此旋轉機構30的圓周方向的驅動力可轉化為使楔形塊40沿壓蓋本體10徑向移動的推力。楔形塊40受推力驅動移動后突出于壓蓋本體10側壁，進入第二凹槽202內。楔形塊40進入第二凹槽20 2內的過程中，受第二凹槽202上壁壓迫。由于楔形塊40上表面為斜面，因此楔形塊40在第二凹槽202內移動過程中受壓迫而逐漸向下移動。楔形塊40向下移動帶動壓蓋本體10向下移動。壓蓋本體10向下移動壓迫0型圈，使0型圈變形后增強密封效果。松開手柄34，在第二彈簧36的作用下，限位銷35另一端插入一個容置槽17內，旋轉機構30不能再旋轉。此時，可將密封蓋100鎖緊在槽體200上，且壓蓋本體10對0型圈20保持持續(xù)的壓力，使其一直保持良好的密封效果。需要打開槽體200時，抬起手柄34，使限位銷35從容置槽17內退出。逆時針旋轉第一把手33，使楔形塊40退回通孔13內。手持第二把手18可將密封蓋100抬起，打開槽體 200。實施例2如圖11所示，本實施例與實施例1不同之處在于，按壓機構40上表面為水平面，第二凹槽203的上壁204為斜面。上壁204自槽體內壁起向下延伸。其余結構與實施例1相同。由于上壁204為斜面，因此當按壓機構40插入第二凹槽203內會受上壁204壓迫向下移動，進而帶動壓蓋本體10壓迫密封圈20。實施例3如圖12所示，本實施例與實施例1的不同之處在于，手柄34—端通過第一銷子332可轉動地設置在第一把手33的第一孔331內。限位銷35穿過手柄34的第二孔333。限位銷35設置有凸肩351。凸肩351 —端位于第二孔333內，另一端抵靠在手柄34上。第二孔333內設置有壓縮彈簧36,壓縮彈簧36 —端抵靠在凸肩351上,另一端抵靠在第二孔333內壁。限位銷35 —端穿過第二孔333，另一端插置在容置槽17內；且限位銷35可上下移動。其余結構與實施例1相同。實施例3的使用方式及原理與實施例1相同。本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構成對權利要求范圍的限制，本領域內技術人員可以想到的其他實質上等同的替代，均在本實用新型保護范圍內。
權利要求1.電子元件生產用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設置于槽體上端; 所述槽體內壁設置有臺階； 所述密封蓋包括: 壓蓋本體，所述壓蓋本體設置有容腔； 旋轉機構，所述旋轉機構與容腔形狀像適應，所述旋轉機構可旋轉地設置在容腔內； 按壓機構，所述按壓機構可朝向槽體內壁往復移動地設置； 傳動機構，所述旋轉機構與按壓機構通過傳動機構連接；所述旋轉機構旋轉時通過傳動機構驅動按壓機構往復移動； 所述壓蓋本體與所述臺階之間設置有密封圈，所述按壓機構朝槽體內壁移動時受槽體內壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。
2.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述旋轉機構為圓形；所述按壓機構可沿所述壓蓋本體徑向移動地設置。
3.根據權利要求2所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體的側壁設置有通孔，所述按壓機構可沿通孔移動地設置。
4.根據權利要求3所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述的旋轉機構旋轉時，驅動按壓機構沿壓蓋本體徑向移動。
5.根據權利要求4所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述旋轉機構沿一方向旋轉時，驅動所述按壓機構沿壓蓋本體徑向移動至突出于壓蓋本體側壁；所述的旋轉機構反向旋轉時，驅動按壓機構返回原位。
6.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述傳動機構為連桿，所述連桿一端與按壓機構連接，另一端與旋轉機構可轉動地連接；所述旋轉機構旋轉時，通過所述連桿驅動所述按壓機構沿壓蓋本體徑向移動。
7.根據權利要求6所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述旋轉機構的側面設置有第一凹槽，所述連桿一端通過銷軸可轉動地設置在所述第一凹槽內。
8.根據權利要求6所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述旋轉機構側壁設置有凸塊，所述第一凹槽設置于所述凸塊上。
9.根據權利要求6所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述連桿另一端與所述按壓機構可轉動地連接。
10.根據權利要求5所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體的側壁設置有通孔，所述通孔沿所述壓蓋本體外周面延伸至與容腔連通；所述按壓機構設置于所述通孔內并可沿通孔移動地設置；所述按壓機構沿所述通孔移動時受所述通孔導向而沿所述壓蓋本體徑向移動。
11.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，還包括第一彈性復位裝置，所述第一彈性復位裝置在所述旋轉機構旋轉后產生彈性變形力，所述第一彈性變形力具有使旋轉機構復位的趨勢。
12.根據權利要求11所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述第一彈性復位裝置為第一彈簧，所述第一彈簧一端連接在壓蓋本體上；另一端連接在旋轉機構上。
13.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，還包括限制旋轉機構旋轉的限位裝置，所述限位裝置與壓蓋本體配合限制旋轉機構旋轉。
14.根據權利要求13所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述旋轉機構設置有第一把手，所述第一把手突出于旋轉機構設置；所述壓蓋本體上設置有兩個以上容置槽，所述兩個以上容置槽沿圓周方向分布；所述限位裝置為限位銷；所述限位銷可上下移動地設置于所述第一把手上，所述限位銷設置于所述容置槽上方，所述限位銷一端插入所述容置槽內并可自所述容置槽內退出地設置。
15.根據權利要求14所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，還包括手柄，所述手柄一端可轉動地安裝于第一把手上，所述手柄與限位銷固定連接。
16.根據權利要求15所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，還包括第二彈性復位裝置，所述限位銷一端自所述容置槽內退出時，所述第二彈性復位裝置產生彈性變形力，該彈性變形力具有使所述限位銷一端插入所述容置槽的趨勢。
17.根據權利要求16所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述第二彈性復位裝置為第二彈簧，所述第二彈簧，所述第二彈簧套裝于所述限位銷上；還包括手柄，所述手柄一端可轉動地安裝于第一把手上，所述手限位銷穿過所述手柄并與所述手柄固定連接；所述第二彈簧一端抵靠在所述手柄上，另一端抵靠在所述第一把手上。
18.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述壓蓋本體設置有上蓋，所述上蓋設置有穿孔；所述旋轉機構設置有第一把手，所述第一把手穿過所述穿孔；所述第一把手可在所述穿孔內沿壓蓋本體圓周方向移動。
19.根據權利要求1所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述槽體內壁設置有導向裝置；所述按壓機構朝槽體內壁移動時，受到導向裝置壓迫而向下移動。
20.根據權利要求19所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述導向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為水平面；所述的按壓機構為楔形塊；所述楔形塊沿壓蓋本體徑向的厚度漸小，所述楔 形塊靠近壓蓋本體圓心一端的厚度大于遠離壓蓋本體圓心一端的厚度。
21.根據權利要求19所述的電子元件生產用密封容器，其特征在于，所述導向裝置為第二凹槽，所述第二凹槽上壁為斜面，所述斜面自槽體內壁起向下延伸；所述的按壓機構為上表面為水平面。
專利摘要本實用新型公開了一種電子元件生產用密封容器，其特征在于，包括密封蓋和槽體，所述密封蓋設置于槽體上端；所述槽體內壁設置有臺階；所述密封蓋包括壓蓋本體，所述壓蓋本體設置有容腔；旋轉機構，所述旋轉機構與容腔形狀像適應，所述旋轉機構可旋轉地設置在容腔內；按壓機構，所述按壓機構可朝向槽體內壁往復移動地設置；傳動機構，所述旋轉機構與按壓機構通過傳動機構連接；所述旋轉機構旋轉時通過傳動機構驅動按壓機構往復移動；所述壓蓋本體與所述臺階之間設置有密封圈，所述按壓機構朝槽體內壁移動時受槽體內壁壓迫而帶動壓蓋本體朝所述臺階移動而壓縮密封圈。本實用新型結構簡單，可提高密封性能。
文檔編號H01L21/00GK203118913SQ20122075035
公開日2013年8月7日 申請日期2012年12月31日 優(yōu)先權日2012年12月31日
發(fā)明者王振榮, 劉紅兵, 陳概禮 申請人:上海新陽半導體材料股份有限公司