專(zhuān)利名稱：太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能裝置，尤其是涉及一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟有102個(gè)垂直槽，每個(gè)垂直槽放置2片硅片，工業(yè)生產(chǎn)采用2舟/次的方式使用，即其裝載量為102X2X2=408片/次，硅片裝載量偏低，使單位硅片的制造成本偏高；而且由于現(xiàn)有擴(kuò)散石英舟的硅片裝載量與PECVD石墨舟的裝載量不匹配，造成工業(yè)化生產(chǎn)中硅片流程混亂，往往在出現(xiàn)異常時(shí)不能快速有效地追蹤產(chǎn)品的處理設(shè)備，使得產(chǎn)品的優(yōu)劣不能正確地反饋設(shè)備的運(yùn)行狀況，加大了異常發(fā)生和處理時(shí)間，給公司造成較大的利潤(rùn)損失。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、并能快速推廣應(yīng)用的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體、頂桿、底桿以及腳桿，所述載片體有四根，與所述頂桿、底桿和腳桿合圍成矩形結(jié)構(gòu)。為了能夠固定硅片，進(jìn)一步地，所述四根載片桿的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽。為了能夠提升擴(kuò)散方塊電阻均勻性，進(jìn)一步地，所述垂直槽由采用5°設(shè)計(jì)的上槽和下槽組成。為了能夠提高石英舟的裝載量，進(jìn)一步地，所述垂直槽的槽間距為4. 41mm。為了能夠提高石英舟的裝載量，再進(jìn)一步地，所述垂直槽數(shù)量為110個(gè)。為了便于石英舟裝卸料，更進(jìn)一步地，所述頂桿為中空式的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益之處是這種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置實(shí)現(xiàn)了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發(fā)生和處理時(shí)間，為公司減少了不必要利潤(rùn)損失，并且降低了單位硅片的制造成本。


以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。圖I是本實(shí)用新型太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置截面示意圖；圖2是圖I中A-A剖視圖。圖中1、載片桿；2、頂桿；3、底桿；4、腳桿；5、垂直槽；51、上槽；52、下槽。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述圖I所示一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體I、頂桿2、底桿3以及腳桿4，所述載片體I有四根，與所述頂桿2、底桿3和腳桿4合圍成矩形結(jié)構(gòu)；為了能夠固定硅片，所述四根載片桿I的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽5，所述垂直槽5由上槽51和下槽52組成，采用5°設(shè)計(jì)；并且該垂直槽5可以防止在運(yùn)動(dòng)中因硅片移位而造成碎片，也防止了因移位而造成擴(kuò)散方塊電阻的不均勻性，使操作更為簡(jiǎn)單、便捷；所述頂桿2采用中空設(shè)計(jì)，便于石英舟裝卸料操作；腳桿4使石英舟在送入石英管后處于支撐狀態(tài)，可起到防止污染的作用，同時(shí)有助于腳桿4下部氣體的循環(huán)，可進(jìn)一步提高方塊電阻的均勻性。在基本不影響擴(kuò)散方塊電阻的基礎(chǔ)上，將現(xiàn)有4. 76mm的石英垂直槽間距優(yōu)化到4. 41mm ;優(yōu)化后石英舟有110個(gè)垂直槽5，其裝載量為110X 2X2=440片/次，但因熱場(chǎng)和氣流的影響，每個(gè)舟的頭尾位置方塊電阻波動(dòng)較大，為此，通常在這四個(gè)位置放置假片來(lái)代替硅片，防止了對(duì)方塊電阻的影響(假片可重復(fù)利用)，所以其裝載量為440-4X2=432片/次，與PECVD石墨舟的裝載量(216 X 2=432片)一致。這種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置實(shí)現(xiàn)了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發(fā)生和處理時(shí)間，為公司減少了不必要利潤(rùn)損失；在基本不影響擴(kuò)散方塊電阻的基礎(chǔ)上，將石英垂直槽間距優(yōu)化，石英舟的裝載量增大，降低了單位娃片的制造成本。需要強(qiáng)調(diào)的是以上僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于包括由石英材料制成的載片體(I)、頂桿(2)、底桿(3)以及腳桿(4)，所述載片體(I)有四根，與所述頂桿(2)、底桿(3)和腳桿(4)合圍成矩形結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于所述四根載片桿(I)的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)由采用5°設(shè)計(jì)的上槽(51)和下槽(52)組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)的槽間距為4. 41mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于所述垂直槽(5)數(shù)量為110個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，其特征在于所述頂桿(2)為中空式的。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體、頂桿、底桿以及腳桿，所述載片體有四根，與所述頂桿、底桿和腳桿合圍成矩形結(jié)構(gòu)；所述四根載片桿的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽；所述垂直槽由采用5°設(shè)計(jì)的上槽和下槽組成；所述垂直槽的槽間距為4.41mm；所述垂直槽數(shù)量為110個(gè)；所述頂桿為中空式的。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是，這種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散用石英舟裝置實(shí)現(xiàn)了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發(fā)生和處理時(shí)間，為公司減少了不必要利潤(rùn)損失，并且降低了單位硅片的制造成本。
文檔編號(hào)H01L21/673GK202633360SQ201220135068
公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者劉志敏, 王龍飛, 錢(qián)小鋒 申請(qǐng)人:南京遠(yuǎn)景新能源有限公司