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柔性熱電發(fā)生器及其制造方法

文檔序號:7145247閱讀:274來源:國知局
專利名稱:柔性熱電發(fā)生器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種熱電發(fā)生器,尤其是一種柔性熱電發(fā)生器及其制造方法,屬于熱電發(fā)生器的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
由于便攜式電子產(chǎn)品日益增長的微型化趨勢,推動了小型化電源的研究和發(fā)展。熱電發(fā)生器作為一種自給自足的能源,它根據(jù)Seebeck效應(yīng)能將熱能直接轉(zhuǎn)換為電能,在適合的溫度下能保持實際上的無限的有效壽命,這使其作為一種能源領(lǐng)域的高新技術(shù)成為國際研究的熱點之一。熱電發(fā)生器一般由三部分組成熱源、熱沉和熱電堆。熱電堆是由一系列串聯(lián)的能 夠?qū)崮苻D(zhuǎn)換成電能的熱電對組成(圖示2)。熱電對由不同類型的N/P型熱電材料組成,當(dāng)其兩端,即熱源端和熱沉端,出現(xiàn)溫度梯度時,其兩端可產(chǎn)生電勢差,如圖示I中所示。熱電器件的主要工作原理是基于Seebeck效應(yīng)。Seebeck效應(yīng)是德國物理學(xué)家Seebeck發(fā)現(xiàn)的一種熱電現(xiàn)象。當(dāng)在金屬導(dǎo)體或者半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上加上溫度差Λ T時,會伴隨產(chǎn)生電壓AU。并且開路電壓線性地正比于溫差
「IAUciK —-
'Δ7其中,as稱作Seebeck系數(shù),也可稱為熱電功率。如果熱電偶的兩種構(gòu)成材料的Seebeck系數(shù)分別為a b,則熱電偶的Seebeck系數(shù)定義為a ab = a a+ab當(dāng)η對熱電偶串聯(lián)時,總的開路輸出電壓可表示為Λ Un Δ Un=n · ( a ab . Δ Τ)根據(jù)Seebeck效應(yīng)而制作的熱電發(fā)生器,其效率可由熱電品質(zhì)因數(shù)Z來表征
K其中,σ是電導(dǎo)率,K是熱導(dǎo)率,品質(zhì)因數(shù)Z表示可用在熱電發(fā)生器中的熱電材料的熱和電屬性。傳統(tǒng)熱電發(fā)生器,多采用熱電材料的長方體狀顆粒,然后按熱電堆的形式,將Ν/Ρ不同的顆粒黏貼到陶瓷導(dǎo)熱板上,其采用的顆??梢赃_(dá)到lmm2*2mm或者更小的截面,更高的縱橫比。但其應(yīng)用范圍,受到陶瓷等材料特性的限制,無法應(yīng)用到管道等,需要有一定彎曲的地方。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種柔性熱電發(fā)生器及其制造方法,其結(jié)構(gòu)緊湊,工藝簡單方便,制造成本低,發(fā)電效率高,可進(jìn)行適度的彎曲,大大擴(kuò)展了熱電發(fā)生器的適應(yīng)范圍,安全可靠。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述柔性熱電發(fā)生器,包括柔性連接體,所述柔性連接體內(nèi)包括若干N型熱電材料體及P型熱電材料體,所述N型熱電材料體與P型熱電材料體交替分布;N型熱電材料體的一端通過第一導(dǎo)電連接層與所述N型熱電材料體一側(cè)相鄰P型熱電材料體的一端電連接,N型熱電材料體的另一端通過第二導(dǎo)電連接層與所述N型熱電材料體另一側(cè)相鄰P型熱電材料體的另一端電連接;N型熱電材料體與P型熱電材料體通過第一導(dǎo)電連接層及第二導(dǎo)電連接層串接成包括若干熱電對的熱電材料體,所述熱電材料體內(nèi)填充有柔性絕緣保護(hù)體;柔性連接體上覆蓋有第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層,所述第一絕緣保護(hù)層與第二絕緣保護(hù)層分別覆蓋柔性連接體相對應(yīng)的兩個表面。所述第一絕緣保護(hù)層覆蓋柔性連接體對應(yīng)設(shè)置第一導(dǎo)電連接層的表面,第一絕緣保護(hù)層與第一導(dǎo)電連接層相接觸;第二絕緣保護(hù)層覆蓋柔性連接體對應(yīng)設(shè)置第二導(dǎo)電連接層的表面,第二絕緣保護(hù)層與第二導(dǎo)電連接層相接觸。所述第二絕緣保護(hù)層上設(shè)有第一連接電極及第二連接電極,所述第一連接電極及第二連接電極與第二導(dǎo)電連接層電連接,且第一連接電極、第二連接電極與第二導(dǎo)電連接層為同一制造層。所述柔性絕緣保護(hù)體的材料包括聚氨酯膠或有機(jī)硅膠。一種柔性熱電發(fā)生器的制造方法,所述柔性熱電發(fā)生器的制造方法包括如下步驟a、提供所需的導(dǎo)電基底,所述導(dǎo)電基底包括第一導(dǎo)電襯底及第二導(dǎo)電襯底,在第一導(dǎo)電襯底及第二導(dǎo)電襯底的表面上分別覆蓋感光材料層;通過感光法對感光材料層進(jìn)行曝光顯影,得到位于第一導(dǎo)電襯底第一表面上的第一掩膜層及位于第二導(dǎo)電襯底第一表面上的第二掩膜層;b、提供N型熱電材料體及P型熱電材料體,將所述N型熱電材料體及P型熱電材料體分別與第一導(dǎo)電襯底的第二表面及第二導(dǎo)電襯底的第二表面焊接固定;C、對步驟b焊接后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行高溫退火;d、對上述形成的結(jié)構(gòu)利用柔性灌封材料進(jìn)行灌封,常溫固化后得到柔性絕緣保護(hù)體,所述柔性絕緣保護(hù)體填充在第一導(dǎo)電襯底及第二導(dǎo)電襯底間;e、利用第一掩膜層對第一導(dǎo)電襯底進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體及P型熱電材料體一端的第一導(dǎo)電連接層;同時,利用第二掩膜層對第二導(dǎo)電襯底進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體及P型熱電材料體另一端的第二導(dǎo)電連接層及第一連接電極與第二連接電極;f、去除上述第一導(dǎo)電連接層上的第一掩膜層,并去除第二導(dǎo)電連接層上的第二掩膜層,以形成柔性連接體;g、在上述柔性連接體上通過噴涂或刷涂覆蓋第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層,所述第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層分別覆蓋柔性連接體相對應(yīng)的兩個表面?!?br> 所述步驟c中,退火溫度為100°C ^200°C。所述柔性絕緣保護(hù)體的材料包括聚氨酯膠或有機(jī)硅膠。所述第一導(dǎo)電襯底、第二導(dǎo)電襯底的材料包括銅、鋁或銀。本發(fā)明的優(yōu)點通過刻蝕法制作的熱電發(fā)生器,N型熱電材料體、P型熱電材料體采用傳統(tǒng)的長方體結(jié)構(gòu)顆粒,通過柔性絕緣保護(hù)體連接在一起,形成分立布局的結(jié)構(gòu),可產(chǎn)生一定的彎曲而不損壞,增加了其應(yīng)用范圍。柔性連接體上覆蓋了超薄的第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層,提高了熱電傳輸能力,具有較高的熱電轉(zhuǎn)化效率,工藝步驟簡單,制造成本低,結(jié)構(gòu)簡單緊湊,安全可靠。


圖I為現(xiàn)有熱電發(fā)生器的原理示意圖。圖2為形成熱電對后的連接示意圖。圖3為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本發(fā)明的柔性熱電發(fā)生器彎曲時的示意圖。圖5為本發(fā)明第一絕緣保護(hù)層與第一導(dǎo)電連接層分布配合的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖6為本發(fā)明第二絕緣保護(hù)層與第二導(dǎo)電連接層分布配合的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本發(fā)明柔性熱電發(fā)生器的剖視圖。圖8 圖14為本發(fā)明制備柔性熱電發(fā)生器的具體實施工藝剖視圖,其中圖8為在導(dǎo)電基底上通過感光法進(jìn)行曝光顯影得到掩膜層時的剖視圖。圖9為本發(fā)明在第一導(dǎo)電襯底上得到第一掩膜層后的剖視圖。圖10為本發(fā)明將N型熱電材料體、P型熱電材料體與第一導(dǎo)電襯底及第二導(dǎo)電襯底焊接固定后的剖視圖。圖11為本發(fā)明灌封柔性絕緣材料得到柔性絕緣保護(hù)體后的剖視圖。圖12為本發(fā)明得到第一導(dǎo)電連接層及第二導(dǎo)電連接層后的剖視圖。圖13為本發(fā)明去除第一掩膜層及第二掩膜層后形成柔性連接體的剖視圖。圖14為本發(fā)明在柔性連接體上覆蓋第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層后的剖視圖。附圖標(biāo)記說明1-熱電對、101-第一絕緣保護(hù)層、102-第二絕緣保護(hù)層、200-導(dǎo)電基底、201-第一連接電極、202-第二連接電極、203-第一導(dǎo)電連接層、204-第二導(dǎo)電連接層、210-第一導(dǎo)電襯底、220-第二導(dǎo)電襯底、300-柔性連接體、310-柔性絕緣保護(hù)體、401-N型熱電材料體、402-P型熱電材料體、501-線路遮光部位、502-線路透光部位、600-感光材料層、601-第一掩膜層、602-第二掩膜層及700-曝光光線。
具體實施例方式下面結(jié)合具體附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖3和圖7所示為了能夠擴(kuò)大柔性熱電發(fā)生器的適用范圍,降低制造成本,本發(fā)明包括柔性連接體300,所述柔性連接體300內(nèi)包括若干N型熱電材料體401及P型熱電材料體402,所述N型熱電材料體401與P型熱電材料體402交替分布;N型熱電材料體401的一端通過第一導(dǎo)電連接層203與所述N型熱電材料體401 —側(cè)相鄰P型熱電材料體402的一端電連接,N型熱電材料體401的另一端通過第二導(dǎo)電連接層204與所述N型熱電材料體401另一側(cè)相鄰P型熱電材料體402的另一端電連接;N型熱電材料體401與P型熱電材料體402通過第一導(dǎo)電連接層203及第二導(dǎo)電連接層204串接成包括若干熱電對I的熱電材料體,所述熱電材料體內(nèi)填充有柔性絕緣保護(hù)體310 ;柔性連接體300上覆蓋有第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102,所述第一絕緣保護(hù)層101與第二絕緣保護(hù)層102分別覆蓋柔性連接體300相對應(yīng)的兩個表面。
所述第一絕緣保護(hù)層101覆蓋柔性連接體300對應(yīng)設(shè)置第一導(dǎo)電連接層203的表面,第一絕緣保護(hù)層101與第一導(dǎo)電連接層203相接觸;第二絕緣保護(hù)層102覆蓋柔性連接體300對應(yīng)設(shè)置第二導(dǎo)電連接層204的表面,第二絕緣保護(hù)層102與第二導(dǎo)電連接層204相接觸。所述第一連接電極201及第二連接電極202,為第二導(dǎo)電連接層204的外露部位,同時也是柔性連接體300的外露部位。所述第一導(dǎo)電連接層203及第二導(dǎo)電連接層204的厚度為30 μ m,第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102的厚度為25 50 μ m。
如圖4所示由于柔性連接體300具有柔性,因此整個柔性熱電發(fā)生器具備一定的彎曲角度,能夠適應(yīng)管道等環(huán)境,擴(kuò)大了適應(yīng)范圍。第二絕緣保護(hù)層102上的第一連接電極201及第二連接電極202作為第二導(dǎo)電連接層204的外露部位,能夠?qū)⒄麄€熱電材料體與外部連接,即能夠?qū)a(chǎn)生的電壓輸出。如圖5所示為第一絕緣保護(hù)層101覆蓋在柔性連接體300上后,第一絕緣保護(hù)層101與第一導(dǎo)電連接層203之間連接示意圖。圖6中,為第二絕緣保護(hù)層102覆蓋在柔性連接體300上后,第二絕緣保護(hù)層102與第二導(dǎo)電連接層204之間的連接示意圖,同時,如圖6所示,第一連接電極201及第二連接電極202對應(yīng)第二導(dǎo)電連接層204的外露部位,和第二導(dǎo)電連接層204同時制成。如14所示上述結(jié)構(gòu)的柔性熱電發(fā)生器,可以通過下述工藝制備得到,具體地,包括 a、提供所需的導(dǎo)電基底200,所述導(dǎo)電基底200包括第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220,在第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220的表面上分別覆蓋感光材料層600 ;通過感光法對感光材料層600進(jìn)行曝光顯影,得到位于第一導(dǎo)電襯底210第一表面上的第一掩膜層601及位于第二導(dǎo)電襯底220第一表面上的第二掩膜層602 ;如圖8和圖9所示由于需要同時制備出第一導(dǎo)電連接層203及第二導(dǎo)電連接層204,因此本發(fā)明實施例中,導(dǎo)電基底200至少需要包括第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220,通過第一導(dǎo)電襯底210來形成第一導(dǎo)電連接層203 ;同時,通過第二導(dǎo)電襯底220來形成第二導(dǎo)電連接層204。所述第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220的材料包括銅、鋁或銀等常用的金屬材料,感光材料層600選用常用的感光材料,此處不再列舉。在感光材料層600上根據(jù)需要設(shè)置線路遮光部位501及線路透光部位502,通過線路遮光部位501及線路透光部位502來選擇性地對感光材料層600進(jìn)行曝光。曝光光線700垂直照射在感光材料層600上,所述曝光光線700可以通過紫外燈、金屬鹵素曝光燈、毛細(xì)管超高壓水銀燈等產(chǎn)生,然后以碳酸鈉、碳酸氫鈉等溶液進(jìn)行顯影,從而在第一導(dǎo)電襯底210的第一表面上得到第一掩膜層601,并在第二導(dǎo)電襯底220的第一表面上得到第二掩膜層602。所述曝光顯影的過程為本技術(shù)領(lǐng)域常規(guī)的過程。b、提供N型熱電材料體401及P型熱電材料體402,將所述N型熱電材料體401及P型熱電材料體402分別與第一導(dǎo)電襯底210的第二表面及第二導(dǎo)電襯底220的第二表面焊接固定;如圖10所示焊接后,第一掩膜層601位于N型熱電材料體401與P型熱電材料體402的上方,且第二掩膜層601位于N型熱電材料體401與P型熱電材料體402的下方,N型熱電材料體401及P型熱電材料體402與第一掩膜層601及第二掩膜層602的端部,第一掩膜層601與第二掩膜層602形成上下錯位的間隔分布。N型熱電材料體401及P型熱電材料體402均為切割得到的小長方體顆粒。C、對步驟b焊接后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行高溫退火;所述高溫退火的溫度為100°C 200°C,退火后確保N型熱電材料體401、P型熱電材料體402與第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220的緊密連接可靠性。d、對上述形成的結(jié)構(gòu)利用柔性灌封材料進(jìn)行灌封,常溫固化后得到柔性絕緣保護(hù)體310,所述柔性絕緣保護(hù)體310填充在第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220間;如圖11所示所述柔性絕緣保護(hù)體310的材料包括聚氨酯膠或有機(jī)硅膠等柔性灌封材料;經(jīng)過常溫固化后,柔性絕緣保護(hù)層310提高N型熱電材料體401、P型熱電材料體402與第一導(dǎo)電襯底210及第二導(dǎo)電襯底220的連接可靠性,同時能夠提供實現(xiàn)所需的柔性彎曲度。e、利用第一掩膜層601對第一導(dǎo)電襯底210進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體 401及P型熱電材料體402 —端的第一導(dǎo)電連接層203 ;同時,利用第二掩膜層602對第二導(dǎo)電襯底220進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體401及P型熱電材料體402另一端的第二導(dǎo)電連接層204 ;如圖12所示利用三氯化鐵、過硫酸鈉、鹽酸+雙氧水等腐蝕劑進(jìn)行刻蝕,去除相應(yīng)的材料,即通過第一導(dǎo)電襯底210進(jìn)行腐蝕得到第一導(dǎo)電連接層203;通過第二導(dǎo)電襯底220進(jìn)行腐蝕得到第二導(dǎo)電連接層204 ;第一導(dǎo)電連接層203及第二導(dǎo)電連接層204分別通過第一掩膜層601、第二掩膜層601遮擋未被腐蝕。f、去除上述第一導(dǎo)電連接層203上的第一掩膜層601,并去除第二導(dǎo)電連接層204上的第二掩膜層602,以形成柔性連接體300 ;如圖13所示利用氫氧化鈉溶液去除上述第一掩膜層601及第二掩膜層602,從而能夠形成本發(fā)明實施例中的柔性連接體300。g、在上述柔性連接體300上通過噴涂、刷涂等方式覆蓋第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102,所述第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102分別覆蓋柔性連接體300相對應(yīng)的兩個表面。如圖14所示為了能夠在使用中對柔性連接體300的有效保護(hù),在柔性連接體300的兩個相對表面上覆蓋第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102,噴涂或刷涂后的絕緣保護(hù)材料在常溫下可逐漸固化,形成極薄的絕緣保護(hù)層與柔性連接體300緊密連接,對柔性連接體300起到絕緣和保護(hù)的作用,且極薄的厚度保證了在熱電發(fā)生器的冷、熱兩端的溫度分別通過第一絕緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102傳遞給第一導(dǎo)電連接體203及第二導(dǎo)電連接體204,最終在N、P型熱電對兩端形成溫度差,通過熱電效應(yīng)產(chǎn)生電勢差。同時,通過第二導(dǎo)電連接層204外露的第一連接電極201及第二連接電極202與外部連接。如圖3 圖14所示使用時,根據(jù)柔性熱電發(fā)生器的使用場合,通過柔性連接體300將柔性熱電發(fā)生器彎曲所需角度,以便將柔性熱電發(fā)生器與連接結(jié)構(gòu)貼合,提高整個熱電發(fā)生器的安裝精度,安裝方便;柔性熱電發(fā)生器連接后,通過第一連接電極201及第二連接電極202將整個柔性熱電發(fā)生器與外部電路相連。工作時,柔性熱電發(fā)生器吸收熱量并轉(zhuǎn)換為電能,并將所述電能輸出。本發(fā)明通過刻蝕法制作的熱電發(fā)生器,N型熱電材料體401、P型熱電材料體402采用傳統(tǒng)的長方體結(jié)構(gòu)顆粒,通過柔性絕緣保護(hù)體310連接在一起,形成分立布局的結(jié)構(gòu),可產(chǎn)生一定的彎曲而不損壞,增加了其應(yīng)用范圍。柔性連接體300上覆蓋了超薄的第一絕 緣保護(hù)層101及第二絕緣保護(hù)層102,提高了熱電傳輸能力,具有較高的熱電轉(zhuǎn)化效率,工藝步驟簡單,制造成本低,結(jié)構(gòu)簡單緊湊,安全可靠。
權(quán)利要求
1.一種柔性熱電發(fā)生器,其特征是包括柔性連接體(300),所述柔性連接體(300)內(nèi)包括若干N型熱電材料體(401)及P型熱電材料體(402),所述N型熱電材料體(401)與P 型熱電材料體(402)交替分布;N型熱電材料體(401)的一端通過第一導(dǎo)電連接層(203)與所述N型熱電材料體(401) —側(cè)相鄰P型熱電材料體(402)的一端電連接,N型熱電材料體 (401)的另一端通過第二導(dǎo)電連接層(204)與所述N型熱電材料體(401)另一側(cè)相鄰P型熱電材料體(402)的另一端電連接;N型熱電材料體(401)與P型熱電材料體(402)通過第一導(dǎo)電連接層(203 )及第二導(dǎo)電連接層(204)串接成包括若干熱電對(I)的熱電材料體,所述熱電材料體內(nèi)填充有柔性絕緣保護(hù)體(310);柔性連接體(300 )上覆蓋有第一絕緣保護(hù)層(101)及第二絕緣保護(hù)層(102),所述第一絕緣保護(hù)層(101)與第二絕緣保護(hù)層(102)分別覆蓋柔性連接體(300)相對應(yīng)的兩個表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的柔性熱電發(fā)生器,其特征是所述第一絕緣保護(hù)層(101)覆蓋柔性連接體(300 )對應(yīng)設(shè)置第一導(dǎo)電連接層(203 )的表面,第一絕緣保護(hù)層(101)與第一導(dǎo)電連接層(203)相接觸;第二絕緣保護(hù)層(102)覆蓋柔性連接體(300)對應(yīng)設(shè)置第二導(dǎo)電連接層(204)的表面,第二絕緣保護(hù)層(102)與第二導(dǎo)電連接層(204)相接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的柔性熱電發(fā)生器,其特征是所述第二絕緣保護(hù)層(102) 上設(shè)有第一連接電極(201)及第二連接電極(202 ),所述第一連接電極(201)及第二連接電極(202)與第二導(dǎo)電連接層(204)電連接,且第一連接電極(201)、第二連接電極(202)與第二導(dǎo)電連接層(204)為同一制造層。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的柔性熱電發(fā)生器,其特征是所述柔性絕緣保護(hù)體(310)的材料包括聚氨酯膠或有機(jī)硅膠。
5.一種柔性熱電發(fā)生器的制造方法,其特征是,所述柔性熱電發(fā)生器的制造方法包括如下步驟(a)、提供所需的導(dǎo)電基底(200),所述導(dǎo)電基底(200)包括第一導(dǎo)電襯底(210)及第二導(dǎo)電襯底(220 ),在第一導(dǎo)電襯底(210 )及第二導(dǎo)電襯底(220 )的表面上分別覆蓋感光材料層(600);通過感光法對感光材料層(600)進(jìn)行曝光顯影,得到位于第一導(dǎo)電襯底(210)第一表面上的第一掩膜層(601)及位于第二導(dǎo)電襯底(220)第一表面上的第二掩膜層(602);(b )、提供N型熱電材料體(401)及P型熱電材料體(402 ),將所述N型熱電材料體(401) 及P型熱電材料體(402)分別與第一導(dǎo)電襯底(210)的第二表面及第二導(dǎo)電襯底(220)的第二表面焊接固定;(C)、對步驟(b)焊接后的結(jié)構(gòu)進(jìn)行高溫退火;(d)、對上述形成的結(jié)構(gòu)利用柔性灌封材料進(jìn)行灌封,常溫固化后得到柔性絕緣保護(hù)體 (310),所述柔性絕緣保護(hù)體(310)填充在第一導(dǎo)電襯底(210)及第二導(dǎo)電襯底(220)間;(e)、利用第一掩膜層(601)對第一導(dǎo)電襯底(210)進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體 (401)及P型熱電材料體(402) —端的第一導(dǎo)電連接層(203);同時,利用第二掩膜層(602) 對第二導(dǎo)電襯底(220 )進(jìn)行刻蝕,得到位于N型熱電材料體(401)及P型熱電材料體(402 ) 另一端的第二導(dǎo)電連接層(204)及第一連接電極(201)與第二連接電極(202);(f)、去除上述第一導(dǎo)電連接層(203)上的第一掩膜層(601),并去除第二導(dǎo)電連接層 (204 )上的第二掩膜層(602 ),以形成柔性連接體(300 );(g)、在上述柔性連接體(300)上通過噴涂或刷涂覆蓋第一絕緣保護(hù)層(101)及第二絕緣保護(hù)層(102),所述第一絕緣保護(hù)層(101)及第二絕緣保護(hù)層(102)分別覆蓋柔性連接體 (300)相對應(yīng)的兩個表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述柔性熱電發(fā)生器的制造方法,其特征是所述步驟(c)中,退火溫度為100°C 200°C。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述柔性熱電發(fā)生器的制造方法,其特征是所述柔性絕緣保護(hù)體 (310)的材料包括聚氨酯膠或有機(jī)硅膠。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述柔性熱電發(fā)生器的制造方法,其特征是所述第一導(dǎo)電襯底 (210)、第二導(dǎo)電襯底(220)的材料包括銅、鋁或銀。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種柔性熱電發(fā)生器及其制造方法,其包括柔性連接體,柔性連接體內(nèi)包括若干N型熱電材料體及P型熱電材料體;N型熱電材料體的一端通過第一導(dǎo)電連接層與所述N型熱電材料體一側(cè)相鄰P型熱電材料體的一端電連接,N型熱電材料體的另一端通過第二導(dǎo)電連接層與所述N型熱電材料體另一側(cè)相鄰P型熱電材料體的另一端電連接;N型熱電材料體與P型熱電材料體通過第一導(dǎo)電連接層及第二導(dǎo)電連接層串接成熱電材料體,熱電材料體內(nèi)填充有柔性絕緣保護(hù)體;柔性連接體上覆蓋有第一絕緣保護(hù)層及第二絕緣保護(hù)層。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊,工藝簡單方便,制造成本低,發(fā)電效率高,可進(jìn)行適度的彎曲,大大擴(kuò)展了熱電發(fā)生器的適應(yīng)范圍,安全可靠。
文檔編號H01L35/32GK102931337SQ20121045673
公開日2013年2月13日 申請日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者王潤蘭, 吳慶, 曹二林, 陳嵐 申請人:江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心
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