專利名稱：真空剝離裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明概括地涉及真空剝離裝置及方法。更具體地，本發(fā)明涉及利用真空壓力剝離膜的真空剝離裝置以及使用該真空剝離裝置的方法。
背景技術(shù)：
有機發(fā)光元件是平板顯示器件。這種有機發(fā)光元件可包括陽極、陰極以及插置于陽極與陰極之間的至少一個有機發(fā)射層。有機發(fā)光元件具有視角寬、對比度高以及響應(yīng)速度快的優(yōu)勢。由于以上優(yōu)勢，有機發(fā)光元件作為下一代顯示元件而備受矚目。根據(jù)有機發(fā)射層之外的發(fā)射層是由高分子有機材料還是由低分子有機材料制成，有機發(fā)光元件還可包括插置于空穴注入層(HIL)、空穴傳輸層(ETL)以及電子注入層(EIL)之中的有機層中的至少一個有機層。在這種有機發(fā)光元件中，有機層需要進行構(gòu)圖以實現(xiàn)全色彩。低分子有機發(fā)光元件可以利用蔭罩板(shadow mask)被構(gòu)圖，而高分子有機發(fā)光元件可以通過噴墨印刷方法以及利用激光的激光熱轉(zhuǎn)印(LITI)方法來構(gòu)圖。LITI方法具有多種優(yōu)點。例如，LITI方法能夠?qū)^大區(qū)域的有機層進行構(gòu)圖。此外，LITI方法能夠高精度且高分辨率地對有機層進行構(gòu)圖。LITI方法可包括用于剝離膜的工序。通常，可通過使用輥或者通過將固定膜的托盤升起來剝離膜。此外，可以通過吹送諸如氮氣或空氣的氣體來剝離膜。在使用輥的情況下，膜可能被吸入輥中或者膜可能通過其它結(jié)構(gòu)接觸輥。因此，可能因輥而導(dǎo)致二次污染。此外，可能需要復(fù)雜的系統(tǒng)來驅(qū)動輥。在升起托盤的情況下，難以恒定地保持相同的剝離角度。因此，難以保持均勻的質(zhì)量。在吹送氣體的情況下，這種方法通常與升起方法一起使用。難以均勻地控制氣體。在背景技術(shù)中公開的以上信息僅為了增強對所述技術(shù)的背景的理解，因而其可包含沒有形成本國本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容
所描述的技術(shù)用于提供一種真空剝離裝置，其具有利用真空有效且穩(wěn)定地剝離膜的優(yōu)勢。所描述的技術(shù)用于提供一種真空剝離方法，其具有利用真空有效且穩(wěn)定地剝離膜的優(yōu)勢。本發(fā)明的示例性實施方式提供了一種真空剝離裝置。該真空剝離裝置可包括腔室、設(shè)置在所述腔室內(nèi)的密封保持框、沿所述密封保持框的底端設(shè)置并且配置為能夠膨脹的第一氣體管、配置為插入所述密封保持框的中央的剝離防護板、以及沿所述剝離防護板的端部設(shè)置的第二氣體管。所述第二氣體管可以在所述剝離防護板被插入所述密封保護框的所述中央之后膨脹。所述密封保護框可以以矩形框架形狀形成。所述真空剝離裝置還可包括緩沖墊，所述緩沖墊附接至所述剝離防護板的下側(cè)。所述真空剝離裝置還可包括驅(qū)動器，所述驅(qū)動器將所述剝離防護板在所述密封保持框的內(nèi)部升起和降下。本發(fā)明的另ー示例性實施方式提供了ー種真空剝離方法。該真空剝離方法可包括:制備目標(biāo)對象，其中所述目標(biāo)對象包括襯底、設(shè)置在所述襯底的上表面上的第一膜以及設(shè)置在所述襯底的下表面上的第二膜，并且所述第一膜的邊緣連接到所述第二膜的邊緣；將所述目標(biāo)對象設(shè)置在具有大氣壓力的腔室內(nèi)；利用密封保持框，對所述目標(biāo)對象的所述第一膜與所述第二膜的連接邊緣加壓；通過將剝離防護板插入所述密封保持框的中央，對設(shè)置在所述目標(biāo)對象的上表面上的所述第一膜加壓；形成被所述目標(biāo)對象、所述密封保持框以及所述剝離防護板包圍的密封空間；在將所述密封空間的內(nèi)部壓カ保持在所述大氣壓力的情況下，將所述腔室的內(nèi)部壓カ改變?yōu)檎婵諌亥?；通過釋放所述密封空間，將所述密封空間的所述內(nèi)部壓カ改變?yōu)樗稣婵諌亥灰约巴ㄟ^升起所述剝離防護板，在保持所述目標(biāo)對象的所述第一膜與所述第二膜的所述連接邊緣的情況下，將所述第一膜從所述襯底分離。所述真空剝離方法還可包括:沿所述密封保持框的底端設(shè)置第一氣體管，其中所述第一氣體管是能夠膨脹的；以及沿所述剝離防護板的端部設(shè)置第二氣體管，其中所述第ニ氣體管是能夠膨脹的。通過將所述第一氣體管和所述第二氣體管膨脹以使所述第一氣體管緊密地接觸所述密封保持框和所述目標(biāo)對象，并且使得所述第二氣體管緊密地接觸所述密封保持框和所述剝離防護板來形成所述密封空間。通過將所述第一氣體管和所述第二氣體管收縮來釋放所述密封空間。將所述密封保持框形成為矩形框架形狀。所述真空剝離方法還可包括:在所述剝離防護板的、面對所述目標(biāo)對象的ー側(cè)設(shè)
置緩沖墊。依照示例性實施方式，真空剝離裝置以及利用該真空剝離裝置的真空剝離方法能夠利用真空壓カ有效且穩(wěn)定地剝離膜。


通過參考以下詳細的說明連同考慮附圖，將能夠更好的理解本發(fā)明，并且本發(fā)明的許多優(yōu)勢將更加顯而易見，在附圖中相同的參考標(biāo)號指示相同或類似的部件，其中:圖1是示出依照本發(fā)明的示例性實施方式的真空剝離裝置的底部立體圖；圖2是示出圖1中的真空剝離裝置的俯視圖；以及圖3至圖7是相繼示出用于利用圖1中的真空剝離裝置分離膜的方法的視圖。
具體實施例方式在下文中，將參考示出了本發(fā)明的示例性實施方式的附圖更全面地描述本發(fā)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，所描述的實施方式可以以各種不同的方式修改而不偏離本發(fā)明的精神或者范圍。附圖可以粗略地顯示，并且元件的尺寸可以不是精確的。在附圖中，元件的尺寸或者比例可以夸大或者減小以用于清楚地顯示。然而，本發(fā)明不限于附圖中所示出的元件的尺寸或比例。在整個說明書中，相同的參考標(biāo)號指示相同的元件。應(yīng)該理解，當(dāng)諸如ー層、膜、區(qū)域或者襯底的一個元件被稱為“在”另ー個元件“上”時，其可以直接在另ー個元件上，或者也可以存在元件插設(shè)于其間。本發(fā)明的示例性實施方式可以作為理想的示例性實施方式詳細地描述。因此，所描述的實施方式可以以各種不同的方式修改而不偏離本發(fā)明的精神或范圍。因而，示例性實施方式不受限于附圖中示出的區(qū)域的特定形式。例如，形式可以以各種方式修改。在下文中，將參照圖1、圖2以及圖3至圖7描述依照本發(fā)明的實施方式的真空剝離裝置。圖1是示出依照本發(fā)明的示例性實施方式的真空剝離裝置的底部立體圖；圖2是示出圖1中的真空剝離裝置的俯視圖；以及圖3至圖7是相繼示出用于利用圖1中的真空剝離裝置分離膜的方法的視圖。如圖1、圖2和圖3所示，根據(jù)示例性實施方式的真空剝離裝置101可包括腔室500(參見圖3)、密封保持框21 (參見圖1至圖3)、第一氣體管25 (參見圖1和圖3)、剝離防護板11 (參見圖1至圖3)以及第二氣體管15 (參見圖1至圖3)。真空剝離裝置101還可包括緩沖墊12 (參見圖1和圖3)以及驅(qū)動器16 (參見圖1至圖3)。依照示例性實施方式，如圖3所示，真空剝離裝置101可在目標(biāo)對象100上進行剝離エ序。目標(biāo)對象100可包括襯底110、第一膜160以及第二膜150。第一膜160可以設(shè)置在襯底110的上表面上,而第二膜150可以設(shè)置在襯底110的下表面上。第一膜160的邊緣可以附接至第二膜150的邊緣。真空剝離裝置101可以將第一膜160與襯底110分離。圖3中示出的腔室500可將內(nèi)部空間的狀態(tài)改變?yōu)榇髿鈮亥珷顟B(tài)或者真空壓カ狀態(tài)。密封保持框21可具有矩形框架形狀。密封保持框21可以設(shè)置在腔室500的內(nèi)部。密封保持框21的底端可以對目標(biāo)對象100的邊緣加壓，如圖3所示。也就是說，密封保持框21的底端可以對第一膜160與第二膜150的連接部分加壓,并且可以將第一膜160與第ニ膜150的連接部分牢牢地固定。因此，密封保持框21可防止第一膜160與第二膜150的連接部分分離。然而，本發(fā)明不限于具有矩形框架形狀的密封保持框21。在另ー示例性實施方式中，密封保持框21可以具有與矩形框架形狀不同的形狀。例如，密封保持框21可以具有閉合環(huán)形狀。此外，密封保持框21可以具有能夠?qū)δ繕?biāo)對象100的邊緣穩(wěn)定地加壓并且密封的任何形狀。在密封保持框21的中央可以插入有剝離防護板11，剝離防護板11可以對目標(biāo)對象100的頂部加壓。剝離防護板11可以對目標(biāo)對象100的頂部加壓，以防止在腔室500的內(nèi)部變成真空壓カ狀態(tài)后，當(dāng)目標(biāo)對象100的第一膜160從襯底110部分地并且緩慢地分離時可能產(chǎn)生的缺陷。沿密封保持框21的底端可設(shè)有第一氣體管25。也就是說,第一氣體管25可以設(shè)置在密封保持框21與目標(biāo)對象100的邊緣之間。第一氣體管25可以是能夠膨脹的。第一氣體管25可以根據(jù)注入的氣體的程度或者周圍的大氣壓カ而膨脹或者收縮。當(dāng)?shù)谝粴怏w管25膨脹時，第一氣體管25可以緊密地接觸密封保持框21的底端和目標(biāo)對象100的邊緣。沿剝離防護板11的一個端部可設(shè)有第二氣體管15。也就是說，當(dāng)剝離防護板11被插入密封保持框21的中央時，第二氣體管15被設(shè)置在密封保持框21的壁體與剝離防護板11的端部之間。第二氣體管15可以是能夠膨脹的。第二氣體管15可以根據(jù)注入的氣體的程度或者周圍的大氣壓カ而膨脹或者收縮。當(dāng)?shù)诙怏w管15膨脹時，第二氣體管15可以緊密地接觸密封保持框21的壁體表面以及剝離防護板11的端部。因此，當(dāng)?shù)谝粴怏w管25和第二氣體管15均膨脹時，可形成密封空間。該密封空間可以被目標(biāo)對象100、密封保持框21以及剝離防護板11包圍。剝離防護板11的下側(cè)可附接有緩沖墊12。也就是說，緩沖墊12可以設(shè)置在剝離防護板11與目標(biāo)對象100之間。緩沖墊12可以防止在剝離防護板11對目標(biāo)對象100的頂部加壓時目標(biāo)對象100受到損壞。例如，緩沖墊12可以由硅或者氨基甲酸酯制成。剝離防護板11可連接有驅(qū)動器16。驅(qū)動器16可以升起或者降下剝離防護板11以使其插設(shè)在密封保持框21的中央。根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的真空剝離裝置101能夠利用真空壓カ將膜160從襯底110穩(wěn)定且有效地剝離。在下文中，將描述根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的、用于利用真空剝離裝置101在真空壓カ狀態(tài)下剝離膜的方法。如圖3所示，可以制備目標(biāo)對象100。目標(biāo)對象100可包括襯底110、第一膜160以及第二膜150?？梢栽谝r底110的上表面上形成第一膜160，可以在襯底110的下表面上形成第二膜150?？梢詫⒌谝荒?60的邊緣附接到第二膜150的邊緣。可以將目標(biāo)對象100設(shè)置在具有大氣壓力狀態(tài)的腔室500內(nèi)。利用具有矩形框架形狀的密封保持框21，可以對目標(biāo)對象100的第一膜160與第ニ膜150的連接邊緣加壓。如圖4所示，可以在密封保持框21的中央插入剝離防護板11，剝離防護板11可以對形成在目標(biāo)對象100的上表面上的第一膜160加壓。剝離防護板11可以由驅(qū)動器16驅(qū)動。此外，可以在剝離防護板11的、面對目標(biāo)對象100的一側(cè)設(shè)置緩沖墊12。因此，緩沖墊12可以防止在剝離防護板11對目標(biāo)對象100加壓時目標(biāo)對象100受到損壞。如圖5所示，可以形成密封空間。該密封空間可以被目標(biāo)對象100、密封保持框21以及剝離防護板11包圍。具體地，密封空間可以通過第一氣體管25和第二氣體管15形成。第一氣體管25可以是能夠膨脹的并可以沿密封保持框21的底端設(shè)置，第二氣體管15可以是能夠膨脹的并可以沿剝離防護板11的端部設(shè)置。當(dāng)?shù)谝粴怏w管25變得膨脹時，第一氣體管25可以緊密地接觸密封保持框21和目標(biāo)對象100。當(dāng)?shù)诙怏w管15變得膨脹時，第二氣體管15可以緊密地接觸剝離防護板11和密封保持框21。因此，可以形成由密封保持框21、剝離防護板11、第一氣體管25以及第ニ氣體管15包圍的密封空間。此后，可以在將密封空間的內(nèi)部狀態(tài)保持在大氣壓力的情況下，將腔室500的內(nèi)部狀態(tài)改變?yōu)檎婵諌亥珷顟B(tài)。例如，腔室500的內(nèi)部的真空度可以約為lxl0_2托(Torr)，高于密封空間的真空度。依照本發(fā)明的示例性實施方式，當(dāng)腔室500呈現(xiàn)為真空壓カ狀態(tài)時，第一氣體管25和第二氣體管15進ー步膨脹。因此，第一氣體管25可以進ー步緊密地接觸目標(biāo)對象100和密封保持框21，第二氣體管15可以進ー步緊密地接觸剝離防護板11和密封保持框21。因此，可以穩(wěn)定地形成密封空間。也就是說，密封空間可以穩(wěn)定地保持大氣壓力，或者相當(dāng)接近于大氣壓カ的壓カ。同時，密封空間中的壓カ可以稍微改變。這種微小的壓カ變化可以使得目標(biāo)對象100的第一膜160從襯底110緩慢且部分地分離。當(dāng)?shù)谝荒?60從襯底110緩慢且部分地分離時，不能獲得均勻的質(zhì)量。因為剝離防護板11對第一膜160朝向襯底110物理地加壓，所以在本發(fā)明的示例性實施方式中可以防止產(chǎn)生這種缺陷。因此，可以防止第一膜160從襯底110緩慢且部分地分離。如圖6所示，可以釋放密封空間。具體地，可以通過收縮第一氣體管25和第二氣體管15來釋放密封空間。因此，密封空間可以呈現(xiàn)為真空壓カ狀態(tài)。如圖7所示，可以升起剝離防護板11。當(dāng)升起剝離防護板11時，物理壓カ可以被去除。因此，由于目標(biāo)對象100的內(nèi)部壓カ與腔室500的內(nèi)部壓カ(為真空壓力)之間存在壓カ差，所以可以將第一膜160與襯底110分離。當(dāng)在沒有剝離防護板11或者沒有形成密封空間的情況下，腔室500的內(nèi)部壓カ改變?yōu)檎婵諌亥珪r，腔室500的內(nèi)部壓カ為緩慢地改變。這種平緩的壓カ變化可能導(dǎo)致第一膜160從襯底110部分且緩慢地分離。依照本發(fā)明的示例性實施方式，可以通過密封保持框21、剝離防護板11、第一氣體管25以及第二氣體管15形成密封空間。此外，可以通過剝離防護板11對目標(biāo)對象100物理地加壓。此后，腔室500的內(nèi)部壓カ被充分地改變?yōu)槟繕?biāo)真空壓力。在達到目標(biāo)真空壓カ之后，可以釋放密封空間，并且可以升起剝離防護板11。因此，依照本發(fā)明的示例性實施方式，可以將目標(biāo)對象的第一膜160從襯底110穩(wěn)定地分離。依照本發(fā)明的示例性實施方式，可以在腔室500的內(nèi)部壓カ改變?yōu)檎婵諌亥珷顟B(tài)時，防止平緩的壓カ變化對將第一膜160從襯底110剝離的過程產(chǎn)生影響。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的、利用真空剝離裝置101的真空剝離方法能夠利用真空壓カ將膜160有效地并且穩(wěn)定地從襯底110剝離。雖然本文結(jié)合目前所認為的實際示例性實施方式進行了描述，但是應(yīng)該理解，本發(fā)明不限于所公開的實施方式，相反，本發(fā)明將覆蓋在所附權(quán)利要求書的精神和范圍內(nèi)所包含的各種修改和等同設(shè)置。
權(quán)利要求
1.ー種真空剝離裝置，包括: 腔室； 密封保持框，設(shè)置在所述腔室內(nèi)； 第一氣體管，沿所述密封保持框的底端設(shè)置，并且配置為能夠膨脹； 剝離防護板，配置為插入所述密封保持框的中央；以及 第二氣體管，沿所述剝離防護板的端部設(shè)置，并且配置為能夠膨脹。
2.如權(quán)利要求1所述的真空剝離裝置，其中所述第二氣體管在所述剝離防護板被插入所述密封保護框的中央之后膨脹。
3.如權(quán)利要求1所述的真空剝離裝置，其中所述密封保護框以矩形框架形狀形成。
4.如權(quán)利要求1所述的真空剝離裝置，還包括緩沖墊，所述緩沖墊附接至所述剝離防護板的下側(cè)。
5.如權(quán)利要求1所述的真空剝離裝置，還包括驅(qū)動器，所述驅(qū)動器配置為將所述剝離防護板在所述密封保持框的內(nèi)部升起和降下。
6.ー種真空剝離方法，包括以下步驟: 制備目標(biāo)對象，其中所述目標(biāo)對象包括襯底、設(shè)置在所述襯底的上表面上的第一膜、以及設(shè)置在所述襯底的下表面上的第二膜，并且其中所述第一膜的邊緣連接到所述第二膜的邊緣； 將所述目標(biāo)對象設(shè)置在具有大氣壓力的腔室內(nèi)； 利用密封保持框，對所述目標(biāo)對象的所述第一膜與所述第二膜的連接邊緣加壓； 通過將剝離防護板插入所述密封保持框的中央，對設(shè)置在所述目標(biāo)對象的上表面上的所述第一膜加壓； 形成被所述目標(biāo)對象、所述密封保持框以及所述剝離防護板包圍的密封空間； 在將所述密封空間的內(nèi)部壓カ保持在所述大氣壓カ的情況下，將所述腔室的內(nèi)部壓カ改變?yōu)檎婵諌亥? 通過釋放所述密封空間，將所述密封空間的所述內(nèi)部壓カ改變?yōu)樗稣婵諌亥?；以? 通過升起所述剝離防護板，在保持所述目標(biāo)對象的所述第一膜與所述第二膜的所述連接邊緣的情況下，將所述第一膜從所述襯底分離。
7.如權(quán)利要求6所述的真空剝離方法，還包括以下步驟: 沿所述密封保持框的底端設(shè)置第一氣體管，其中所述第一氣體管能夠膨脹；以及 沿所述剝離防護板的端部設(shè)置第二氣體管，其中所述第二氣體管能夠膨脹。
8.如權(quán)利要求7所述的真空剝離方法，其中通過將所述第一氣體管和所述第二氣體管膨脹以使所述第一氣體管緊密地接觸所述密封保持框和所述目標(biāo)對象，并且使所述第二氣體管緊密地接觸所述密封保持框和所述剝離防護板來形成所述密封空間。
9.如權(quán)利要求7所述的真空剝離方法，其中通過將所述第一氣體管和所述第二氣體管收縮來釋放所述密封空間。
10.如權(quán)利要求6所述的真空剝離方法，其中將所述密封保持框形成為矩形框架形狀。
11.如權(quán)利要求6所述的真空剝離方法，還包括以下步驟:在所述剝離防護板的、面對所述目標(biāo)對象的ー側(cè)設(shè)置緩沖墊。
全文摘要
本發(fā)明概括地涉及真空剝離裝置和真空剝離方法。真空剝離裝置可包括腔室、設(shè)置在所述腔室內(nèi)的密封保持框、沿密封保持框的底端設(shè)置并且配置為能夠膨脹的第一氣體管、配置為插入密封保持框的中央的剝離防護板、以及沿剝離防護板的端部設(shè)置的第二氣體管。
文檔編號H01L51/56GK103137900SQ20121042944
公開日2013年6月5日 申請日期2012年10月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月28日
發(fā)明者金東述 申請人:三星顯示有限公司