技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種溝槽終端結(jié)構(gòu)肖特基器件，本發(fā)明的半導(dǎo)體器件具有溝槽結(jié)構(gòu)的終端，將浮空導(dǎo)電層加入到器件的溝槽終端結(jié)構(gòu)中，從而改變器件的邊緣電勢分布，同時簡化了器件的制造流程，使用兩次光刻工藝，可以實現(xiàn)器件的生產(chǎn)制造。

技術(shù)研發(fā)人員：朱江
受保護的技術(shù)使用者：朱江
文檔號碼：201210168976
技術(shù)研發(fā)日：2012.05.19
技術(shù)公布日：2017.04.26