技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種金屬微腔光耦合太赫茲量子阱光子探測器，包括：半導(dǎo)體襯底、金屬反射層、多量子阱結(jié)構(gòu)、以及金屬光柵。所述金屬光柵、多量子阱結(jié)構(gòu)與金屬反射層組成法布里?珀羅結(jié)構(gòu)的金屬共振微腔，調(diào)整所述金屬光柵的周期、金屬條的寬度以及多量子阱結(jié)構(gòu)的厚度，使入射光子在腔體內(nèi)形成符合法布里?珀羅結(jié)構(gòu)的共振模，可以在金屬共振微腔中形成強(qiáng)場區(qū)，提高了入射光的有效強(qiáng)度，進(jìn)而提高器件的響應(yīng)率、探測靈敏度和工作溫度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，效果顯著，實用性強(qiáng)，適用于工業(yè)生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：郭旭光;曹俊誠;張戎;張真真;譚智勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
文檔號碼：201210092230
技術(shù)研發(fā)日：2012.03.31
技術(shù)公布日：2016.12.14