技術(shù)編號：12041712
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種金屬微腔光耦合太赫茲量子阱光子探測器。背景技術(shù)量子阱探測器是一種工作在中遠紅外、太赫茲頻段的重要探測器。太赫茲量子阱探測器是太赫茲頻段具有重要應(yīng)用前景的光子型探測器，具有靈敏度高、探測速度快和窄帶響應(yīng)等特點。這種探測器的主要結(jié)構(gòu)包括上接觸層、多量子阱層和下接觸層。量子阱數(shù)在10～100之間，在量子阱生長方向上，器件的厚度在2.0～5.0μm之間。通過摻雜在量子阱中引入束縛電子，由于拋物線形的能量色散關(guān)系，這些束縛電子僅能吸收在量子阱生長方向上有電場分量的光子，...
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