專(zhuān)利名稱(chēng)：基板收存容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在將由半導(dǎo)體晶片、玻璃晶片、掩模玻璃等構(gòu)成的基板收存、保管、運(yùn)送、輸送等時(shí)使用的基板收存容器。
背景技術(shù)：
以往的基板收存容器雖然沒(méi)有圖示，但具備將多片半導(dǎo)體晶片上下排列而整齊排列收存的前開(kāi)盒的容器主體、和將該容器主體的開(kāi)口的正面開(kāi)閉的蓋體，在容器主體上設(shè)有安裝機(jī)構(gòu)，在該安裝機(jī)構(gòu)上拆裝自如地安裝有運(yùn)送用的運(yùn)送零件，在半導(dǎo)體晶片的收存、保管、運(yùn)送、輸送中使用(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2)。安裝機(jī)構(gòu)分別一體形成在容器主體的周壁、具體而言容器主體的頂棚和兩側(cè)壁上。該安裝機(jī)構(gòu)具備成對(duì)設(shè)置在容器主體的周壁上而相對(duì)置的一對(duì)支承軌道，在該一對(duì)支 承軌道的附近分別形成有運(yùn)送零件用的卡合部和卡合肋。在這樣的安裝機(jī)構(gòu)中，一對(duì)支承軌道夾持運(yùn)送零件，卡合部和卡合肋卡合固定到被夾持的運(yùn)送零件上。運(yùn)送零件具備經(jīng)由安裝機(jī)構(gòu)拆裝自如地安裝在容器主體的頂棚上而被運(yùn)送裝置把持的機(jī)器人凸緣、和經(jīng)由安裝機(jī)構(gòu)分別拆裝自如地安裝在容器主體的兩側(cè)壁上、被手動(dòng)操作的一對(duì)手動(dòng)手柄。該運(yùn)送零件從可靠地支承滿(mǎn)載多片半導(dǎo)體晶片的較重的基板收存容器(在半導(dǎo)體晶片的滿(mǎn)載時(shí)為約7kg的質(zhì)量)的觀點(diǎn)看，由具有高剛性的聚碳酸酯等成形。運(yùn)送零件例如具備被安裝機(jī)構(gòu)的一對(duì)支承軌道夾持的板形的基體，在該基體上大致垂直地突出形成有支柱，在該支柱的端部上，形成有把持用的凸緣或把持部。在運(yùn)送零件的基體上，一體形成有變形而卡合到安裝機(jī)構(gòu)的卡合肋上的返回阻止用的鉤部。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :特開(kāi)2000 - 306988號(hào)公報(bào) 專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :特開(kāi)2008 - 34879號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
以往的基板收存容器如以上那樣將運(yùn)送零件通過(guò)高剛性的聚碳酸酯等成形材料成形，在運(yùn)送零件的基體上一體形成有返回阻止用的鉤部，所以不能對(duì)鉤部施加較高的彈性力。因此，在將鉤部卡合到安裝機(jī)構(gòu)的卡合肋上的情況下，必須對(duì)鉤部施加較大的外力而勉強(qiáng)使其變形來(lái)卡合，有作業(yè)性較差的問(wèn)題。此外，在從安裝機(jī)構(gòu)的卡合肋將鉤部拆下的情況下，也必須對(duì)鉤部較強(qiáng)地施加外力而勉強(qiáng)使其變形，有可能不能實(shí)現(xiàn)作業(yè)性的提高。此外，如果多次將鉤部安裝拆卸，則鉤部變形而不能維持充分的卡合力，有可能鉤部容易從卡合肋脫離。此外，在卡合肋與鉤部的卡合部位為運(yùn)送零件的背面?zhèn)鹊那闆r下，給操作帶來(lái)障礙，導(dǎo)致作業(yè)性及操作性的下降。進(jìn)而，將基板收存容器的容器主體通過(guò)清洗槽的清洗水清洗而使用、或再使用，但由于安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道、卡合部、卡合肋構(gòu)成為所謂的死胡同構(gòu)造，所以清洗水容易殘留，并且干燥用的空氣的流通性也較差，所以在干燥中需要長(zhǎng)時(shí)間。如果在容器主體中殘留清洗水，則有可能殘留水滴的痕跡，或從形成容器主體的成形材料產(chǎn)生揮發(fā)性的有機(jī)氣體而附著到收存狀態(tài)的半導(dǎo)體晶片上，形成有機(jī)化合物鹽而成為污染或腐蝕源。本發(fā)明是鑒于上述情況的，目的是提供一種能夠使運(yùn)送零件相對(duì)于容器主體的安裝機(jī)構(gòu)的安裝作業(yè)的作業(yè)性提高、將運(yùn)送零件容易從安裝機(jī)構(gòu)脫離的可能性排除、抑制在安裝機(jī)構(gòu)及運(yùn)送零件中殘留清洗水等液體的基板收存容器。 在本發(fā)明中，為了解決上述課題，提供一種基板收存容器，在收存基板的容器主體上設(shè)置安裝機(jī)構(gòu)，在該安裝機(jī)構(gòu)上拆裝自如地安裝運(yùn)送零件，其特征在于，安裝機(jī)構(gòu)包括設(shè)在容器主體的周壁上的支承軌道部、設(shè)在容器主體的周壁上的導(dǎo)引片、和形成在該導(dǎo)引片上的干涉卡合部，導(dǎo)引片與干涉卡合部組合而將其前部形成為兩股部；運(yùn)送零件具備被安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部支承的零件主體，在該零件主體上，設(shè)有流體用的流通口，并且設(shè)有被安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片導(dǎo)引的彈性卡合片，使該彈性卡合片與安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片和干涉卡合部的兩股部干涉。另外，也可以是，在安裝機(jī)構(gòu)中具備設(shè)在容器主體的周壁上、鉤掛到運(yùn)送零件上的止動(dòng)件。
此外，可以將容器主體形成為正面開(kāi)口的前開(kāi)盒，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片朝向容器主體的前后方向，在其側(cè)面上形成干涉卡合部，并且使導(dǎo)引片在與容器主體的前后方向交叉的方向上傾斜，對(duì)于運(yùn)送零件的彈性卡合片賦予接觸在安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片上而撓曲的撓性，在該彈性卡合片上，形成有與安裝機(jī)構(gòu)的干涉卡合部干涉的突部。此外，可以使安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部為多個(gè)而對(duì)置，使該對(duì)置的多個(gè)支承軌道部分別以支承軌道部間的距離隨著從容器主體的后方朝向前方而變短的方式傾斜，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片設(shè)在多個(gè)支承軌道部間，使其朝向容器主體的左右方向的中心線傾斜；將運(yùn)送零件的零件主體形成為中空，在其內(nèi)部?jī)?nèi)裝彈性卡合片，在零件主體的兩側(cè)部，分別形成被安裝機(jī)構(gòu)的多個(gè)支承軌道部夾持的被夾持板，使各被夾持板的側(cè)面以沿著支承軌道部的傾斜的方式傾斜，在零件主體的上部形成凸緣，并且在該凸緣上設(shè)有使彈性卡合片露出的操作孔，在多個(gè)被夾持板和凸緣的至少某個(gè)上設(shè)有流體用的流通口。此外，可以使安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部為多個(gè)而對(duì)置，使該對(duì)置的多個(gè)支承軌道部分別以支承軌道部間的距離隨著從容器主體的后方朝向前方而變短的方式傾斜，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片設(shè)在多個(gè)支承軌道部間，使其朝向容器主體的上下方向傾斜；將運(yùn)送零件的零件主體形成為大致梯形的板，使其兩側(cè)面以沿著支承軌道部的傾斜的方式傾斜，在零件主體的背面上形成彈性卡合片，在零件主體上設(shè)有使彈性卡合片露出的操作孔。進(jìn)而，可以在零件主體和被夾持板的至少某一個(gè)的背面上形成凹凸部，所述凹凸部在與容器主體的周壁之間區(qū)劃間隙；在零件主體上形成有變形限制部，所述變形限制部限制伴隨著與安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片的接觸的彈性卡合片的過(guò)度的變形。這里，在權(quán)利要求書(shū)的基板中，至少包括單個(gè)多個(gè)半導(dǎo)體晶片(Φ200、300、450πιπι的硅晶片)、玻璃晶片、掩模玻璃等。容器主體并不特別限定于透明、不透明、半透明等。在該容器主體的周壁中，至少包括容器主體的頂棚、背面壁、側(cè)壁等。此外，安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片和干涉卡合部組合為例如俯視大致Y字形、λ字形、V字形、與它們類(lèi)似的形狀。導(dǎo)引片設(shè)在支承軌道部的附近或周邊。在運(yùn)送零件中，至少包括拆裝自如地安裝在容器主體的頂棚上而被運(yùn)送裝置把持的機(jī)器人凸緣、拆裝自如地安裝在容器主體的側(cè)壁上而被手動(dòng)操作的手動(dòng)手柄、和拆裝自如地安裝在容器主體的側(cè)壁下部而在運(yùn)送時(shí)使用的側(cè)軌道等。在運(yùn)送零件的零件主體上，經(jīng)由加強(qiáng)肋設(shè)有彈性卡合片，使該加強(qiáng)肋與彈性卡合片經(jīng)由間隙對(duì)置，能夠通過(guò)加強(qiáng)肋限制彈性卡合片的過(guò)度的撓曲。在零件主體上，能夠設(shè)置單個(gè)或多個(gè)流通口和彈性卡合片。進(jìn)而，在流體中，至少包括各種液體(例如，清洗液或純水等)或氣體(例如，空氣或惰性氣體等)。根據(jù)本發(fā)明，在將運(yùn)送零件安裝到容器主體的周壁的安裝機(jī)構(gòu)上的情況下，使安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部支承運(yùn)送零件。此時(shí)，運(yùn)送零件的彈性卡合片接觸在安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片上而被導(dǎo)引，彈性卡合片與導(dǎo)引片和干涉卡合部的兩股部、即干涉卡合部干涉。如果彈性卡合片與干涉卡合部干涉，則彈性卡合片復(fù)原為原來(lái)的狀態(tài)，能夠向容器主體的安裝機(jī)構(gòu)安裝運(yùn)送零件。
此外，零件主體的流通口在使用由液體或氣體等構(gòu)成的流體時(shí)，使該流體向零件主體的內(nèi)外平滑地流通，使運(yùn)送零件的清洗及干燥作業(yè)的作業(yè)性提高。根據(jù)本發(fā)明，有使運(yùn)送零件相對(duì)于容器主體的安裝機(jī)構(gòu)的安裝作業(yè)的作業(yè)性提高、能夠?qū)⑦\(yùn)送零件容易從安裝機(jī)構(gòu)脫落的可能性排除的效果。此外，能夠抑制在安裝機(jī)構(gòu)或運(yùn)送零件上殘留清洗水等液體。此外，根據(jù)技術(shù)方案2所述的發(fā)明，由于止動(dòng)件接觸并鉤掛在運(yùn)送零件上，所以能夠有效地防止運(yùn)送零件相對(duì)于容器主體的過(guò)度的滑動(dòng)及位置偏差、晃動(dòng)等。此外，根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明，能夠使運(yùn)送零件的彈性卡合片接觸在安裝機(jī)構(gòu)的傾斜的導(dǎo)引片上、一邊使該彈性卡合片變形一邊適當(dāng)?shù)貙?dǎo)引。此外，在彈性卡合片撓曲而變形后，彈性卡合片在其反作用力下通過(guò)導(dǎo)引片而使突部與導(dǎo)引片和干涉卡合部的兩股部干涉，所以能夠?qū)⑦\(yùn)送零件牢固地安裝到容器主體的周壁上。此外，根據(jù)技術(shù)方案4或5所述的發(fā)明，由于安裝機(jī)構(gòu)的多個(gè)支承軌道部在容器主體的前后方向上傾斜，所以能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)防止運(yùn)送零件相對(duì)于容器主體的位置偏差及晃動(dòng)，能夠使運(yùn)送零件適當(dāng)?shù)鼗瑒?dòng)到規(guī)定的部位。此外，由于運(yùn)送零件及被夾持板的側(cè)面對(duì)應(yīng)于支承軌道的傾斜而傾斜，所以弄錯(cuò)設(shè)置運(yùn)送零件時(shí)的朝向的情況較少。此外，由于在凸緣及零件主體上設(shè)有使彈性卡合片露出的操作孔，所以不論彈性卡合片的位置如何，都能夠容易地操作彈性卡合片。此外，根據(jù)技術(shù)方案6所述的發(fā)明，流體不會(huì)滯留在凹凸部區(qū)劃的間隙中而平滑地流通，所以能夠抑制清洗水等液體殘留在運(yùn)送零件中。進(jìn)而，通過(guò)變形限制部能夠有效地防止彈性卡合片過(guò)度地變形而損傷、或彈性卡合片過(guò)度地變形而不再能維持充分的卡合力的可能性。


圖I是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的整體立體說(shuō)明圖。圖2是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的安裝機(jī)構(gòu)的俯視說(shuō)明圖。圖3是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的安裝機(jī)構(gòu)和運(yùn)送零件的俯視說(shuō)明圖。圖4是從斜后方示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的安裝機(jī)構(gòu)和機(jī)器人凸緣的立體說(shuō)明圖。圖5是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的安裝機(jī)構(gòu)和機(jī)器人凸緣的剖視說(shuō)明圖。圖6是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的機(jī)器人凸緣的立體說(shuō)明圖。圖7是從背面?zhèn)仁疽獾乇硎居嘘P(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的機(jī)器人凸緣的立體說(shuō)明圖。圖8是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的機(jī)器人凸緣的截面?zhèn)纫晥D。圖9是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的實(shí)施方式的安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片 及干涉卡合部與機(jī)器人凸緣的彈性卡合片的關(guān)系的說(shuō)明圖。圖10是示意地表示有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器的第2實(shí)施方式的側(cè)視說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式，本實(shí)施方式的基板收存容器如圖I至圖9所示，具備收存半導(dǎo)體晶片的容器主體I、和將該容器主體I的開(kāi)口的正面開(kāi)閉的拆裝自如的蓋體10，在容器主體I的周壁上設(shè)有安裝機(jī)構(gòu)20，在該安裝機(jī)構(gòu)20上拆裝自如地安裝著運(yùn)送用的運(yùn)送零件30。半導(dǎo)體晶片例如由Φ300πιπι的硅晶片構(gòu)成，將多片設(shè)為水平而上下整齊排列收存在容器主體I內(nèi)，通過(guò)專(zhuān)用的操作機(jī)器人依次取出。容器主體I和蓋體10是通過(guò)含有規(guī)定的樹(shù)脂的成形材料將多個(gè)零件分別注射成形、由該多個(gè)零件的組合構(gòu)成的。作為該成形材料中的規(guī)定的樹(shù)脂，可以舉出例如力學(xué)的性質(zhì)及耐熱性等良好的聚碳酸酯、聚醚醚酮、聚醚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚縮醛、液晶聚合物、或者環(huán)狀烯烴樹(shù)脂等。在規(guī)定的樹(shù)脂中，根據(jù)需要而有選擇地添加碳、碳纖維、金屬纖維、碳納米管、導(dǎo)電性聚合物，防靜電干擾劑、或阻燃劑等。容器主體I如圖I及圖2所示，成形為正面開(kāi)口的前開(kāi)盒，頂棚2在上下方向上稍稍?xún)A斜，從上方定位搭載到附設(shè)在半導(dǎo)體晶片的加工裝置上的裝載端口(load port)裝置上。該容器主體I在內(nèi)部的兩側(cè)、即兩側(cè)壁3的內(nèi)面上，成對(duì)設(shè)置有水平地支承半導(dǎo)體晶片的左右一對(duì)的支承片，該一對(duì)支承片在容器主體I的上下方向上以規(guī)定的間隔排列。在容器主體I的底板的前部?jī)蓚?cè)和后部中央，分別安裝基板收存容器、具體而言將容器主體I定位的定位件。在容器主體I的底板上，安裝供感應(yīng)及固定的底部板，該底部板使多個(gè)定位件分別露出。此外，在容器主體I的兩側(cè)壁3的外面上，分別沿前后方向傾斜而伸長(zhǎng)形成有能夠使手指等干涉的手動(dòng)手柄4。蓋體10如圖I所示，具備嵌合到容器主體I的開(kāi)口的正面內(nèi)的橫長(zhǎng)的殼體、將該殼體的開(kāi)口的正面覆蓋的表面板11、和夾設(shè)在這些殼體與表面板11之間的上鎖機(jī)構(gòu)13而構(gòu)成。該蓋體10的殼體基本上形成為具備框形的周壁的淺底的截面大致盤(pán)形，在周壁的上下兩側(cè)部上，分別穿孔有上鎖機(jī)構(gòu)13用的貫通孔，各貫通孔對(duì)置于容器主體I的正面內(nèi)周的卡止孔。在殼體的背面上，拆裝自如地安裝彈性地保持半導(dǎo)體晶片的前保持器。該前保持器具備防止蓋體10的變形的縱長(zhǎng)的框體，在該框體的左右一對(duì)的縱欞部上，沿上下排列而一體形成有一邊傾斜一邊向內(nèi)向延伸的多個(gè)彈性片，在各彈性片上，一體形成有將半導(dǎo)體晶片的前部周緣通過(guò)U字槽或V槽保持的較小的保持塊。在殼體的背面周緣部上形成有框形的嵌合槽，在該嵌合槽中，緊密嵌合著壓接在容器主體I的正面內(nèi)周上的墊圈。該墊圈以例如耐熱性及耐氣候性等良好的氟橡膠、硅酮橡膠、各種熱塑性彈性體(例如，烯烴類(lèi)、聚酯類(lèi)、聚苯乙烯類(lèi)等)等為成形材料，成形為能夠彈性變形的框形。表面板11對(duì)應(yīng)于殼體的開(kāi)口的正面而形成為橫長(zhǎng)的平板，在左右兩側(cè)部，分別穿孔有上鎖機(jī)構(gòu)13用的操作口 12。此外，上鎖機(jī)構(gòu)13具備被貫通表面板11的操作口 12的裝載端口裝置的操作銷(xiāo)旋轉(zhuǎn)操作的左右一對(duì)的旋轉(zhuǎn)板14、隨著各旋轉(zhuǎn)板14的旋轉(zhuǎn)在上下方向上滑動(dòng)的多個(gè)滑動(dòng)板、和隨著各滑動(dòng)板的滑動(dòng)從殼體的貫通孔突出而卡止到容器主體I的卡止孔中的可出沒(méi)的多個(gè)卡止爪而構(gòu)成，位于前保持器的前方。 安裝機(jī)構(gòu)20 —體地配設(shè)在容器主體I的周壁、具體而言容器主體I的頂棚2及側(cè)壁3上，而在本實(shí)施方式中對(duì)配設(shè)在容器主體I的頂棚2上的情況進(jìn)行說(shuō)明。該情況下的安裝機(jī)構(gòu)20例如通過(guò)與容器主體I或蓋體10同樣的成形材料成形。安裝機(jī)構(gòu)20如圖I至圖5、圖8及圖9所示，排列而具備多個(gè)配設(shè)在容器主體I的頂棚2表面的兩側(cè)部而相對(duì)置的左右一對(duì)的支承軌道21，在該多對(duì)(例如兩對(duì))支承軌道21間拆裝自如地支承運(yùn)送零件30。該多對(duì)支承軌道21如圖2及圖5等所示，經(jīng)由容器主體I的頂棚2的表面中央部以橫向一列排列有大小及長(zhǎng)度不同的一對(duì)支承軌道21和一對(duì)支承軌道21。各一對(duì)支承軌道21以支承軌道21與支承軌道21之間的寬度隨著從容器主體I的后方(圖2的下側(cè))朝向前方(圖2的上側(cè))逐漸不同(變窄)的方式傾斜成對(duì)設(shè)置，各支承軌道21彎曲形成為在容器主體I的前后方向上直線延伸的截面大致L字形。在位于多對(duì)支承軌道21中的最兩側(cè)的支承軌道21的前部間的容器主體I的頂棚2上，隔開(kāi)間隔形成有多個(gè)卡止到運(yùn)送零件30上的截面大致L字形的止動(dòng)件22，在位于該多個(gè)止動(dòng)件22間的容器主體I的頂棚2上，隔開(kāi)間隔排列形成有向容器主體I的前方延伸的左右一對(duì)導(dǎo)引片23，在各導(dǎo)引片23的外側(cè)面前部上一體形成有干涉卡合部24。導(dǎo)引片23和干涉卡合部24如圖2及圖9所示，組合為前部是兩股部25的稍稍變形的俯視大致Y字形，導(dǎo)引片23朝向與容器主體I的前后方向交叉的方向、換言之朝向容器主體I的左右方向的中心線、更具體地講朝向與干涉卡合部24相反的方向逐漸傾斜。干涉卡合部24形成得比導(dǎo)引片23短，比導(dǎo)引片23朝向容器主體I的前方彎曲而伸長(zhǎng)，從導(dǎo)引片23的前端部逐漸遠(yuǎn)離。兩股部25沒(méi)有特別限定，但如圖9所示，從防止運(yùn)送零件30在卡止后簡(jiǎn)單地在插入方向上脫落的觀點(diǎn)看，優(yōu)選的是在插入方向上傾斜或凹陷形成等。通過(guò)這樣形成兩股部25，能夠防止伴隨著沖擊的運(yùn)送零件30的未預(yù)想到的脫落。運(yùn)送零件30適當(dāng)選擇機(jī)器人凸緣31、左右一對(duì)手動(dòng)手柄4、左右一對(duì)側(cè)軌道等，而在本實(shí)施方式中，對(duì)拆裝自如地安裝在容器主體I的頂棚2中央部上、被頂棚運(yùn)送裝置把持的機(jī)器人凸緣31進(jìn)行說(shuō)明。該機(jī)器人凸緣31從可靠地支承滿(mǎn)載著多片半導(dǎo)體晶片的較重的基板收存容器的觀點(diǎn)考慮，通過(guò)與容器主體I、蓋體10、安裝機(jī)構(gòu)20同樣的成形材料成形。機(jī)器人凸緣31如圖I、圖3至圖9所示，具備滑動(dòng)配置在安裝機(jī)構(gòu)20的多對(duì)支承軌道21間的俯視大致中空框形的零件主體32，分別被一對(duì)支承軌道21夾持的左右一對(duì)被夾持板40從該零件主體32的下端部?jī)蓚?cè)在水平方向上伸長(zhǎng)，在零件主體32的開(kāi)口的上端部上，水平地一體形成有被頂棚運(yùn)送裝置把持的凸緣44。零件主體32在前后左右具備周壁33，在其內(nèi)部在前后左右排列配設(shè)有與凸緣44一體化而確保強(qiáng)度 的多個(gè)加強(qiáng)肋34，在該多個(gè)加強(qiáng)肋34中的位于容器主體I的前方側(cè)的左右一對(duì)加強(qiáng)肋34上，分別一體形成向前方伸長(zhǎng)而與安裝機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23和干涉卡合部24干涉的可彈性變形的彈性卡合片35。在該零件主體32的周壁33上，穿孔有使流體、即清洗水或空氣(參照?qǐng)D4的箭頭)等向零件主體32的內(nèi)外流通的需要數(shù)量的流通口 36。各加強(qiáng)肋34形成為以跨越零件主體32的周壁角部的方式一體地架設(shè)在周壁內(nèi)面間的俯視L字形，在與零件主體32的周壁33之間區(qū)劃出俯視大致矩形的空間。該加強(qiáng)肋34形成得比零件主體32的周壁33低，區(qū)劃形成使清洗水及空氣流通的間隙37，清洗水及空氣經(jīng)由該間隙37和周壁33的流通口 36在零件主體32的內(nèi)外流通。各彈性卡合片35形成為具有撓性的直線的大致板形，隔開(kāi)間隙對(duì)置于側(cè)方的加強(qiáng)肋34，在前端下部，一體形成有受安裝機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23導(dǎo)引而與兩股部25的干涉卡合部24干涉的圓柱形的鎖定銷(xiāo)38。在彈性卡合片35的上部，以大致半圓形一體形成有向上方隆起的操作用的把持片39。各被夾持板40基本上形成為與容器主體I的頂棚2表面重疊的平坦的板形，以其兩側(cè)面41沿著支承軌道21的傾斜的方式分別逐漸傾斜，從容器主體I的后方向前方滑動(dòng)而拆裝自如地卡合在支承軌道21上，并且嵌合卡止在止動(dòng)件22上，所需以上的滑動(dòng)被限制。該被夾持板40穿孔有使清洗水及空氣流通的俯視大致跑道形的流通口 42，在背面的前部和兩側(cè)部分別排列形成有多個(gè)凹凸部43，該多個(gè)凹凸部43在與容器主體I的頂棚2之間區(qū)劃形成使清洗水及空氣流通的多個(gè)間隙。另外，多個(gè)凹凸部43除了被夾持板40的背面以外，還根據(jù)需要也適當(dāng)形成在零件主體32的周壁33的背面等上。凸緣44基本上形成為四角部被倒角的俯視矩形，在中央部形成有螺紋件止動(dòng)用的凹部45，被頂棚運(yùn)送裝置感應(yīng)或定位。凹部45形成為大致圓錐臺(tái)形，與多個(gè)加強(qiáng)肋34的彎曲部附近一體化，在中心部的厚度方向上穿孔有螺孔46，通過(guò)在該螺子孔46中從上方螺穿由小螺釘?shù)葮?gòu)成的連結(jié)件而螺插到容器主體I的頂棚中央部的螺孔5中，能夠?qū)C(jī)器人凸緣31固定。在凸緣44上，分別排列而穿孔有連通到零件主體32內(nèi)的多個(gè)流通口 47和方孔48，彈性卡合片35分別可視覺(jué)辨認(rèn)、可操作地從該多個(gè)方孔48中的、位于容器主體I的前方側(cè)的左右一對(duì)方孔48露出。該露出的彈性卡合片35隨著與安裝機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23的接觸，在與機(jī)器人凸緣31的滑動(dòng)方向正交的方向、即容器主體I的左右方向上撓曲而變形，但進(jìn)行調(diào)節(jié)以使其與區(qū)劃方孔48的內(nèi)側(cè)邊49的距離D為撓曲量的范圍內(nèi)(參照?qǐng)D3)。在凸緣44的從零件主體32的周壁33伸出的周緣部的前后左右，隔開(kāi)間隔排列形成有定位用的多個(gè)V槽50。此外，在凸緣44的表面的前方和左右，隔開(kāi)間隔排列形成有多個(gè)彎曲槽51。
在上述結(jié)構(gòu)中，在將作為運(yùn)送零件30的機(jī)器人凸緣31安裝到容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上的情況下，在容器主體I的頂棚2后方配置機(jī)器人凸緣31，使機(jī)器人凸緣31的被夾持板40分別夾持在安裝機(jī)構(gòu)20的多對(duì)支承軌道21間并向容器主體I的前方滑動(dòng)，將機(jī)器人凸緣31的被夾持板40前部卡止到各止動(dòng)件22上，防止機(jī)器人凸緣31向上方脫落。此時(shí)，由于安裝機(jī)構(gòu)20的多對(duì)支承軌道21在容器主體I的前后方向上傾斜，所以能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)防止機(jī)器人凸緣31相對(duì)于容器主體I的位置偏差及晃動(dòng)。因而，能夠使機(jī)器人凸緣31適當(dāng)?shù)鼗瑒?dòng)到規(guī)定的部位。此外，由于機(jī)器人凸緣31的被夾持板40的側(cè)面41也對(duì)應(yīng)于支承軌道21的傾斜而傾斜，所以不會(huì)弄錯(cuò)設(shè)置機(jī)器人凸緣31時(shí)的朝向。如果機(jī)器人凸緣31向前方滑動(dòng)，則如圖9所示，機(jī)器人凸緣31的彈性卡合片35分別滑動(dòng)接觸在安裝機(jī)構(gòu)20的傾斜的一對(duì)導(dǎo)引片23上而被導(dǎo)引，一對(duì)彈性卡合片35向相互不同的方向、具體而言向容器主體I的左右方向內(nèi)側(cè)分別撓曲而變形后，各彈性卡合片35越過(guò)導(dǎo)引片23的前部，使鎖定銷(xiāo)38與導(dǎo)引片23和干涉卡合部24的分支的兩股部25、SP夕卜側(cè)的干涉卡合部24干涉。
此時(shí)，如果彈性卡合片35要過(guò)大地向容器主體I的內(nèi)側(cè)撓曲而變形，則由于接觸在接近的加強(qiáng)肋34上、其變形被限制(參照?qǐng)D7)，所以能夠有效地防止彈性卡合片35的伴隨著過(guò)度的變形的損傷。如果這樣鎖定銷(xiāo)38干涉而卡合到各兩股部25的干涉卡合部24中，則撓曲的各彈性卡合片35復(fù)原為原來(lái)的狀態(tài)，能夠?qū)C(jī)器人凸緣31牢固地安裝到容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上。接著，在將安裝在容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上的機(jī)器人凸緣31拆下的情況下，從上方將手指插入到機(jī)器人凸緣31的方孔48中，將各彈性卡合片35的把持片39向方孔48的內(nèi)側(cè)邊49方向推壓操作，使各彈性卡合片35向容器主體I的左右方向內(nèi)側(cè)撓曲而變形，將干涉卡合部24與鎖定銷(xiāo)38的干涉解除。如果將干涉卡合部24與鎖定銷(xiāo)38的干涉解除，則只要使機(jī)器人凸緣31向容器主體I的后方滑動(dòng)、將多對(duì)支承軌道21與機(jī)器人凸緣31的被夾持板40的夾持關(guān)系解除，就能夠?qū)C(jī)器人凸緣31從容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20拆下。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)將彈性卡合片35的把持片39向方孔48的內(nèi)側(cè)邊49方向操作、使彈性卡合片35向容器主體I的左右方向內(nèi)側(cè)撓曲變形就可以，所以完全不需要對(duì)彈性卡合片35施加較大的外力而勉強(qiáng)使其變形。因而，能夠使機(jī)器人凸緣31相對(duì)于安裝機(jī)構(gòu)20的拆卸作業(yè)的作業(yè)性顯著提高。此外，由于彈性卡合片35的撓曲量較小，所以即使多次將彈性卡合片35安裝拆卸，也能夠?qū)椥钥ê掀?5變形而容易脫落的可能性有效地排除。此外，由于將手指插入到方孔48中而操作彈性卡合片35的把持片39、使彈性卡合片35撓曲，所以給操作帶來(lái)障礙的情況很少，不會(huì)導(dǎo)致作業(yè)性及操作性的下降。此外，由于在機(jī)器人凸緣31的零件主體32、一對(duì)被夾持板40、凸緣44上分別穿孔有多個(gè)流通口 36、42、47，并且在各被夾持板40上形成有多個(gè)凹凸部43，所以即使將基板收存容器的容器主體I通過(guò)清洗水清洗，清洗水殘留、或干燥用的空氣的流通性下降的情況也非常少。因而，能夠使容器主體I在短時(shí)間內(nèi)干燥。進(jìn)而，由于在容器主體I中殘留清洗水的情況非常少，所以能夠抑制防止水滴痕跡殘留、或從容器主體I的成形材料產(chǎn)生揮發(fā)性的有機(jī)氣體而附著到半導(dǎo)體晶片上。進(jìn)而，能夠?qū)⒁蛴袡C(jī)化合物鹽的生成而成為污染及腐蝕源的可能性排除。接著，圖10是表示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的圖，在此情況下，在容器主體I的兩側(cè)壁3的外面上分別上下離開(kāi)而配設(shè)安裝機(jī)構(gòu)20和側(cè)軌道52，在各安裝機(jī)構(gòu)20上作為運(yùn)送零件30而拆裝自如地安裝手動(dòng)手柄4。各安裝機(jī)構(gòu)20具備配設(shè)在容器主體I的側(cè)壁3表面上且相互對(duì)置的上下一對(duì)支承軌道21，在該一對(duì)支承軌道21間拆裝自如地支承著運(yùn)送零件30。該一對(duì)支承軌道21以支承軌道21與支承軌道21之間的寬度隨著從容器主體I的后方朝向前方逐漸變窄的方式傾斜成對(duì)設(shè)置，各支承軌道21彎曲形成為沿容器主體I的前后方向直線延伸的截面大致L字形。在位于一對(duì)支承軌道21間的容器主體I的側(cè)壁3表面上，隔開(kāi)間隔排列形成有向容器主體I的前方延伸的導(dǎo)引片23，在導(dǎo)引片23的外側(cè)面前部一體形成有干涉卡合部24。 導(dǎo)引片23和干涉卡合部24組合為前部為兩股部25的稍稍變形的俯視大致Y字形，導(dǎo)引片23朝向與容器主體I的前后方向交叉的方向、換言之朝向與干涉卡合部24相反的上下方向逐漸傾斜。另外，在容器主體I的各側(cè)壁3上，根據(jù)需要，適當(dāng)形成卡止到手動(dòng)手柄4的前部上的截面大致L字形的多個(gè)止動(dòng)件22。手動(dòng)手柄4具備從容器主體I的后方(圖10的右側(cè))向前方滑動(dòng)而配置在安裝機(jī)構(gòu)20的一對(duì)支承軌道21間的俯視大致梯形的零件主體53，在該零件主體53的背面后部經(jīng)由加強(qiáng)肋34 —體形成有可彈性變形的彈性卡合片35,該彈性卡合片35向前方伸長(zhǎng),與安裝機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23及干涉卡合部24干涉。零件主體53形成為例如與容器主體I的側(cè)壁3對(duì)置的截面大致帽形的板，其兩側(cè)面54以沿著支承軌道21的傾斜的方式逐漸傾斜，在前部，穿孔有使清洗水及空氣流通的流通口 36，在后部，穿孔有使彈性卡合片35可視覺(jué)辨認(rèn)、可操作地露出的方孔48。在該零件主體53的表面的前后部分別配設(shè)有支柱部55，在該一對(duì)支柱部55間架設(shè)有握持用的把手56。在零件主體53的背面的兩側(cè)部等分別有選擇地排列形成有多個(gè)凹凸部43，該多個(gè)凹凸部43在與容器主體I的側(cè)壁3之間區(qū)劃形成使清洗水及空氣流通的多個(gè)間隙。此夕卜，彈性卡合片35形成為有撓性的直線的大致板形，隔開(kāi)間隙對(duì)置于加強(qiáng)肋34，在前端下部，一體形成被安裝機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23導(dǎo)引而與干涉卡合部24干涉的圓柱形的鎖定銷(xiāo)38。在彈性卡合片35的上部，有選擇地形成隆起的操作用的把持片39。另外，加強(qiáng)肋34根據(jù)需要而在零件主體53的背面后部一體形成為大致井字形、大致I字形、大致H字形、大致L字形、大致T字形等，至少一部分經(jīng)由間隙對(duì)置于彈性卡合片35的側(cè)面。在上述結(jié)構(gòu)中，在容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上安裝作為運(yùn)送零件30的手動(dòng)手柄4的情況下，在容器主體I的側(cè)壁3后方配置手動(dòng)手柄4，使手動(dòng)手柄4的零件主體53夾持在安裝機(jī)構(gòu)20的一對(duì)支承軌道21間，向容器主體I的前方滑動(dòng)，防止手動(dòng)手柄4的脫落。此時(shí)，由于安裝機(jī)構(gòu)20的一對(duì)支承軌道21傾斜，所以能夠使手動(dòng)手柄4適當(dāng)?shù)鼗瑒?dòng)到規(guī)定的部位。此外，由于零件主體53的兩側(cè)面54也對(duì)應(yīng)于支承軌道21的傾斜而傾斜，所以不會(huì)弄錯(cuò)設(shè)置手動(dòng)手柄4時(shí)的朝向。
如果手動(dòng)手柄4向前方滑動(dòng)，則手動(dòng)手柄4的彈性卡合片35滑動(dòng)接觸在安裝機(jī)構(gòu)20的傾斜的一對(duì)導(dǎo)引片23上而被導(dǎo)引，彈性卡合片35在容器主體I的上下方向上撓曲而變形后，彈性卡合片35越過(guò)導(dǎo)引片23的前部，使鎖定銷(xiāo)38與導(dǎo)引片23和干涉卡合部24的兩股部25、即干涉卡合部24干涉。此時(shí)，如果彈性卡合片35要過(guò)度地?fù)锨冃?，則接觸在接近的加強(qiáng)肋34上而其變形被限制，所以能夠有效地防止彈性卡合片35的伴隨著過(guò)度的變形的損傷。如果鎖定銷(xiāo)38與兩股部25的干涉卡合部24干涉，在撓曲的彈性卡合片35復(fù)原為原來(lái)的狀態(tài)，能夠?qū)⑹謩?dòng)手柄4牢固地安裝到容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上。接著，在將安裝在容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20上的手動(dòng)手柄4拆下的情況下，將手指插入到手動(dòng)手柄4的方孔48中而操作彈性卡合片35，使彈性卡合片35在容器主體I的上下方向上撓曲而變形，將干涉卡合部24與鎖定銷(xiāo)38的干涉解除。

如果將干涉卡合部24與鎖定銷(xiāo)38的干涉解除，則只要使手動(dòng)手柄4向容器主體I的后方滑動(dòng)、將一對(duì)支承軌道21與手動(dòng)手柄4的夾持關(guān)系解除，就能夠從容器主體I的安裝機(jī)構(gòu)20將手動(dòng)手柄4拆下。關(guān)于其他部分，與上述實(shí)施方式大致同樣，所以省略說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，也能夠期待與上述實(shí)施方式同樣的作用效果，并且，顯然能夠?qū)崿F(xiàn)安裝機(jī)構(gòu)20及運(yùn)送零件30的結(jié)構(gòu)的多樣化。另外，也可以在上述實(shí)施方式的容器主體I的兩側(cè)壁3下部分別配設(shè)安裝機(jī)構(gòu)20、在各安裝機(jī)構(gòu)20上作為運(yùn)送零件30而拆裝自如地安裝側(cè)軌道52。此外，也可以在位于多對(duì)支承軌道21之間的容器主體I的頂棚2表面上在前后方向上切開(kāi)形成左右一對(duì)的嵌合槽，在零件主體32的周壁33下端部上形成嵌合到頂棚2的各嵌合槽中的嵌合片。此外，在上述實(shí)施方式中將安裝機(jī)構(gòu)20的支承軌道21形成為截面大致L字形，但也可以將支承軌道21彎曲形成為截面大致J字形或大致T字形。此外，也可以使安裝機(jī)構(gòu)20的支承軌道21的數(shù)量為I條、或適當(dāng)增加為3條或4條。此外，也可以在容器主體I的頂棚2或側(cè)壁3上形成截面大致L字形、大致J字形、大致T字形的槽，將該槽作為支承軌道部。也可以對(duì)應(yīng)于它而在運(yùn)送零件30的零件主體32、53或被夾持板40上突出形成凸部、使該凸部拆裝自如地嵌合到支承軌道部中。此外，也可以相對(duì)于運(yùn)送零件30的鎖定銷(xiāo)38脫離的方向?qū)惭b機(jī)構(gòu)20的導(dǎo)引片23形成為倒錐形。進(jìn)而，運(yùn)送零件30的零件主體32、53除了框形及板形以外，可以形成為環(huán)形等。產(chǎn)業(yè)上的可利用性
有關(guān)本發(fā)明的基板收存容器能夠在液晶及半導(dǎo)體等的制造領(lǐng)域中使用。附圖標(biāo)記說(shuō)明 I容器主體
2頂棚(周壁)
3側(cè)壁(周壁)
4手動(dòng)手柄(運(yùn)送零件)
10蓋體 20安裝機(jī)構(gòu)
21支承軌道(支承軌道部)
22止動(dòng)件23導(dǎo)引片24干涉卡合部25兩股部30運(yùn)送零件
31機(jī)器人凸緣(運(yùn)送零件)32零件主體33周壁
34加強(qiáng)肋(變形限制部)
35彈性卡合片36流通口37間隙 38鎖定銷(xiāo)(突部)
39把持片40被夾持板41側(cè)面42流通口43凹凸部44凸緣47流通口48方孔(操作孔)
49內(nèi)側(cè)邊
52側(cè)軌道(運(yùn)送零件)
53零件主體54側(cè)面。
權(quán)利要求
1.一種基板收存容器，在收存基板的容器主體上設(shè)置安裝機(jī)構(gòu)，在該安裝機(jī)構(gòu)上拆裝自如地安裝運(yùn)送零件，其特征在于， 安裝機(jī)構(gòu)包括設(shè)在容器主體的周壁上的支承軌道部、設(shè)在容器主體的周壁上的導(dǎo)引片、和形成在該導(dǎo)引片上的干涉卡合部，導(dǎo)引片與干涉卡合部組合而將其前部形成為兩股部; 運(yùn)送零件具備被安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部支承的零件主體，在該零件主體上，設(shè)有流體用的流通口，并且設(shè)有被安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片導(dǎo)引的彈性卡合片，使該彈性卡合片與安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片和干涉卡合部的兩股部干涉。
2.如權(quán)利要求I所述的基板收存容器，其特征在于，安裝機(jī)構(gòu)包括設(shè)在容器主體的周壁上、鉤掛到運(yùn)送零件上的止動(dòng)件。
3.如權(quán)利要求I或2所述的基板收存容器，其特征在于，將容器主體形成為正面開(kāi)口的前開(kāi)盒，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片朝向容器主體的前后方向，在其側(cè)面上形成干涉卡合部，并且使導(dǎo)引片在與容器主體的前后方向交叉的方向上傾斜，對(duì)于運(yùn)送零件的彈性卡合片賦予接觸在安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片上而撓曲的撓性，在該彈性卡合片上，形成有與安裝機(jī)構(gòu)的干涉卡合部干涉的突部。
4.如權(quán)利要求3所述的基板收存容器，其特征在于， 使安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部為多個(gè)而對(duì)置，使該對(duì)置的多個(gè)支承軌道部分別以支承軌道部間的距離隨著從容器主體的后方朝向前方而變短的方式傾斜，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片設(shè)在多個(gè)支承軌道部間，使其朝向容器主體的左右方向的中心線傾斜； 將運(yùn)送零件的零件主體形成為中空，在其內(nèi)部?jī)?nèi)裝彈性卡合片，在零件主體的兩側(cè)部，分別形成被安裝機(jī)構(gòu)的多個(gè)支承軌道部夾持的被夾持板，使各被夾持板的側(cè)面以沿著支承軌道部的傾斜的方式傾斜，在零件主體的上部形成凸緣，并且在該凸緣上設(shè)有使彈性卡合片露出的操作孔，在多個(gè)被夾持板和凸緣的至少某個(gè)上設(shè)有流體用的流通口。
5.如權(quán)利要求3所述的基板收存容器，其特征在于， 使安裝機(jī)構(gòu)的支承軌道部為多個(gè)而對(duì)置，使該對(duì)置的多個(gè)支承軌道部分別以支承軌道部間的距離隨著從容器主體的后方朝向前方而變短的方式傾斜，將安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片設(shè)在多個(gè)支承軌道部間，使其朝向容器主體的上下方向傾斜； 將運(yùn)送零件的零件主體形成為大致梯形的板，使其兩側(cè)面以沿著支承軌道部的傾斜的方式傾斜，在零件主體的背面上形成彈性卡合片，在零件主體上設(shè)有使彈性卡合片露出的操作孔。
6.如權(quán)利要求4或5所述的基板收存容器，其特征在于， 在零件主體和被夾持板的至少某一個(gè)的背面上形成凹凸部，所述凹凸部在與容器主體的周壁之間區(qū)劃間隙； 在零件主體上形成有變形限制部，所述變形限制部限制伴隨著與安裝機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引片的接觸的彈性卡合片的過(guò)度的變形。
全文摘要
提供一種使運(yùn)送零件相對(duì)于容器主體的安裝機(jī)構(gòu)的安裝作業(yè)的作業(yè)性提高、能夠?qū)⑦\(yùn)送零件容易從安裝機(jī)構(gòu)脫落的可能性排除、抑制在安裝機(jī)構(gòu)及運(yùn)送零件上殘留清洗水等液體的基板收存容器。一種基板收存容器，在半導(dǎo)體晶片收存用的容器主體(1)的頂棚(2)上設(shè)置安裝機(jī)構(gòu)(20)，在安裝機(jī)構(gòu)(20)上拆裝自如地安裝作為運(yùn)送零件(30)的機(jī)器人凸緣(31)，安裝機(jī)構(gòu)(20)具備在頂棚(2)上成對(duì)設(shè)置的多對(duì)支承軌道(21)、設(shè)在頂棚(2)上的多個(gè)導(dǎo)引片(23)、和形成在各導(dǎo)引片(23)上的干涉卡合部(24)，將導(dǎo)引片(23)和干涉卡合部(24)組合，將其前部形成為兩股部(25)。此外，運(yùn)送零件(30)具備支承在多對(duì)支承軌道(21)間的零件主體(32)，在零件主體(32)上穿孔流體用的流通口(36)，并且內(nèi)置與兩股部(25)干涉的可彈性變形的彈性卡合片(35)。
文檔編號(hào)H01L21/673GK102792435SQ20118001234
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2011年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月4日
發(fā)明者小川統(tǒng) 申請(qǐng)人:信越聚合物株式會(huì)社