專利名稱：光罩盒的安裝底座的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光罩盒的安裝底座，廣泛應用于所有具有光罩的生產機臺， 如曝光機、顯影機、蝕刻機和清洗機等等。
背景技術：
目前，在半導體工藝車間內的曝光機、顯影機、蝕刻機和清洗機中都會使用到光罩盒和光罩盒的安裝底座。所述光罩盒是指SMIF，即標準機械界面光罩盒，其內部用于設置光罩。所述光罩盒的安裝底座是指SMIF port，即標準機械界面端口，用于安裝和固定光罩
品.ο請參閱圖1，圖1是現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖。由圖1可見，現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座包括底板101、四塊邊緣擋板102和若干定位件103，所述邊緣擋板102 分別設置于所述底板101的四個角上方。所述邊緣擋板102的高度比較高，通常遠大于定位件103的高度。在使用過程中發(fā)現(xiàn)，由于邊緣擋板102的高度過高，當操作人員將光罩盒安裝到光罩盒的安裝底座上去時，很容易將光罩盒撞到光罩盒的安裝底座的四個角的邊緣擋板 102上。由此會帶來三個問題一方面，光罩盒與光罩盒的安裝底座之間的碰撞會導致光罩盒的破損，從而會降低光罩盒的使用壽命；另一方面，光罩盒與光罩盒的安裝底座之間的碰撞所產生的顆粒物質會黏附在光罩盒的安裝底座上，當光罩盒打開后，這些顆粒物質極容易飄落到光罩上，導致曝光、顯影、 蝕刻或者清洗后造成光罩缺陷；再一方面，由于顆粒物質經常飄落到光罩上，因此，需要進行頻繁的清機作業(yè)，即停止機器，對光罩盒和光罩盒的安裝底座等等進行清洗，會占用大量機臺時間和人力，導致生產效率低下。因此，如何提供一種可以防止光罩盒與光罩盒的安裝底座碰撞的光罩盒的安裝底座是本領域技術人員亟待解決的一個技術問題。

實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種光罩盒的安裝底座，通過降低邊緣擋板的高度， 可以有效防止光罩盒在安裝時與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，從而保護光罩盒，同時可以避免因碰撞產生的顆粒物質。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術方案一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件，所述四塊邊緣擋板分別設置于所述底板的四個角上方，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度小于1cm。[0013]優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度小于0. 5cm。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述邊緣擋板的高度是0. 25cm。優(yōu)先地，在上述的光罩盒的安裝底座中，所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開光罩盒的啟開部件。本實用新型提供的光罩盒的安裝底座，結構簡單，使用方便，通過降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產生的顆粒物質黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當光罩盒打開后這些顆粒物質飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質過多而需要頻繁進行清機，提高了生產效率。

本實用新型的光罩盒的安裝底座由以下的實施例及附圖給出。圖1是現(xiàn)有的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖；圖2是本實用新型一實施例的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖；圖3是本實用新型一實施例的光罩盒的安裝底座的立體示意圖。 圖中，101-底板、102-邊緣擋板、103-定位件、104-開啟件，201-底板、202-邊緣擋板、203-定位件、204-開啟件。
具體實施方式
以下將對本實用新型的光罩盒的安裝底座作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解為本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關系統(tǒng)或有關商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖2和圖3，圖2是本實用新型一實施例的光罩盒的安裝底座的剖面示意圖，圖3是本實用新型一實施例的光罩盒的安裝底座的立體示意圖。這種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒(圖中未示意圖)，包括底板201、四塊邊緣擋板202和若干定位件203，所述邊緣擋板202分別設置于所述底板201的四個角上方，所述邊緣擋板202的高度小于所述定位件203的高度。通過降低邊緣擋板202的高度， 使得所述邊緣擋板202的高度小于所述定位件203的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產生的顆粒物質黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當光罩盒打開后這些顆粒物質飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質過多而需要頻繁進行清機，提高了生產效率。所述邊緣擋板202的高度只要可以對光罩盒起到定位作用即可，越低越好，例如， 所述邊緣擋板202的高度h的范圍可以是Ocm < h < Icm,即小于1cm，進一步優(yōu)選地話，所述邊緣擋板的高度的范圍是Ocm < h < 0. 5cm,即小于0. 5cm。本實施例中，所述邊緣擋板的高度的范圍是0. 25cm。所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開光罩盒的啟開部件204，借助該啟開部件 204可以順利打開光罩盒。綜上所述，本實用新型提供的光罩盒的安裝底座，結構簡單，使用方便，通過降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞，從而，一方面，可以防止光罩盒因碰撞受損，延長光罩盒的使用壽命；另一方面，可以避免因碰撞產生的顆粒物質黏附到光罩盒的安裝底座上，從而避免當光罩盒打開后這些顆粒物質飄落到光罩上，引起光罩缺陷；再一方面，也可以避免因顆粒物質過多而需要頻繁進行清機，提高了生產效率。顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
權利要求1.一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件， 所述四塊邊緣擋板分別設置于所述底板的四個角上方，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。
2.根據權利要求1所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于Icm0
3.根據權利要求2所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度小于 0. 5cm0
4.根據權利要求3所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述邊緣擋板的高度是 0. 25cm0
5.根據權利要求1 4中任意一項所述的光罩盒的安裝底座，其特征在于，所述光罩盒的安裝底座還包括用于打開光罩盒的啟開部件。
專利摘要本實用新型公開了一種光罩盒的安裝底座，用于安裝光罩盒，包括底板、四塊邊緣擋板和若干定位件，所述邊緣擋板分別設置于底板的四個角上方，所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度。本實用新型提供的光罩盒的安裝底座，結構簡單，使用方便，通過降低邊緣擋板的高度，使得所述邊緣擋板的高度小于所述定位件的高度，可以有效防止光罩盒在安裝時與光罩盒的安裝底座發(fā)生碰撞。
文檔編號H01L21/677GK202282339SQ20112042925
公開日2012年6月20日 申請日期2011年11月2日 優(yōu)先權日2011年11月2日
發(fā)明者黃金 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司