用于兩個光學(xué)部件的獨立可調(diào)的底座組件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種帶有兩個單件式底座的底座組件，在這些底座中安裝有光學(xué)部件(1.3，2.3)，這些光學(xué)部件可以相對彼此平移和旋轉(zhuǎn)式地進(jìn)行調(diào)節(jié)。這些調(diào)節(jié)運動可以不互相影響地進(jìn)行，其中一個底座形成為旋轉(zhuǎn)底座(1)并且另一個形成為平移底座(2)，這些底座在所設(shè)置的調(diào)節(jié)區(qū)域之內(nèi)基本上僅允許平移式運動或僅允許旋轉(zhuǎn)式運動。
【專利說明】用于兩個光學(xué)部件的獨立可調(diào)的底座組件

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可調(diào)的底座組件(Fassungsbaugruppe),其中兩個光學(xué)部件可以相對彼此非常精確地、在一個垂直于一條旋轉(zhuǎn)軸線的χ-y平面中平移式地并且圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)式地進(jìn)行調(diào)節(jié)，該旋轉(zhuǎn)軸線有利地是這兩個光學(xué)部件的共用的光軸。這樣一個底座可以尤其用于安裝所謂的空間濾波器，其中彼此前后設(shè)置的一個微透鏡陣列和一個孔徑光闌陣列必須被定向以便相對彼此進(jìn)行調(diào)節(jié)。

【背景技術(shù)】
[0002]US 6，876，494 B2披露了一種裝置，通過該裝置以預(yù)定的結(jié)構(gòu)圖案將光投射到一個晶片上，其方式為將該光經(jīng)由微光學(xué)部件在空間上進(jìn)行調(diào)制。為了保證調(diào)制質(zhì)量，除其他之外，屬于該裝置的微透鏡陣列相對于與之對應(yīng)地一個孔徑光闌陣列(在該微透鏡陣列的光軸的方向上安排在該微透鏡陣列之后)的高度準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)是重要的。微透鏡陣列的光軸被理解為是來自該微透鏡陣列的各透鏡的各光軸的一個中心軸線。
[0003]在US 6，876，494 B2中披露的裝置是基于在JP 2001-21830中描述的現(xiàn)有技術(shù)，根據(jù)該現(xiàn)有技術(shù)，在一個同類的裝置中將，一個孔徑光闌陣列被相對于一個微透鏡陣列來定位。所闡述的是，用于JP 2001-21830的微透鏡陣列包括具有小數(shù)值孔徑和5mm焦距的多個微透鏡，因此在光軸方向上的準(zhǔn)確定位并非這些構(gòu)思的主題。然而，如果使用具有大數(shù)值孔徑和大約250-300 μ m焦距的微透鏡，那么孔徑光闌陣列在光軸方向上相對于微透鏡陣列的高度準(zhǔn)確的定位是必需的，以便使得被這些微透鏡聚焦的光的各分量聚焦在這些孔徑光闌中。
[0004]為了將微透鏡陣列和孔徑光闌陣列定位在相對于彼此準(zhǔn)確預(yù)定的距離處，根據(jù)US 6，876，484 B2提出在微透鏡陣列上或在孔徑光闌陣列上形成至少一個朝向另一個陣列的突出部，該突出部在光軸的方向上具有一個預(yù)定的高度并且用于確定這些陣列之間的距離。因此，這些陣列的在光軸方向上相對于彼此的相對位置可以準(zhǔn)確地進(jìn)行設(shè)定。
[0005]作為該至少一個突出部的替代，還可以在微透鏡陣列與孔徑光闌陣列之間插入一個具有預(yù)定厚度的分隔件。
[0006]此外，垂直于光軸準(zhǔn)確定位(下文的在一個平面中的調(diào)節(jié))的必要性，從US6，876，494 B2無法得到詳細(xì)說明。
[0007]在一個平面中的調(diào)節(jié)是必需的，以便使微透鏡陣列的各透鏡的各光軸與孔徑光闌陣列的這些孔徑的這些對稱軸重合。為了實現(xiàn)在一個平面中調(diào)節(jié)的目的，具有在一個垂直于該光軸的x-y平面中的平移分量(行程)和圍繞該光軸的旋轉(zhuǎn)分量(角度)兩者的相對運動是必需的，這些行程和角度都是很小的。
[0008]這兩個陣列相對于彼此的此類調(diào)節(jié)運動在通過所形成的突出部或分隔件間接接觸的情況下產(chǎn)生摩擦并且由此產(chǎn)生粘滑(stick-slipp)，這使得在0.05 μ m的數(shù)量級中(如本 申請人:所預(yù)期的)精確的、決定性的調(diào)節(jié)是非常困難的。
[0009]用于光學(xué)部件的可調(diào)節(jié)的底座(能夠在垂直于一個光學(xué)系統(tǒng)的光軸的一個平面中進(jìn)行調(diào)節(jié))一般由一個外部的底座部分和一個內(nèi)部的底座部分組成，該外部的底座部分與該光學(xué)系統(tǒng)的殼體固定相連或者是該殼體的組成部分，該內(nèi)部的底座部分承載該光學(xué)部件并且能夠借助于致動元件在該平面中朝向該外部的底座部分移動和旋轉(zhuǎn)。
[0010]已知的可調(diào)底座包括兩種:底座部分是單獨零件并且這些單獨零件在調(diào)節(jié)之后必須相對彼此固定的底座，以及底座是單件式制造的并且這些底座零件是自鎖定地保持在調(diào)節(jié)后的位置中的底座(不需要將它們固定)。
[0011]一般來說,前一種底座用于較大的致動行程(Stellwege)和較小的靈敏度，并且后一種底座用于較小的致動行程和較高的靈敏度。
[0012]由DE 4400869 Cl已知一種可調(diào)底座(稱為用于側(cè)向調(diào)節(jié)一個大功率物鏡內(nèi)部的透鏡的裝置)，其中這些底座部分是單獨的零件。該底座由一個內(nèi)部的底座部分(稱為透鏡座)和一個外部的底座部分(稱為第一底座)組成，這些底座部分通過一個可釋放的、力配合的軸向作用的夾緊裝置彼此連接。
[0013]該內(nèi)部底座部分(透鏡保持在其中)通過僅僅平行于該物鏡的光軸作用的壓力保持在該外部的底座部分(可以被裝配到一個物鏡殼體中)中，當(dāng)在一個垂直于該光軸的平面中進(jìn)行調(diào)節(jié)的過程中，通過由設(shè)置在該內(nèi)部的底座部分中的壓電平移器產(chǎn)生的反作用力進(jìn)行部分地補償，從而使得該內(nèi)部的底座部分能夠在該外部的底座部分之內(nèi)以較小的徑向力作用進(jìn)行推移。
[0014]該外部的底座部分具有一個內(nèi)部的平坦面，該內(nèi)部的底座部分通過壓力裝置設(shè)置在該面上。有利地，所使用的壓力裝置是一個與該外部的底座部分牢固連接的接觸環(huán)、一個彈簧圈以及安置在該內(nèi)部的底座處的調(diào)節(jié)環(huán)。該壓力裝置的壓力(通過該調(diào)節(jié)環(huán)的尺寸來確定)以及該彈簧圈的彈簧力，被確定大小為，使得該內(nèi)部的底座部分即使在機械負(fù)載下(例如在運輸中)也可靠地保持其位置。通過在固定該底座環(huán)時僅僅有軸向力的作用，避免在固定時其可能的錯位。
[0015]在調(diào)節(jié)過程中作用的通過壓電平移器產(chǎn)生的反作用力小于壓力，使得該內(nèi)部的底座部分總是通過軸向力來安置在該內(nèi)部的平坦面處并且不能以未確定的方式在該外部的底座部分中滑動。只有通過徑向作用的致動元件在徑向力作用下才能進(jìn)行推移。使用何種致動元件對調(diào)節(jié)的可重現(xiàn)性、其靈敏度、可能的致動行程和對操作者的友好性具有實質(zhì)性的影響。
[0016]四個致動元件相對彼此錯開90°的設(shè)置是有利的。因為這些致動元件在根據(jù)DE44 00 869 Cl的裝置中不具有任何支撐功能并且在調(diào)節(jié)過程中需要克服的軸向壓力較小，已經(jīng)證明使用壓電平移器作為致動元件是特別有利的。
[0017]由DE 10 2008 029 161 B3已知一種單件式的用于透鏡的底座。它由一個環(huán)形的圓盤組成，該圓盤通過槽縫分成內(nèi)部的和外部的底座部分，這些底座部分優(yōu)選在三個位置保持彼此相連。剩余的連接(其幾何形狀和大小理論上可以通過這些槽縫的位置和形式來不同地實施)對于該調(diào)節(jié)的可能的致動行程和靈敏度是決定性的。根據(jù)DE 10 2008 029161 B3，這些連接通過曲桿來構(gòu)成，該曲桿由兩個構(gòu)件組成，這些構(gòu)件通過一個固體接頭以一個末端彼此相連，并且彼此圍成一個大于90°且小于180°的角，并且它們的另一端通過固體接頭與該外部的或內(nèi)部的底座部分相連。這些固體接頭是由這些槽縫的形狀和安排而構(gòu)成的錐形部分。
[0018]通過對這些連接(還有操縱器單元)的力作用，該內(nèi)部的底座部分可以相對于該外部的底座部分在一個平面之內(nèi)推移并旋轉(zhuǎn)。具有另外實施的操縱器單元的單件式底座是例如由EP I 577 693 A2和DE 10 2007 030 579 Al已知的。操縱器單元的幾何特征(形狀和尺寸)對于可能的致動行程和調(diào)節(jié)的靈敏度是決定性的。
[0019]根據(jù)DE 10 2008 029 161 B3的裝置不適合將構(gòu)成組件的兩個光學(xué)部件相對于彼此和將該組件相對于一個參考基準(zhǔn)(例如一個光學(xué)系統(tǒng)的光軸)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0020]在來自本發(fā)明人的專利申請DE 10 2010 035 223.3(尚未公開)中描述了一個可調(diào)底座，其中構(gòu)成光學(xué)組件的兩個光學(xué)部件能夠在一個較大的調(diào)節(jié)范圍內(nèi)非常精確地進(jìn)行調(diào)節(jié)并且該組件能夠相對于參考基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0021 ] 其權(quán)利要求的底座組件包括一個外部的底座部分和一個內(nèi)部的底座部分，這些底座部分共同構(gòu)成一個第一可調(diào)的底座。該外部的和內(nèi)部的底座部分分別由一個外部的和一個內(nèi)部的底座框架組成，這些框架分別通過至少三個操縱器單元(由固體接頭和致動元件例如致動螺絲組成)單件式地彼此相連。它們分別形成一個第二和一個第三可調(diào)底座。在這兩個內(nèi)部的底座部分中分別固定一個光學(xué)部件，這些光學(xué)部件在該底座組件之內(nèi)相對彼此并且總體上相對一個參考基準(zhǔn)(即該外部的底座部分的外部的底座框架)通過這些操縱器的操控而是可調(diào)節(jié)的，這些操控器作用于這些固體接頭處。作為安裝的光學(xué)部件的實例，在此給出一個微透鏡陣列和一個空間濾波器陣列。
[0022]為了能夠進(jìn)行這種調(diào)節(jié)，一方面將該內(nèi)部的底座部分在該外部的底座部分中借助于致動螺絲可推移且可固定地設(shè)置在一個垂直于光軸的平面中。另一方面該外部的底座部分的內(nèi)部的底座框架與該內(nèi)部的底座部分的外部的底座框架通過一個可釋放的力配合地軸向作用的夾緊裝置而彼此連接。由此，在釋放該夾緊裝置并且固定(也就是說牢固地擰緊)該致動螺絲的情況下可以通過操縱該外部的底座部分和該內(nèi)部的底座部分或者還僅通過操縱這兩個底座部分之一，來相對彼此調(diào)節(jié)這兩個光學(xué)部件。
[0023]在把將該內(nèi)部的底座部分與該外部的底座部分夾緊的夾緊裝置固定(也就是說力配合地軸向作用)并且釋放該致動螺絲時，有可能通過操縱該內(nèi)部的底座部分對這兩個光學(xué)部件進(jìn)行另一種精確的調(diào)節(jié)，并且有可能通過操縱該外部的底座部分對這兩個光學(xué)部件相對于該參考基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0024]這種底座組件的缺點是，在調(diào)節(jié)時，所引入的運動既包括平移分量也包括轉(zhuǎn)動分量,這必然造成了更長的試錯(Probe丨11) 0


【發(fā)明內(nèi)容】

[0025]本發(fā)明的目的是提供一種底座組件，該底座組件中安裝的兩個光學(xué)部件可以相對彼此簡單且快速地進(jìn)行調(diào)節(jié)。通過具有權(quán)利要求1所述特征的底座組件實現(xiàn)了這個目的。在各從屬權(quán)利要求中描述了有利的實施方式。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]本發(fā)明將在下文中借助于實施例和附圖更詳細(xì)闡述。附圖示出:
[0027]圖1是一個底座組件的立體圖；
[0028]圖2a是一個第一底座部分的俯視圖；
[0029]圖2b示出根據(jù)圖2a的第一底座部分的傳動機制；
[0030]圖3a是一個第二底座部分的俯視圖；
[0031]圖3b示出根據(jù)圖2a的第二底座部分的傳動機制，其中所示的平移推移在y方向中；
[0032]圖3c示出根據(jù)圖2a的第二底座部分的傳動機制，其中所示的平移推移在x方向中。

【具體實施方式】
[0033]一個本發(fā)明的底座組件包括兩個底座，即一個旋轉(zhuǎn)底座I和一個平移底座2，這些底座分別通過一個單件式的板構(gòu)成，該板通過槽縫分成一個外部的底座框架1.1、2.1，一個內(nèi)部的底座框架1.2,2.2，和將它們彼此相連的固體接頭1.4、1.5,2.4,2.5。這些內(nèi)部的底座框架1.2、2.2是相對彼此在x-y平面中可平移地推移的并且是圍繞一條垂直于該平面的旋轉(zhuǎn)軸線可旋轉(zhuǎn)的。
[0034]通過一種所選的實施方式，固體接頭1.4、1.5,2.4,2.5的組合和設(shè)置可以通過其分別相對于外部的底座框架1.1、2.1操縱內(nèi)部的底座框架1.2、2.2來有針對性地按照一個確定的、預(yù)先給出的運動軌道來移動。
[0035]旋轉(zhuǎn)底座I被設(shè)計為，在通過一個作用在固體接頭1.4之一處的致動元件3引入一個致動行程時，實現(xiàn)該內(nèi)部的底座框架1.2相對于該外部的底座框架1.1轉(zhuǎn)過一個調(diào)節(jié)角度的一種幾乎純粹的旋轉(zhuǎn)運動。
[0036]旋轉(zhuǎn)底座I為此目的而具有一個可操縱的固體接頭1.4,致動元件3作用在該固體接頭處；以及至少兩個、或優(yōu)選三個，在朝向旋轉(zhuǎn)底座I的中心的方向上剛性的、強制導(dǎo)向的(zwangsgeIenkte)固體接頭 1.5。
[0037]為了將該致動行程轉(zhuǎn)化為旋轉(zhuǎn)運動，旋轉(zhuǎn)底座的固體接頭1.4,1.5被實施成且相對彼此設(shè)置為，使其根據(jù)在圖2b中所示的傳動機制共同作用。
[0038]平移底座2被設(shè)計為，在通過兩個分別作用在固體元件2.4之一處的致動元件3中的至少一個致動元件引入一個致動行程時，實現(xiàn)該內(nèi)部的底座框架2.2相對于該外部的底座框架2.1在兩個彼此垂直的方向上經(jīng)過調(diào)節(jié)行程(Justierwege) a、b的一種幾乎純粹的平移，這兩個方向下文稱為X和y方向。平移底座2為此目的而具有兩個可操縱的固體接頭2.4，這兩個致動元件3之一分別作用在該固體接頭處；以及至少兩個、或者優(yōu)選三個，與朝向該平移底座2的中心的方向垂直的剛性的強制導(dǎo)向的固體接頭2.5。為了將該致動行程轉(zhuǎn)化為平移運動，平移底座的固體接頭2.4,2.5被實施成且相對彼此設(shè)置為，使其根據(jù)在圖3b和3c中所示的傳動機制共同作用。
[0039]實際上，該平移運動和該旋轉(zhuǎn)運動都不是純粹的平移或旋轉(zhuǎn)運動。然而，在少量調(diào)節(jié)的情況下，如應(yīng)當(dāng)與該底座組件一起完成的情況下，相應(yīng)的另一個分量是可以忽略的。有利地，該底座組件可以被用于相對彼此調(diào)節(jié)例如安裝在該旋轉(zhuǎn)底座中的微透鏡陣列形式的光學(xué)部件1.3和一個然后對應(yīng)地安裝在該平移底座中的孔徑光闌陣列形式的光學(xué)部件2.3。
[0040]完成調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)角度范圍和調(diào)節(jié)行程范圍的數(shù)量級應(yīng)當(dāng)借助于后續(xù)給出的這兩個陣列的示例性的尺度而變得清楚?？讖焦怅@陣列的孔徑具有4 μ m的直徑，并且微陣列的單獨透鏡具有180 μ m的焦距。各透鏡的各光軸的間距以及這些孔徑的對稱軸相對彼此的間距在一個正交格柵中為40 μ m。各軸線對于這些對稱軸的位置偏差的容差在10nm的范圍內(nèi)。
[0041]一種本發(fā)明的底座組件具有在約30μπι的調(diào)節(jié)行程上的平移調(diào)節(jié)范圍和在約3.5’的調(diào)節(jié)角度上的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)范圍。對于調(diào)節(jié)的靈敏度是約50nm或2〃。
[0042]為了能夠在這些調(diào)節(jié)范圍內(nèi)使這兩個光學(xué)部件處于一個調(diào)節(jié)后的狀態(tài)，在相對彼此可調(diào)節(jié)和可固定的外部的底座框架1.1、2.1相對彼此固定之前，旋轉(zhuǎn)底座I和平移底座2相對彼此進(jìn)行了預(yù)調(diào)節(jié)。為此設(shè)置了適合的器件，這些器件不是本申請的主題。同樣不是本申請主題的還有使得這兩個底座1、2在光軸方向上相對于彼此的間距能夠進(jìn)行設(shè)定(以便將這些單獨透鏡的焦點以例如1ym的容差置于孔徑中心內(nèi))的器件。
[0043]如已經(jīng)詳述的，該底座組件的固體接頭1.4、1.5、2.4、2.5劃分成可操縱的固體接頭1.4,2.4和強制導(dǎo)向的固體接頭1.5,2.5。
[0044]可操縱的固體接頭1.4、2.4分別與一個致動元件3相連接,該致動元件例如是一個壓電致動元件或一個致動螺絲。一個通過該致動元件3引入的致動行程以一個通過該可操縱的固體接頭1.4,2.4確定的傳動比作為一個變換后的致動運動傳遞到該內(nèi)部的底座框架1.2,2.2上。
[0045]在對于一個底座組件的實施例中，該底座組件帶有一個在圖2a中所示的旋轉(zhuǎn)底座I和一個在圖3a中所示的平移底座2，這些可操縱的固體接頭1.4、2.4應(yīng)當(dāng)形成為，使其在傳動技術(shù)上看，分別形成一個在該外部的底座框架1.1、2.1中可旋轉(zhuǎn)地支撐的杠桿，該杠桿具有一個第一自由端和一個第二端，該致動元件3作用在該自由端處，該第二端與一個偶聯(lián)器的一端相連，該偶聯(lián)器的另一端與該內(nèi)部的底座框架1.2、2.2相連。
[0046]一個通過該致動元件3引入的致動行程導(dǎo)致該內(nèi)部的底座框架1.2、2.2 —方面的平移調(diào)節(jié)和另一方面的旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，這實質(zhì)上是通過這些強制導(dǎo)向的固體接頭1.5、2.5及其相對變換后的調(diào)節(jié)運動的作用方向來實現(xiàn)的。
[0047]旋轉(zhuǎn)底座I具有至少兩個在朝向該旋轉(zhuǎn)底座I的中心的方向上剛性的強制導(dǎo)向的固體接頭1.5，這些固體接頭實施為直的偶聯(lián)器并且相對彼此安排為，使得它們的假想的延長線在該旋轉(zhuǎn)底座I的中心相交并因此在安裝于該旋轉(zhuǎn)底座中的光學(xué)部件的中心相交。該底座組件的旋轉(zhuǎn)中心位于如此形成的交點處。相對于在直的偶聯(lián)器方向中的推移，這些強制導(dǎo)向的固體接頭1.5是堅固的。因此，與其圍繞旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)相比，通過實質(zhì)上更高的剛度來防止該內(nèi)部的底座框架1.2的側(cè)向偏離。為了提高該內(nèi)部的底座框架1.2與該外部的底座框架1.1的連接的剛度，可以設(shè)置更多的固體接頭1.5，這些固體接頭總體上被定向為，使其假想的延長線延伸穿過該旋轉(zhuǎn)中心。因此，該內(nèi)部的底座框架1.2相對于外部的底座框架1.1的所有自由度，除了圍繞該旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)之外，都是用足夠的剛度來限制的。
[0048]旋轉(zhuǎn)底座的可操縱的固體接頭1.4將外部的底座框架1.1與內(nèi)部的底座框架1.2相連接，使其偶聯(lián)器安排在一個與該旋轉(zhuǎn)中心相切的方向中并且以此同樣將該內(nèi)部的底座框架1.2相對于該外部的底座框架1.1的旋轉(zhuǎn)的剩余自由度圍繞該旋轉(zhuǎn)中心來進(jìn)行固定。如果該可操縱的固體接頭1.4被致動，那么其偶聯(lián)器在切向方向上推移，由此該內(nèi)部的底座框架1.2圍繞旋轉(zhuǎn)中心1.4、1.5,2.4,2.5旋轉(zhuǎn)。理想情況下，這兩個部件的共用的光軸延伸穿過該旋轉(zhuǎn)中心。在任何情況下，延伸穿過該旋轉(zhuǎn)中心的旋轉(zhuǎn)軸線(圍繞該軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn))是一條與共用光軸平行的軸線。這兩個部件只有在平移調(diào)節(jié)完成之后才具有一條共用的光軸。
[0049]平移底座2具有兩個可操縱的固體接頭2.4(A，B)，這些固體接頭設(shè)置在一個與旋轉(zhuǎn)軸線4垂直的平面中并且其相應(yīng)的作用方向(a，b)位于這個平面中且彼此垂直，對此參見圖3a-3c。至少兩個強制導(dǎo)向的固體接頭2.5額外地將外部的底座框架2.1與內(nèi)部的底座框架2.2相連。這些強制導(dǎo)向的固體接頭2.5在一個與朝向該平移底座2中心的方向垂直的方向上是剛性的。它們被實施為，在其共同作用下使其在這兩個可操縱的固體接頭2.4的作用方向a、b上具有大致相同的剛度并因此具有優(yōu)選方向(Vorzugsrichtungen)。這在構(gòu)造上是如下實現(xiàn)的，其方式為將這些強制導(dǎo)向的固體接頭2.5實施為成角度的偶聯(lián)器，優(yōu)選具有相同長度的臂并彼此圍成直角。
[0050]優(yōu)選地，平移底座2.4的每個可操縱的固體接頭2.5被設(shè)置為，使得這些可操縱的固體接頭2.4的直的偶聯(lián)器的延長線分別作為對稱線延伸穿過這些成角度的偶聯(lián)器。
[0051]如果例如該可操縱的固體接頭2.4-A(見圖3c)被致動，那么該內(nèi)部的底座框架2.2在該可操縱的固體接頭2.4-A的連接點處沿作用方向a被推移。此時，未被致動的可操縱的固體接頭2.4-B像一個強制導(dǎo)向的固體接接頭2.5—樣起作用并且將內(nèi)部的底座框架
2.2導(dǎo)向于作用方向a中，而它阻擋了共同作用的強制導(dǎo)向的固體接頭2.5的與被致動的作用方向垂直的優(yōu)選方向，也就是說作用方向b。因為這些強制導(dǎo)向的固體接頭2.5在其共同作用中僅具有沿被致動的可操縱的固體接頭的作用方向的一個剩余的優(yōu)選方向，所以這在與該未被致動的固體接頭(例如2.4-B)的共同作用的情況下實施了該被致動的可操縱的固體接頭2.4-A沿作用方向a的幾乎排他的平移運動。在致動該可操縱的固體接頭2.4-B時，同樣的內(nèi)容關(guān)于作用方向b以類似的方式適用。
[0052]通過可操縱的固體接頭2.4在一個平面中以90°的角度設(shè)置，也就是說其偶聯(lián)器的延長線在未轉(zhuǎn)向的狀態(tài)下以90°的角度在該平移底座2的中心相交，提供了兩個平移的運動方向，X和y，這些方向可以在所采取的操縱的幅度量級上被看做是彼此正交的。
[0053]應(yīng)當(dāng)明確提出的是，上面對固體接頭相對彼此設(shè)置的說明是關(guān)于一個未轉(zhuǎn)向的底座組件的，也就是說該旋轉(zhuǎn)底座I和該平移底座2分別處于未夾緊的狀態(tài)。對本發(fā)明而言，本發(fā)明的底座組件的一個重要優(yōu)點在于，在一個平面內(nèi)的調(diào)節(jié)運動被分解為平移和旋轉(zhuǎn)運動，其中它們可以彼此不影響地實行。由此該調(diào)節(jié)可以更簡單且更快速地實行。
[0054]參考符號清單
[0055]I 旋轉(zhuǎn)底座
[0056]1.1旋轉(zhuǎn)底座的外部底座框架
[0057]1.2旋轉(zhuǎn)底座的內(nèi)部底座框架
[0058]1.3安裝在旋轉(zhuǎn)底座中的光學(xué)部件
[0059]1.4旋轉(zhuǎn)底座的可操縱的固體接頭
[0060]1.5旋轉(zhuǎn)底座的強制導(dǎo)向的固體接頭
[0061]2 平移底座
[0062]2.1平移底座的外部底座框架
[0063]2.2平移底座的內(nèi)部底座框架
[0064]2.3安裝在平移底座中的光學(xué)部件
[0065]2.4平移底座的可操縱的固體接頭
[0066]2.5平移底座的強制導(dǎo)向的固體接頭
[0067]3致動元件
[0068]4旋轉(zhuǎn)軸線
[0069] a，b平移式調(diào)節(jié)行程的作用方向。
【權(quán)利要求】
1.用于將兩個光學(xué)部件相對彼此進(jìn)行調(diào)節(jié)的獨立可調(diào)的底座組件，該底座組件帶有一個旋轉(zhuǎn)底座(1)和一個平移底座(2)，其中 a)該旋轉(zhuǎn)底座(1)和該平移底座(2)分別由一個外部的底座框架(1.1,2.1)和一個內(nèi)部的底座框架(1.2，2.2)組成，這些框架分別單件式地通過設(shè)置在一個垂直于一條旋轉(zhuǎn)軸線(4)的平面中的可操縱的固體接頭(1.4，2.4)和至少兩個強制導(dǎo)向的固體接頭(1.5，2.5)而彼此相連，為了操縱該可操縱的固體接頭(1.4，1.5)存在多個致動元件(3)并且在這些內(nèi)部的底座框架(1.2，2.2)中分別固定有一個光學(xué)部件(1.3，2.3)， b)該旋轉(zhuǎn)底座(1)具有這些可操縱的固體接頭中的正好一個固體接頭(1.4)，這些致動元件(3)之一作用在這個可操縱的固體接頭上，該旋轉(zhuǎn)底座的這些強制導(dǎo)向的固體接頭(1.5)在朝向該旋轉(zhuǎn)底座(1)的中心的方向上實施為剛性的并且該旋轉(zhuǎn)底座的這個可操縱的固體接頭(1.4)和這些強制導(dǎo)向的固體接頭(1.5)相對彼此設(shè)置為，使得在通過這個致動元件(3)引入一個致動行程時，進(jìn)行了其內(nèi)部的底座框架(1.2)相對于其外部的底座框架(1.1)圍繞該旋轉(zhuǎn)軸線(4)轉(zhuǎn)過一個調(diào)節(jié)角度的旋轉(zhuǎn)， c)該平移底座(2)具有這些可操縱的固體接頭中的正好兩個接頭(2.4)，這些致動元件(3)之一相應(yīng)地作用在這兩個可操縱的固體接頭上，該平移底座的這些強制導(dǎo)向的固體接頭(2.5)在與朝向該平移底座(2)的中心的方向垂直的方向上實施為剛性的并且該平移底座的這兩個可操縱的固體接頭(2.4)和這些強制導(dǎo)向的固體接頭(2.5)相對彼此設(shè)置為，使得在通過其兩個致動元件(3)中的一個第一致動元件向其可操縱的固體接頭(2.4)中的一個接頭上引入一個致動行程時，進(jìn)行了其內(nèi)部的底座框架(2.2)相對于其外部的底座框架(2.1)在X方向上經(jīng)過一個調(diào)節(jié)行程的平移，并且在通過其兩個致動元件(3)中的一個第二致動元件向其可操縱的固體接頭(2.4)中的另一個接頭上引入一個致動行程時，進(jìn)行了其內(nèi)部的底座框架(2.2)相對于其外部的底座框架(2.1)在y方向上經(jīng)過一個調(diào)節(jié)行程的平移，并且該X方向和y方向彼此正交并且正交于光軸(4)并且 d)該旋轉(zhuǎn)底座的外部的底座框架(1.2)和該平移底座的外部的底座框架(2.1)處于相對彼此可調(diào)節(jié)的且可固定的相互關(guān)系中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底座組件，其特征在于， 這些可操縱的固體接頭(1.4，2.4)形成為，使其在傳動技術(shù)的角度看，相應(yīng)地形成一個在該外部的底座框架(1.1,2.1)中可旋轉(zhuǎn)地支撐的杠桿，該杠桿具有一個第一自由端和一個第二端，該致動元件(3)作用在該第一自由端處，該第二端與一個偶聯(lián)器的一個末端相連接，該偶聯(lián)器的另一個末端與該內(nèi)部的底座框架(1.2，2.2)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底座組件，其特征在于， 該旋轉(zhuǎn)底座(1)具有至少兩個強制導(dǎo)向的固體接頭(1.5)，這些強制導(dǎo)向的固體接頭實施為直的偶聯(lián)器并且相對彼此設(shè)置為，使得其假想的延長線在該旋轉(zhuǎn)底座(1)的中心相交。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底座組件，其特征在于， 該旋轉(zhuǎn)底座的可操縱的固體接頭(1.4)將該外部的底座框架(1.1)與該內(nèi)部的底座框架(1.2)相連接，從而使其偶聯(lián)器被設(shè)置在一個與旋轉(zhuǎn)中心相切的方向中。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底座組件，其特征在于， 該平移底座的這些可操縱的固體接頭(2.4)相對彼此被設(shè)置為，使得其偶聯(lián)器的延長線以90°的角度相交。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的底座組件，其特征在于， 該平移底座的這些強制導(dǎo)向的固體接頭(2.5)實施為成角度的偶聯(lián)器。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的底座組件，其特征在于， 這些偶聯(lián)器具有相同長度的杠桿臂，這些杠桿臂彼此圍成一個直角。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的底座組件，其特征在于， 該平移底座的每個可操縱的固體接頭(2.4)對應(yīng)一個強制導(dǎo)向的固體接頭(2.5)，從而使得該可操縱的固體接頭(2.4)的這些偶聯(lián)器的延長線分別作為對稱線延伸通過這些成角 度的偶聯(lián)器。
【文檔編號】G02B7/02GK104081243SQ201380007010
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2013年1月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月31日
【發(fā)明者】盧茨·賴克曼, 斯特凡·弗蘭茲, 馬克·伯恩沙伊恩, 馬蒂亞斯·貝寧 申請人:業(yè)納光學(xué)系統(tǒng)有限公司