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激光精確對位裝置的制作方法

文檔序號:6984845閱讀:285來源:國知局
專利名稱:激光精確對位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
激光精確對位裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及OLED生產(chǎn)制造領(lǐng)域,更具體地涉及一種對鍍膜工藝腔體組進(jìn)行精確對位的激光精確對位裝置。
背景技術(shù)
[0002]現(xiàn)階段,平板顯示技術(shù)不斷發(fā)展。有機(jī)發(fā)光顯示屏,0LED,即有機(jī)發(fā)光二極管 (Organic Light-Emitting Diode),又禾爾為有機(jī)電激光顯不(Organic Electroluminesence Display, OELD)。因為具備輕薄、省電等特性,OLED顯示技術(shù)與傳統(tǒng)的IXD顯示方式不同,無需背光燈,采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基板,當(dāng)有電流通過時,這些有機(jī)材料就會發(fā)光。而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄,可視角度更大,并且能夠顯著節(jié)省電能。OLED 的基本結(jié)構(gòu)是由一薄而透明具半導(dǎo)體特性之銦錫氧化物(ITO),與電力之正極相連,再加上另一個金屬陰極,包成如三明治的結(jié)構(gòu)。整個結(jié)構(gòu)層中包括了 空穴傳輸層(HTL)、發(fā)光層 (EL)與電子傳輸層(ETL)。當(dāng)電力供應(yīng)至適當(dāng)電壓時,正極空穴與陰極電荷就會在發(fā)光層中結(jié)合,產(chǎn)生光亮,依其配方不同產(chǎn)生紅、綠和藍(lán)RGB三原色,構(gòu)成基本色彩。OLED的特性是自己發(fā)光,不像TFT LCD需要背光,因此可視度和亮度均高,其次是電壓需求低且省電效率高,加上反應(yīng)快、重量輕、厚度薄,構(gòu)造簡單,成本低等,被視為21世紀(jì)最具前途的產(chǎn)品之一。[0003]OLED內(nèi)部的各個結(jié)構(gòu)層的離不開成型于鍍膜工藝,OLED鍍膜生產(chǎn)線,每個需要工藝真空的獨(dú)立腔體聯(lián)結(jié),腔體之間軌道有較高的位置要求,必須對腔體位置在連接之前進(jìn)行對位。類似OLED鍍膜生產(chǎn)線,對每個獨(dú)立的鍍膜腔體進(jìn)行連接,為保證彼此軌道位置,而且在其連接后不應(yīng)力集中即是各個獨(dú)立設(shè)備處于地板支撐的自然狀態(tài),就必須先把每個設(shè)備調(diào)整到同一高度,然后靠近用螺釘連接固定。而眾所周知,激光束的集中性極強(qiáng),因此能夠很好的應(yīng)用在對位領(lǐng)域。[0004]因此亟需一能夠?qū)LED鍍膜生產(chǎn)線中,對鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組進(jìn)行精確對位的激光精確對位裝置。實用新型內(nèi)容[0005]本實用新型的目的是提供一能夠?qū)LED鍍膜生產(chǎn)線中,對鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組進(jìn)行精確對位的激光精確對位裝置。[0006]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供一種激光精確對位裝置,用于對OLED鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組進(jìn)行精確對位,所述激光精確對位裝置包括激光器組及透明目標(biāo)靶,所述激光器組至少包括兩個平行設(shè)置的激光器,所述透明目標(biāo)靶上設(shè)置有與所述激光器組中的激光器的數(shù)量及排布相對應(yīng)的靶標(biāo),所述腔體組中的腔體依次排列,位于起始端的腔體形成基準(zhǔn)腔體,位于所述基準(zhǔn)腔體之后的腔體形成對位腔體,所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體均具有對接連通用的對接部,所述激光器組設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體上的對接部, 所述透明目標(biāo)靶分布設(shè)置于所述對位腔體上的對接部,所述激光器組與所述透明目標(biāo)靶之間預(yù)留有光線通道,調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體的位置使所述激光器組中的激光器發(fā)射出的激光通過所述光線通道依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶的靶標(biāo)。[0007]較佳地,所述腔體組底部設(shè)置進(jìn)行升降調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)支撐腳。通過所述調(diào)節(jié)支撐腳對所述腔體組進(jìn)行粗調(diào)節(jié),有利于所述激光精確對位裝置對所述腔體組進(jìn)行精準(zhǔn)的對位。[0008]較佳地,還包括激光器安裝座,所述激光器安裝座固定在所述基準(zhǔn)腔體上,所述激光器組裝設(shè)于所述激光器安裝座上。設(shè)置所述激光器安裝座能夠很好的安裝所述激光器對位設(shè)備,不容易產(chǎn)生位移。[0009]較佳地,所述激光器組的激光器呈水平等間隔的并排平行設(shè)置于所述激光器安裝座上。并排平行設(shè)置所述激光器組的激光器能夠有利于所述激光精確對位裝置對所述腔體組進(jìn)行精準(zhǔn)的對位。[0010]較佳地,所述透明目標(biāo)靶包括的靶標(biāo)呈圓形。[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,在本實用新型激光精確對位裝置中,所述激光器組設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體上的對接部,所述透明目標(biāo)靶分布設(shè)置于所述對位腔體上的對接部,所述激光器與所述透明目標(biāo)靶之間預(yù)留有光線通道,調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體的位置,當(dāng)所述激光器組中的激光器發(fā)射出的激光通過所述光線通道依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶的靶標(biāo)時,表明所述對位腔體已經(jīng)和所述基準(zhǔn)腔體完成了對位,通過本實用新型激光精確對位裝置對鍍膜用工藝腔體組進(jìn)行對位的流程簡單、操作方法簡便易于實現(xiàn)。[0012]通過以下的描述并結(jié)合附圖,本實用新型將變得更加清晰,這些附圖用于解釋本實用新型的實施例。


[0013]圖1為本實用新型激光精確對位裝置裝設(shè)于腔體組上的一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。[0014]圖2為本實用新型激光精確對位裝置的激光器裝設(shè)于激光器安裝座的俯視圖。[0015]圖3為本實用新型透明目標(biāo)靶的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0016]現(xiàn)在參考附圖描述本實用新型的實施例,附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。如上所述,如圖1-3所示,本實施例提供的激光精確對位裝置100,用于對OLED鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組10進(jìn)行精確對位,所述激光精確對位裝置100包括激光器組1及透明目標(biāo)靶40,所述激光器組1包括三個平行設(shè)置的激光器la、lb及l(fā)c,對應(yīng)的所述透明目標(biāo)靶40上設(shè)置有與所述激光器組1中的激光器la、lb及Ic排布相對應(yīng)的靶標(biāo) 40,所述腔體組10包括依次排列的位于起始端的基準(zhǔn)腔體10a,位于所述基準(zhǔn)腔體IOa之后對位腔體IOb及10c,所述基準(zhǔn)腔體10a、對位腔體IOb及10c,均具有對接連通用的對接部 20,所述激光器組1設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體IOa上的對接部20,所述透明目標(biāo)靶40分布設(shè)置于所述對位腔體IOb及IOc上的對接部,所述激光器組1與所述透明目標(biāo)靶40之間預(yù)留有光線通道2,調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體IOa及對位腔體IOb及IOc的位置使所述激光器組1中的激光器發(fā)射出的激光通過所述光線通道2依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶40的靶標(biāo)3。[0017]較佳者,如圖1所示,所述腔體組10底部設(shè)置進(jìn)行升降調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)支撐腳11。通過所述調(diào)節(jié)支撐腳11對所述腔體組10進(jìn)行粗調(diào)節(jié),有利于所述激光精確對位裝置100對所述腔體組10進(jìn)行精準(zhǔn)的對位。[0018]如圖2所示,還包括激光器安裝座4,所述激光器安裝座4固定在所述基準(zhǔn)腔體 IOa上,所述激光器組1裝設(shè)于所述激光器安裝座4上。設(shè)置所述激光器安裝座4能夠很好的安裝所述激光器對位設(shè)備100,不容易產(chǎn)生位移。[0019]較佳者,如圖2所示,所述激光器組1的激光器la、lb及Ic呈水平等間隔的并排平行設(shè)置于所述激光器安裝座4上。并排平行設(shè)置所述激光器組1的激光器la、lb及Ic 能夠有利于所述激光精確對位裝置100對所述腔體10進(jìn)行精準(zhǔn)的對位。[0020]較佳者,所述透明目標(biāo)靶40包括的靶標(biāo)3呈圓形。[0021]本實用新型還提供一種激光對位方法,用于對OLED鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組進(jìn)行精確對位其包括以下步驟[0022]SOOl 提供激光器組及透明目標(biāo)靶,所述激光器組至少包括兩個平行設(shè)置的激光器,所述透明目標(biāo)靶上設(shè)置有與所述激光器組中的激光器的數(shù)量及排布相對應(yīng)的靶標(biāo);[0023]S002:將腔體依次排列,并將位于起始端的腔體作為基準(zhǔn)腔體,位于所述基準(zhǔn)腔體之后的腔體作為對位腔體;[0024]S003 將所述激光器組設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體上的對接部,將所述透明目標(biāo)靶分布設(shè)置于所述對位腔體上的對接部;[0025]S004:調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體的位置使所述激光器組中的激光器發(fā)射出的激光依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶的靶標(biāo)。[0026]結(jié)合圖1-3,在本實用新型激光精確對位裝置100,所述激光器組1設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體IOa上的對接部20,所述透明目標(biāo)靶40分布設(shè)置于所述對位腔體IOb及IOc上的對接部20,所述激光器組1與所述透明目標(biāo)靶40之間預(yù)留有光線通道2,調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體IOa及對位腔體IOb及IOc的位置,當(dāng)所述激光器組1中的激光器la、Ib及Ic發(fā)射出的激光通過所述光線通道2依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶40的靶標(biāo)3時,表明所述對位腔體 IOb及IOc已經(jīng)和所述基準(zhǔn)腔體IOa完成了對位,通過本實用新型激光精確對位裝置10對鍍膜用工藝腔體組進(jìn)行對位的流程簡單、操作方法簡便易于實現(xiàn)。[0027]以上結(jié)合最佳實施例對本實用新型進(jìn)行了描述,但本實用新型并不局限于以上揭示的實施例,而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實用新型的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。權(quán)利要求1.一種激光精確對位裝置,用于對OLED鍍膜生產(chǎn)線上的若干鍍膜工藝用腔體組進(jìn)行精確對位,其特征在于所述激光精確對位裝置包括激光器組及透明目標(biāo)靶,所述激光器組至少包括兩個平行設(shè)置的激光器,所述透明目標(biāo)靶上設(shè)置有與所述激光器組中的激光器的數(shù)量及排布相對應(yīng)的靶標(biāo),所述腔體組中的腔體依次排列,位于起始端的腔體形成基準(zhǔn)腔體,位于所述基準(zhǔn)腔體之后的腔體形成對位腔體,所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體均具有對接連通用的對接部,所述激光器組設(shè)置于所述基準(zhǔn)腔體上的對接部,所述透明目標(biāo)靶分布設(shè)置于所述對位腔體上的對接部,所述激光器組與所述透明目標(biāo)靶之間預(yù)留有光線通道,調(diào)節(jié)所述基準(zhǔn)腔體及對位腔體的位置使所述激光器組中的激光器發(fā)射出的激光通過所述光線通道依次對應(yīng)穿過所述透明目標(biāo)靶的靶標(biāo)。
2.如權(quán)利要求1所述的激光精確對位裝置,其特征在于所述腔體組底部設(shè)置進(jìn)行升降調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)支撐腳。
3.如權(quán)利要求1所述的激光精確對位裝置,其特征在于還包括激光器安裝座,所述激光器安裝座固定在所述基準(zhǔn)腔體上,所述激光器組裝設(shè)于所述激光器安裝座上。
4.如權(quán)利要求3所述的激光精確對位裝置,其特征在于所述激光器組的激光器呈水平等間隔的并排平行設(shè)置于所述激光器安裝座上。
5.如權(quán)利要求1所述的激光精確對位裝置,其特征在于所述透明目標(biāo)靶包括的靶標(biāo)呈圓形。
專利摘要本實用新型公開了一種激光精確對位裝置包括激光器組及透明目標(biāo)靶,透明目標(biāo)靶上設(shè)置有與激光器組中的激光器的數(shù)量及排布相對應(yīng)的靶標(biāo),腔體組中的腔體依次排列,位于起始端的腔體形成基準(zhǔn)腔體,位于基準(zhǔn)腔體之后的腔體形成對位腔體,基準(zhǔn)腔體及對位腔體均具有對接連通用的對接部,激光器組設(shè)置于基準(zhǔn)腔體上的對接部,透明目標(biāo)靶分布設(shè)置于對位腔體上的對接部,激光器組與透明目標(biāo)靶之間預(yù)留有光線通道,調(diào)節(jié)基準(zhǔn)腔體及對位腔體的位置使激光器組中的激光器發(fā)射出的激光通過光線通道依次對應(yīng)穿過透明目標(biāo)靶的靶標(biāo)。本實用新型激光精確對位裝置能夠?qū)LED鍍膜生產(chǎn)線中,對鍍膜工藝腔體組進(jìn)行精確對位。
文檔編號H01L51/56GK202308076SQ20112039889
公開日2012年7月4日 申請日期2011年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月19日
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