專利名稱：一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著技術(shù)的發(fā)展，太陽電池引進(jìn)了多種技術(shù)以提高效率，比如選擇性發(fā)射極技術(shù)。選擇性發(fā)射技術(shù)現(xiàn)在一般用掩膜板進(jìn)行部分區(qū)域的重?fù)诫s；或者用漿料印刷來形成發(fā)射區(qū)和受光區(qū)不同的摻雜濃度，然后在印刷后放到擴(kuò)散爐中在三氯氧磷的環(huán)境中進(jìn)行擴(kuò)散。用掩膜板工藝相對(duì)于傳統(tǒng)工藝要進(jìn)行旋涂、曝光、擴(kuò)散、蝕刻和二次擴(kuò)散，工藝相對(duì)復(fù)雜。印刷漿料后進(jìn)行二次擴(kuò)散工藝，一般要進(jìn)行兩次摻雜源的使用，比較浪費(fèi)資源。這些技術(shù)雖然可以滿足選擇性發(fā)射極技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)，但是工序復(fù)雜、成本昂貴，一直 是制約其發(fā)展的最重要因素。因此，在傳統(tǒng)工藝的基礎(chǔ)上，減少工序?qū)崿F(xiàn)選擇性發(fā)射極技術(shù)太陽電池的制備成為業(yè)界一直追求的目標(biāo)之一。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述存在的缺陷而提供的一種太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，該實(shí)用新型不但可以和傳統(tǒng)太陽電池的生產(chǎn)線兼容，可以選擇性控制漿料的透過量，減少工藝步驟，提聞廣能。本實(shí)用新型涉及太陽電池網(wǎng)版領(lǐng)域，具體涉及一種太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，是一種可用于選擇性網(wǎng)印漿料的網(wǎng)版結(jié)構(gòu)。該網(wǎng)版的印刷區(qū)包含兩組或兩組以上鏤空區(qū)和部分鏤空區(qū)，以及一個(gè)或一個(gè)以上感光膠區(qū)；每個(gè)部分鏤空區(qū)有兩個(gè)以上副鏤空區(qū)和兩個(gè)以上副感光膠區(qū)，副鏤空區(qū)和副感光膠區(qū)的面積比為O. 01 100。鏤空區(qū)的寬度IOym 3mm，感光膠區(qū)的寬度10 μ m 3mm，部分鏤空區(qū)的寬度10 μ m 3mm ;鏤空區(qū)和部分鏤空區(qū)互相垂直或者互相平行；副鏤空區(qū)的寬度O. I μ m 1500 μ m，副感光膠區(qū)的寬度O. I μ m 1500 μ m ;副鏤空區(qū)和副感光膠區(qū)的面積比為0.01 100，且與鏤空區(qū)、部分鏤空區(qū)或感光膠區(qū)的夾角為0° 90°。在制絨后的硅片上印刷漿料，通過調(diào)節(jié)網(wǎng)版網(wǎng)孔開口比例調(diào)節(jié)晶硅不同部位漿料的印刷量，非受光區(qū)域和受光區(qū)域漿料印刷量之比為I 100，然后在燒結(jié)爐的不同溫區(qū)進(jìn)行烘干和燒結(jié)、最后去除磷硅玻璃，完成擴(kuò)散步驟。本實(shí)用新型如果應(yīng)用于選擇性發(fā)射極電池的制作工序中，不但可以通過一步網(wǎng)印就可以實(shí)現(xiàn)選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池發(fā)射極的制備，而且可以實(shí)現(xiàn)任意濃度同質(zhì)結(jié)的擴(kuò)散。相對(duì)于與一般選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池的制備，不但工藝簡單，而且成本很低，提高太陽電池的轉(zhuǎn)化效率。


圖I是實(shí)施例I的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；[0012]圖2是實(shí)施例2的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；圖中，I :鏤空區(qū)；2 :部分鏤空區(qū)；3 :副鏤空區(qū)；4 :感光膠區(qū)；5 :副感光膠區(qū)。
具體實(shí)施方式
為了更好地理解本發(fā)明，
以下結(jié)合附圖來詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)方案，但是本發(fā)明并不局限于此。實(shí)施例I參照說明書附圖圖1，該網(wǎng)版的印刷區(qū)包含兩組或兩組以上鏤空區(qū)I和部分鏤空區(qū)2，以及一個(gè)或一個(gè)以上感光膠區(qū)4 ;每個(gè)部分鏤空區(qū)2有兩個(gè)以上副鏤空區(qū)3和兩個(gè)以上副感光膠區(qū)5，副鏤空區(qū)3和副感光膠區(qū)5按照I: I面積比例組成。鏤空區(qū)I的寬度100 μ m，感光膠區(qū)4的寬度20臟，部分鏤空區(qū)2的寬度2mm ;鏤空 區(qū)I和部分鏤空區(qū)5在長軸方向上等距排列；副鏤空區(qū)3的寬度10 μ m,副感光膠區(qū)5的寬度 10 μ m。圖I中副鏤空區(qū)3、副感光膠區(qū)5與部分鏤空區(qū)2在長軸方向上垂直。在制絨后的硅片上印刷漿料，通過調(diào)節(jié)網(wǎng)版網(wǎng)孔開口比例調(diào)節(jié)晶硅不同部位漿料的印刷量，其中非受光區(qū)域和受光區(qū)域漿料印刷量之比為2:1，然后在以燒結(jié)爐的不同溫區(qū)中進(jìn)行烘干和燒結(jié)、最后去除磷硅玻璃，完成擴(kuò)散步驟。實(shí)施例2參照說明書附圖圖2，該網(wǎng)版的印刷區(qū)包含兩組或兩組以上鏤空區(qū)I和部分鏤空區(qū)2，以及一個(gè)或一個(gè)以上感光膠區(qū)4 ;每個(gè)部分鏤空區(qū)2有兩個(gè)以上副鏤空區(qū)3和兩個(gè)以上副感光膠區(qū)5，副鏤空區(qū)3和副感光膠區(qū)5按照1:5面積比例組成。鏤空區(qū)I的寬度70 μ m,感光膠區(qū)4的寬度10mm，部分鏤空區(qū)2的寬度I. 9mm ;鏤空區(qū)I和部分鏤空區(qū)5在長軸方向上等距排列；副鏤空區(qū)3的寬度20 μ m,副感光膠區(qū)5的寬度20 μ m。圖2中副鏤空區(qū)3、副感光膠區(qū)5與部分鏤空區(qū)2在長軸方向上平行。在制絨后的硅片上印刷漿料，通過調(diào)節(jié)網(wǎng)版網(wǎng)孔開口比例調(diào)節(jié)晶硅不同部位漿料的印刷量，其中非受光區(qū)域和受光區(qū)域漿料印刷量之比為6:1，，然后在以燒結(jié)爐的不同溫區(qū)中進(jìn)行烘干和燒結(jié)、最后去除磷硅玻璃，完成擴(kuò)散步驟。本實(shí)用新型可以選擇性控制漿料的透過量，減少工藝步驟，提高產(chǎn)能。
權(quán)利要求1.一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，其特征在于，該網(wǎng)版的印刷區(qū)包含兩組或兩組以上鏤空區(qū)和部分鏤空區(qū)，以及一個(gè)或一個(gè)以上感光膠區(qū)，鏤空區(qū)和部分鏤空區(qū)互相垂直或者互相平行；每個(gè)部分鏤空區(qū)有兩個(gè)以上副鏤空區(qū)和兩個(gè)以上副感光膠區(qū)組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，其特征在于，鏤空區(qū)的寬度10 μ m 3mm，感光膠區(qū)的寬度10 μ m 3mm，部分鏤空區(qū)的寬度10 μ m 3mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述一種太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，其特征在于，副鏤空區(qū)的寬度O.I μ m 1500 μ m,副感光膠區(qū)的寬度O. I μ m 1500 μ m。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)，其特征在于，副鏤空區(qū)和副感光膠區(qū)的面積比為O. 01 100。
專利摘要本實(shí)用新型涉及太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于一步選擇性擴(kuò)散的太陽電池網(wǎng)版結(jié)構(gòu)。該網(wǎng)版的印刷區(qū)包含兩組或兩組以上鏤空區(qū)和部分鏤空區(qū)，以及一個(gè)或一個(gè)以上感光膠區(qū)；每個(gè)部分鏤空區(qū)有兩個(gè)以上副鏤空區(qū)和兩個(gè)以上副感光膠區(qū)組成。這種結(jié)構(gòu)可以選擇性控制漿料的透過量，減少工藝步驟，提高產(chǎn)能。
文檔編號(hào)H01L31/18GK202378392SQ20112037418
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者任現(xiàn)坤, 劉鵬, 姜言森, 張麗麗, 張春艷, 張黎明, 徐振華, 李玉花, 王兆光, 程亮, 羅磊, 賈河順 申請(qǐng)人:山東力諾太陽能電力股份有限公司