專利名稱：裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
“光掩?！笔羌呻娐沸酒圃熘杏糜谂坑∷㈦娐返哪０?。通過(guò)光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。因此光掩模上的任何缺陷都會(huì)對(duì)芯片的成品率造成很大的影響。目前先進(jìn)的光掩模清洗工藝是將光掩模放置在沖洗槽內(nèi)，沖洗槽采用內(nèi)槽體和外槽體相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，將可移動(dòng)托架的托盤設(shè)置在內(nèi)槽體內(nèi)而形成淺槽結(jié)構(gòu)，托架的托座穿過(guò)內(nèi)槽體與支座連接，清洗時(shí)，只需將光掩模平放在托盤內(nèi)，在托盤壓接在內(nèi)槽體上呈密封狀況時(shí)，使光掩模橫置浸沒(méi)在藥液中，以去除光掩模表面的光刻膠，當(dāng)托架上移動(dòng)時(shí)，使托架的托盤與內(nèi)槽體脫離，將藥液從內(nèi)槽體排置外槽體內(nèi)通過(guò)排液流道排出，通過(guò)設(shè)置在外槽體和托架上的噴嘴實(shí)現(xiàn)噴淋沖清，達(dá)到對(duì)光掩模進(jìn)行清洗的效果。目前公開一些自動(dòng)抓取光掩模的裝置，體積較大，無(wú)法在清洗槽內(nèi)進(jìn)行水平抓取、放置以及翻轉(zhuǎn)，而不能應(yīng)用于上述的清洗工藝，如采用人工放置和拾取光掩模，不僅影響清洗效率，而且也影響清洗效
^ ο
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理，安裝調(diào)試方便，能控制光掩模翻轉(zhuǎn)角度的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型為達(dá)上述目的的技術(shù)方案是一種裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于包括支承座、擺動(dòng)氣缸、具有卡口的主動(dòng)卡爪、主動(dòng)軸套以及漲套和主動(dòng)轉(zhuǎn)盤，擺動(dòng)氣缸安裝在支承座上，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤通過(guò)主動(dòng)軸套安裝在支承座上并與擺動(dòng)氣缸的轉(zhuǎn)子連接， 主動(dòng)卡爪通過(guò)漲套與主動(dòng)轉(zhuǎn)盤連接，支承座或/和擺動(dòng)氣缸上安裝有控制擺動(dòng)角度的角度傳感器，或支承座或/和擺動(dòng)氣缸上安裝有檢測(cè)擺動(dòng)角度的接近開關(guān)。本實(shí)用新型主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)采用安裝在支承座上的主動(dòng)轉(zhuǎn)套以及主動(dòng)轉(zhuǎn)盤和主動(dòng)卡爪，而主動(dòng)卡爪通過(guò)漲套與主動(dòng)轉(zhuǎn)盤上，通過(guò)主動(dòng)轉(zhuǎn)盤與擺動(dòng)氣缸的轉(zhuǎn)子連接，結(jié)構(gòu)緊湊合理，安裝調(diào)試非常方便，更換不同型號(hào)的主動(dòng)卡爪非常方便。本實(shí)用新型在支承座或/和擺動(dòng)氣缸安裝有控制擺動(dòng)角度的角度傳感器，通過(guò)角度傳感器控制擺動(dòng)氣缸翻轉(zhuǎn)角度，控制方便，提高了放置和抓取光掩模以及對(duì)光掩模翻轉(zhuǎn)的可靠和準(zhǔn)確性，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果，能滿足不同尺寸光掩模的裝夾和翻轉(zhuǎn)要求。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1是本實(shí)用新型主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。[0010]圖3是本實(shí)用新型主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)安裝在工作臺(tái)上的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1-卡爪，1-1-卡口，2-外套，3-連接軸，3-1-凸軸，4_漲套，5_平面軸承， 6-主動(dòng)軸套，7-緊釘螺釘，8-彈簧，9-滾珠，10-接盤，11-擺動(dòng)氣缸，12-角度傳感器，13-主動(dòng)轉(zhuǎn)盤，14-油槽，15-卡簧，16-支承座，17-被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，18-光掩模，19-工作臺(tái)。
具體實(shí)施方式
見圖1 3所示，本實(shí)用新型的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，包括支承座16、擺動(dòng)氣缸11、具有卡口的主動(dòng)卡爪、主動(dòng)軸套6以及漲套4和主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13，擺動(dòng)氣缸11安裝在支承座16上，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13通過(guò)主動(dòng)軸套6安裝在支承座16上并與擺動(dòng)氣缸11的轉(zhuǎn)子連接。 主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)與被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)17安裝在工作臺(tái)19上并對(duì)角設(shè)置，支承座16安裝在托板上隨滑塊沿直線導(dǎo)軌上移動(dòng)，抓緊拾取光掩模18或松開光掩模18并放置在托盤上。見圖1、 2所示，本實(shí)用新型主動(dòng)軸套6呈T形，主動(dòng)軸套6的T形端通過(guò)緊固件與支承座16連接， 另一端由安裝在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13上的卡簧15限位，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13通過(guò)接盤10與擺動(dòng)氣缸11的轉(zhuǎn)子連接，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13與接盤10可采用鍵連接，或采用卡接式連接，平面軸承5設(shè)置在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13的軸承座內(nèi)并頂在主動(dòng)軸套6的T形端面，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13或主動(dòng)軸套6上設(shè)有油槽14，故能使主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)、靈活。見圖1所示，本實(shí)用新型主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13上至少設(shè)有兩個(gè)定位孔，主動(dòng)軸套6上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座16上的緊釘螺釘7通過(guò)彈簧8將設(shè)置在主動(dòng)軸套6上的滾珠9頂在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13的定位槽內(nèi)，當(dāng)擺動(dòng)氣缸11帶動(dòng)主動(dòng)轉(zhuǎn)盤 13翻轉(zhuǎn)到所需角度后，通過(guò)滾珠9對(duì)主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13鎖定，而提高操作的準(zhǔn)確性。見圖1、2所示，本實(shí)用新型的主動(dòng)卡爪通過(guò)漲套4與主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13連接，故具有調(diào)試方便的特點(diǎn)，主動(dòng)卡爪由連接軸3和卡爪1構(gòu)成，卡爪1上設(shè)有卡口 1-1，卡爪1上的卡口 1-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模18上，卡爪1通過(guò)緊固件與連接軸3連接，連接軸3內(nèi)側(cè)的凸軸3-1與漲套4連接，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤13上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤 13上并頂在漲套4上，使?jié)q套4與連接軸3可靠連接，以帶動(dòng)主動(dòng)卡爪轉(zhuǎn)動(dòng)，而外側(cè)具有插槽的外套2套裝在連接軸3和卡爪1上。見圖1、2所示，本實(shí)用新型的支承座16或/和擺動(dòng)氣缸11上安裝有檢測(cè)擺動(dòng)角度的角度傳感器12，或支承座16或/和擺動(dòng)氣缸11上安裝有檢測(cè)擺動(dòng)角度的接近開關(guān)，通過(guò)角度傳感器12檢測(cè)擺動(dòng)氣缸11的轉(zhuǎn)子的擺動(dòng)角度，滿足光掩模18的翻轉(zhuǎn)要求，本實(shí)用新型的角度傳感器12可采用角位移傳感器等。見圖1、3所示，本實(shí)用新型工作時(shí)，主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)和被動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)在托板的帶動(dòng)下向光掩模方向移動(dòng)，使卡爪1和被動(dòng)卡爪抓住光掩模18，再通過(guò)主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)上的擺動(dòng)氣缸11帶動(dòng)夾爪1轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)被動(dòng)卡爪隨夾爪1 一起轉(zhuǎn)動(dòng)，直到角度傳感器12檢測(cè)卡爪1 翻轉(zhuǎn)到所需角度。當(dāng)卡爪1翻轉(zhuǎn)到位后，角度傳感器12發(fā)出信號(hào)使擺動(dòng)氣體停止翻轉(zhuǎn)，而當(dāng)主動(dòng)卡爪翻轉(zhuǎn)沒(méi)有到位時(shí)，角度傳感器12不發(fā)出信號(hào)而繼續(xù)翻轉(zhuǎn)直到所控制的翻轉(zhuǎn)角度發(fā)出信號(hào)。
權(quán)利要求1.一種裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于包括支承座(16)、擺動(dòng)氣缸(11)、具有卡口的主動(dòng)卡爪、主動(dòng)軸套(6)以及漲套(4)和主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(13)，擺動(dòng)氣缸(11)安裝在支承座(16)上，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 通過(guò)主動(dòng)軸套(6)安裝在支承座(16)上并與擺動(dòng)氣缸(11)的轉(zhuǎn)子連接，主動(dòng)卡爪通過(guò)漲套(4)與主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 連接，支承座(16)或/和擺動(dòng)氣缸(11) 上安裝有檢測(cè)擺動(dòng)角度的角度傳感器(1 ，或支承座(16)或/和擺動(dòng)氣缸(11)上安裝有檢測(cè)擺動(dòng)角度的接近開關(guān)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的主動(dòng)軸套 (6)呈T形，主動(dòng)軸套(6)的T形端通過(guò)緊固件與支承座(16)連接，另一端由安裝在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 上的卡簧(1 限位，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 通過(guò)接盤(10)與擺動(dòng)氣缸(11)的轉(zhuǎn)子連接， 平面軸承( 設(shè)置在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 的軸承座內(nèi)并頂在主動(dòng)軸套(6)的T形端面，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤 (13)或主動(dòng)軸套(6)上設(shè)有油槽(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的主動(dòng)卡爪由連接軸C3)和卡爪(1)構(gòu)成，卡爪(1)上設(shè)有卡口(1-1)，卡爪(1)通過(guò)緊固件與連接軸 (3)連接，連接軸(3)內(nèi)側(cè)的凸軸(3-1)與漲套(4)連接，外側(cè)具有插槽的外套( 套裝在連接軸⑶和卡爪⑴上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的主動(dòng)轉(zhuǎn)盤 (13)上至少設(shè)有兩個(gè)定位孔，主動(dòng)軸套(6)上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座(16)上的緊釘螺釘(7)通過(guò)彈簧(8)將設(shè)置在主動(dòng)軸套(6)上的滾珠(9)頂在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(13)的定位槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，其特征在于所述主動(dòng)轉(zhuǎn)盤 (13)上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在主動(dòng)轉(zhuǎn)盤(1 上并頂在漲套(4)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種裝卡光掩模的主動(dòng)卡爪機(jī)構(gòu)，包括支承座、擺動(dòng)氣缸、具有卡口的主動(dòng)卡爪、主動(dòng)軸套以及漲套和主動(dòng)轉(zhuǎn)盤，擺動(dòng)氣缸安裝在支承座上，主動(dòng)轉(zhuǎn)盤通過(guò)主動(dòng)軸套安裝在支承座上并與擺動(dòng)氣缸的轉(zhuǎn)子連接，主動(dòng)卡爪通過(guò)漲套與主動(dòng)轉(zhuǎn)盤連接，支承座或/和擺動(dòng)氣缸安裝有控制擺動(dòng)角度的角度傳感器。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)合理，安裝調(diào)試方便，能控制光掩模翻轉(zhuǎn)角度的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L21/67GK202049929SQ201120171908
公開日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2011年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月26日
發(fā)明者吉保國(guó), 梅琳 申請(qǐng)人:常州瑞擇微電子科技有限公司