專利名稱：裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
“光掩?！笔羌呻娐沸酒圃熘杏糜谂坑∷㈦娐返哪０妗Ｍㄟ^光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。因此光掩模上的任何缺陷都會對芯片的成品率造成很大的影響。目前先進(jìn)的光掩模清洗工藝是將光掩模放置在沖洗槽內(nèi)，沖洗槽采用內(nèi)槽體和外槽體相結(jié)合的結(jié)構(gòu)，將可移動托架的托盤設(shè)置在內(nèi)槽體內(nèi)而形成淺槽結(jié)構(gòu)，托架的托座穿過內(nèi)槽體與支座連接，清洗時，只需將光掩模平放在托盤內(nèi)，在托盤壓接在內(nèi)槽體上呈密封狀況時，使光掩模橫置浸沒在藥液中，以去除光掩模表面的光刻膠，當(dāng)托架上移動時，使托架的托盤與內(nèi)槽體脫離，將藥液從內(nèi)槽體排置外槽體內(nèi)通過排液流道排出，通過設(shè)置在外槽體和托架上的噴嘴實現(xiàn)噴淋沖清，達(dá)到對光掩模進(jìn)行清洗的效果。目前公開一些自動抓取光掩模的裝置，體積較大，無法在清洗槽內(nèi)進(jìn)行水平抓取和放置、翻轉(zhuǎn)，而不能應(yīng)用上述的清洗工藝，如采用人工放置和拾取光掩模，不僅影響清洗效率，而且也影響清洗效果。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理，安裝調(diào)試方便，放置、抓取光掩?？煽康难b卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)。本實用新型為達(dá)上述目的的技術(shù)方案是一種裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，包括支承座、被動轉(zhuǎn)軸以及具有卡口的被動卡爪，其特征在于所述的被動轉(zhuǎn)軸通過被動軸套安裝在支承座上，被動卡爪通過軸向開口的漲套與被動轉(zhuǎn)軸連接，支承座或/和被動轉(zhuǎn)軸上安裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)。本實用新型被動卡爪機構(gòu)采用安裝在支承座上的被動轉(zhuǎn)套以及被動轉(zhuǎn)軸和被動卡爪，而被動卡爪通過漲套與被動轉(zhuǎn)軸連接，結(jié)構(gòu)緊湊合理，安裝調(diào)試非常方便，故能方便更換不同型號的被動卡爪。本實用新型在支承座和被動轉(zhuǎn)軸上安裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)，通過位置檢測開關(guān)是否輸出信號，卡裝光掩模時，只能在水平位置才能進(jìn)行抓取和放置，故能大幅度提高放置和抓取光掩模的準(zhǔn)確性，工作可靠，實現(xiàn)自動裝卡光掩模而提高光掩模清洗效率和清洗效果。
以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

圖1是本實用新型被動卡爪機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型被動卡爪機構(gòu)的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型被動卡爪機構(gòu)安裝在工作臺上的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1-端盤，2-被動轉(zhuǎn)軸，3-彈簧，4-支承座，5-被動軸套，6-油槽，7_平面軸承，8-漲套，9-外套，10-連接軸，10-1-凸軸，11-卡爪，11-1-卡口，12-緊釘螺釘，13-滾珠， 14-卡簧，15-位置檢測開關(guān)，16-光掩模，17-工作臺，18-主動卡爪機構(gòu)。
具體實施方式
見圖1 3所示，本實用新型的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，包括支承座4、被動轉(zhuǎn)軸2以及具有卡口的被動卡爪，被動卡爪機構(gòu)與主動卡爪機構(gòu)18分別安裝在工作臺17上并對角設(shè)置，支承座4安裝在托板上并隨滑塊沿直線導(dǎo)軌上移動，抓緊拾取光掩模16和松開光掩模16并放置在托盤上。見圖1、2所示，本實用新型的被動轉(zhuǎn)軸2通過被動軸套5安裝在支承座4上，被動轉(zhuǎn)軸2與被動軸套5能相對轉(zhuǎn)動，該被動軸套5呈T形，被動軸套的T 形端通過緊固件與支承座4連接，另一端通過安裝在被動轉(zhuǎn)軸2上的卡簧14限位，平面軸承7設(shè)置在被動轉(zhuǎn)軸2的軸承座內(nèi)并頂在被動軸套5的T形端面，而被動轉(zhuǎn)軸2或被動軸套5上設(shè)有油槽6，使被動轉(zhuǎn)軸2轉(zhuǎn)動平穩(wěn)靈活。見圖1所示，本實用新型在被動轉(zhuǎn)軸2上至少設(shè)有兩個定位孔，被動軸套5上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座4上的緊釘螺釘12通過彈簧3將設(shè)置在被動軸套5上的滾珠13頂在被動轉(zhuǎn)軸2的定位槽內(nèi)，通過滾珠13使被動轉(zhuǎn)軸2旋轉(zhuǎn)到位后不會相對轉(zhuǎn)動，而提高操作的可靠性。見圖1、2所示，本實用新型被動卡爪通過軸向開口的漲套8與被動轉(zhuǎn)軸2連接，被動卡爪的漲套8與被動轉(zhuǎn)軸2連接，具有安裝調(diào)節(jié)方便，本實用新型的被動卡爪由連接軸10 和卡爪11構(gòu)成，卡爪11上設(shè)有卡口 11-1，卡爪上的卡口 11-1采用V形槽或U形槽，方便卡接在光掩模16上，卡爪11通過緊固件與連接軸10連接，連接軸10內(nèi)側(cè)的凸軸10-1與漲套8連接，被動轉(zhuǎn)軸2上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在被動轉(zhuǎn)軸2并頂在漲套8上，使?jié)q套 8與連接軸10可靠連接，而帶動被動卡爪轉(zhuǎn)動，外側(cè)具有插槽的外套9套裝在連接軸10和卡爪11上。見圖1、2所示，本實用新型為能可靠的夾持住光掩模16，支承座4和被動轉(zhuǎn)軸2上安裝有裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)15，該位置檢測開關(guān)15可采用霍爾接近開關(guān)或磁感應(yīng)位置檢測開關(guān)，本實用新型在被動轉(zhuǎn)軸2上安裝有端盤1，端盤1上安裝有位置檢測開關(guān)15的觸發(fā)件，該觸發(fā)件為磁塊，通過觸發(fā)件使位置檢測開關(guān)15信號接通或斷開，位置檢測開關(guān)15輸出檢測信號。見圖1、3所示，本實用新型工作時，主動卡爪機構(gòu)和被動卡爪機構(gòu)在托板的帶動下向光掩模16 —側(cè)方向移動，使卡爪11和被動卡爪抓住光掩模16，通過主動卡爪機構(gòu)上的擺動氣缸帶動主動夾爪旋轉(zhuǎn)，同時卡爪11隨主動夾爪一起轉(zhuǎn)動，直到位置檢測開關(guān)15檢測卡爪11翻轉(zhuǎn)是否到位，當(dāng)卡爪11翻轉(zhuǎn)到位后，將光掩模16放置在托盤上或從托盤抓??；而當(dāng)卡爪11沒翻轉(zhuǎn)沒有到位時，位置檢測開關(guān)15失去信號而發(fā)出報警，使抓取和放置動作被凍結(jié)。
權(quán)利要求1.一種裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于包括支承座G)、被動轉(zhuǎn)軸O)以及具有卡口的被動卡爪，所述的被動轉(zhuǎn)軸( 通過被動軸套( 安裝在支承座(4)上，被動卡爪通過軸向開口的漲套(8)與被動轉(zhuǎn)軸( 連接，支承座(4)或/和被動轉(zhuǎn)軸( 上安裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)(15)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于所述的被動軸套 (5)呈T形，被動軸套(5)的T形端通過緊固件與支承座(4)連接，另一端通過安裝在被動轉(zhuǎn)軸( 上的卡簧(14)限位，平面軸承(7)設(shè)置在被動轉(zhuǎn)軸O)的軸承座內(nèi)并頂在被動軸套(5)的T形端面，且被動轉(zhuǎn)軸( 或/和被動軸套( 上設(shè)有油槽(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于所述的被動卡爪由連接軸(10)和卡爪(11)構(gòu)成，卡爪(11)上設(shè)有卡口(11-1)，卡爪(11)通過緊固件與連接軸(10)連接，連接軸(10)內(nèi)側(cè)的凸軸(10-1)與漲套(8)連接，外側(cè)具有插槽的外套 (9)套裝在連接軸(10)和卡爪(11)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于所述的被動轉(zhuǎn)軸 (2)上至少設(shè)有兩個定位孔，被動軸套( 上設(shè)有滾珠孔，安裝在支承座(4)上的緊釘螺釘 (12)通過彈簧( 將設(shè)置在被動軸套( 上的滾珠(1 頂在被動轉(zhuǎn)軸O)的定位槽內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于所述被動轉(zhuǎn)軸(2) 上設(shè)有螺孔，定位螺釘安裝在被動轉(zhuǎn)軸( 上并頂在漲套(8)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，其特征在于所述的被動轉(zhuǎn)軸 (2)上安裝有端盤(1)，端盤(1)上安裝有位置檢測開關(guān)(15)的觸發(fā)件。
專利摘要本實用新型涉及一種裝卡光掩模的被動卡爪機構(gòu)，包括支承座、被動轉(zhuǎn)軸以及具有卡口的被動卡爪，所述的被動轉(zhuǎn)軸通過被動軸套安裝在支承座上，被動卡爪通過軸向開口的漲套與被動轉(zhuǎn)軸連接，支承座或/和被動轉(zhuǎn)軸上安裝有裝有檢測水平位置的位置檢測開關(guān)。本實用新型結(jié)構(gòu)合理，安裝調(diào)試方便，使卡裝光掩模時在水平位置才能進(jìn)行抓取和放置，故能大幅度提高放置和抓取光掩模的準(zhǔn)確性，工作可靠。
文檔編號H01L21/00GK202049928SQ20112017183
公開日2011年11月23日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月26日
發(fā)明者吉保國, 梅琳 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司